【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體制造，尤其涉及一種載板裝置。
技術介紹
1、載板有效放片區域長度受設備限制一般是定值，然而有效放片區域的寬度可以通過改變相鄰兩個硅片位的中心距來進行調整，中心距越小，有效放片區域內就可以放置更多的硅片，從而硅片在載板上的占比就越大，反之占比就越小。
2、行業中通常將承載硅片進行鍍膜的整套裝置叫做載板，載板包括托盤和放置托盤的框架，載板上獨立用來裝載硅片的載具我們叫做托盤，框架的兩側的主梁與傳輸滾輪接觸，并通過傳輸滾輪帶動載板進行傳輸。首先，在實際工作過程中，如果想提高載板占比，把相鄰硅片位的中心距減小，那么托盤上相鄰兩個鏤空位置(鏤空位置用于放置基片)之間的筋條就會很窄，托盤強度變差，將托盤放在載板上后整體會出現下垂現象，從而降低了載板的整體平面度，造成自動化取放片異常增多。其次，在傳輸過程中，如框架在傳輸過程中發生震動，框架震動帶動托盤震動導致放置在托盤上的硅片位置偏移，影響鍍膜的均勻性，也可能造成自動化取放片異常增多。再者，由于鍍膜過程中，托盤的溫度升高導致托盤變形，進而放置在托盤上的硅片位置偏移，以及變形后托盤與硅片之間存在虛掩，影響鍍膜的均勻性，鍍膜后的硅片可能正背面導通，影響電池性能。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提出一種載板裝置，該載板裝置的載板占比較高，且托盤強度較大，確保了載板裝置的整體平整度，降低自動化放片異常幾率。
2、為實現上述技術效果，本專利技術的技術方案如下：
3、本專利技術公開了一種載板裝
4、在一些實施例中，所述本體上設有多個放置位，每個所述放置位用于承載一個所述基片，多個所述放置位呈多行多列排布，所述支撐筋條設在相鄰的兩行所述放置位之間，且沿行方向延伸設置。
5、在一些實施例中，所述本體具有沿其輪廓延伸的固定邊，所述支撐框架包括框架主體和連接于所述框架主體內的至少一個支撐梁組，所述固定邊通過連接組件連接于所述支撐梁組。
6、在一些具體的實施例中，所述連接組件為多個，多個所述連接組件沿所述本體的輪廓線方向間隔設置。
7、在一些更具體的實施例中，所述連接組件包括：限位塊，所述限位塊安裝于所述本體的第一側，且與所述托盤存在緩沖間隙；連接螺栓，所述連接螺栓穿設于所述支撐梁組及所述本體，且穿過所述限位塊；連接螺母，所述連接螺母安裝于所述連接螺栓；連接墊片，所述連接墊片套設于所述連接螺栓且夾設于所述連接螺母和所述限位塊之間。
8、在一些可選的實施例中，所述本體上設有安裝槽，所述限位塊包括插接部和止抵部，所述插接部插接于所述安裝槽，所述止抵部連接于所述插接部，且與所述連接墊片抵接。
9、在一些具體的實施例中，所述框架主體包括：多個第一主梁，多個所述第一主梁平行設置，每個所述第一主梁均沿第一方向延伸設置；第二主梁，所述第二主梁為兩個，所述第二主梁沿第二方向延伸設置，兩個所述第二主梁分別連接于多個所述第一主梁的兩端，且第二主梁與所述支撐梁組在第一方向上存在一緩沖區域。
10、在一些更具體的實施例中，所述框架主體還包括設在所述第一主梁和/或第二主梁內的加強梁。
11、在一些具體的實施例中，所述框架主體包括還阻擋板，所述阻擋板設置所述緩沖區域。
12、在一些更具體的實施例中，所述阻擋板沿所述第一方向的兩側分別連接于所述第二主梁及所述支撐梁組。
13、在一些實施例中，所述支撐梁組包括：多個第一支撐梁，每個所述第一支撐梁沿第一方向延伸設置，且連接于所述框架主體；多個第二支撐梁，每個所述第二支撐梁沿第二方向延伸設置，且兩端分別連接于兩個平行設置的第一支撐梁上。
14、在一些具體的實施例中，所述第二支撐梁包括橫梁和連接于所述橫梁兩端的支撐頭，所述支撐頭通過鎖緊組件連接于所述第一支撐梁；其中：所述鎖緊組件包括鎖緊螺栓、鎖緊墊片以及鎖緊螺母，所述鎖緊螺栓穿設于所述支撐頭與所述第一支撐梁，所述鎖緊螺母配合于所述鎖緊螺栓，所述鎖緊墊片安裝于所述鎖緊螺栓且夾設于所述鎖緊螺母和所述第一支撐梁之間。
15、本專利技術的載板裝置的有益效果：
16、由于托盤包括本體和連接于本體的支撐筋條，支撐筋條能夠提升整個托盤的強度，降低托盤的變形量，由于支撐筋條的加強作用，本體上相鄰兩個鏤空位置(鏤空位置用于放置基片)之間的筋條的寬度就可以做的較窄，在確保整個托盤強度的同時還能夠提升載板裝置的載板占比。與此同時，在實際加工過程中，將支撐筋條焊接到本體的第二側時，使得本體的第一側為向上凸出的弧形。當托盤安裝到支撐框架上后，第一側上向上凸出的形變量能夠抵消整個托盤在重力的作用下產生的下垂變形，確保了載板裝置的整體平整度，降低自動化放片異常幾率。
17、載板沿第二方向傳輸，框架的主梁與傳輸滾輪接觸，存在震動會傳輸到托盤上，導致基片位移，鍍膜不均勻，因而設置緩沖區域是為了減少震動傳輸到托盤。此外，進一步設置阻擋板進行阻擋，進而保證在鍍膜過程中防止繞鍍的現象，進一步保證鍍膜均勻性。
18、另外，將托盤安裝在框架上時，連接組件還包括有一限位塊，在水平和豎直方向上限位塊與托盤保留緩沖間隙，進而可以有效地把托盤在受熱和冷卻時產生的熱脹冷縮給很好的釋放掉的同時，進一步保證托盤變形量限制在相同的范圍內，有效地解決大尺寸的托盤的變形問題。
19、本專利技術的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本專利技術的實踐了解到。
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1.一種載板裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的載板裝置，其特征在于，所述本體(210)上設有多個放置位(212)，每個所述放置位(212)用于承載一個所述基片，多個所述放置位(212)呈多行多列排布，所述支撐筋條(220)設在相鄰的兩行所述放置位(212)之間，且沿行方向延伸設置。
3.根據權利要求1所述的載板裝置，其特征在于，所述本體(210)具有沿其輪廓延伸的固定邊(211)，所述支撐框架(100)包括框架主體(110)和連接于所述框架主體(110)內的至少一個支撐梁組(120)，所述固定邊(211)通過連接組件(300)連接于所述支撐梁組(120)。
4.根據權利要求3所述的載板裝置，其特征在于，所述連接組件(300)為多個，多個所述連接組件(300)沿所述本體(210)的輪廓線方向間隔設置。
5.根據權利要求4所述的載板裝置，其特征在于，所述連接組件(300)包括：
6.根據權利要求5所述的載板裝置，其特征在于，所述本體(210)上設有安裝槽(2111)，所述限位塊(310)包括插接部(311)和
7.根據權利要求3所述的載板裝置，其特征在于，所述框架主體(110)包括：
8.根據權利要求7所述的載板裝置，其特征在于，所述框架主體(110)還包括設在所述第一主梁(111)和/或第二主梁(112)內的加強梁(1111)。
9.根據權利要求7所述的載板裝置，其特征在于，所述框架主體(110)包括還阻擋板(113)，所述阻擋板(113)設置所述緩沖區域。
10.根據權利要求3所述的載板裝置，其特征在于，所述支撐梁組(120)包括：
...【技術特征摘要】
1.一種載板裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的載板裝置，其特征在于，所述本體(210)上設有多個放置位(212)，每個所述放置位(212)用于承載一個所述基片，多個所述放置位(212)呈多行多列排布，所述支撐筋條(220)設在相鄰的兩行所述放置位(212)之間，且沿行方向延伸設置。
3.根據權利要求1所述的載板裝置，其特征在于，所述本體(210)具有沿其輪廓延伸的固定邊(211)，所述支撐框架(100)包括框架主體(110)和連接于所述框架主體(110)內的至少一個支撐梁組(120)，所述固定邊(211)通過連接組件(300)連接于所述支撐梁組(120)。
4.根據權利要求3所述的載板裝置，其特征在于，所述連接組件(300)為多個，多個所述連接組件(300)沿所述本體(210)的輪廓線方向間隔設置。
5.根據權利要求4所述的載板裝置，其特征...
【專利技術屬性】
技術研發人員：宋文化，吳超，胡諶，彭孝龍，楊肸曦，張永勝，
申請(專利權)人：蘇州邁為科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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