【技術實現步驟摘要】
本技術涉及pvt長晶設備，具體涉及一種水平電感加熱線圈。
技術介紹
1、加熱線圈應用于pvt長晶設備結構中，是碳化硅材料制成設備的關鍵組件。碳化硅(sic)作為第三代寬禁帶半導體材料的代表，由于具有十分出色的物理、化學和電性能特性，使其在功率半導體器件領域，特別是大功率、高電壓和一些特殊環境，例如高溫、高輻射等環境中有著重要的地位和良好的應用前景。
2、現有的加熱線圈為螺旋式線匝，螺旋感應線匝自身電感、磁場的均勻性與對稱性不足，從而導致內部加熱熱場溫控不佳，影響長晶品質。（熱場模擬顯示）
技術實現思路
1、為解決上述問題，本技術提出了一種水平電感加熱線圈。
2、本技術的技術方案：
3、一種水平電感加熱線圈，所述線圈包括線圈主體，所述線圈主體由線纜繞成，具有若干層線匝；各層線匝水平排布。
4、所述線纜為一銅管，其兩端口分別與水冷線纜連接；
5、各層線匝內均焊有銅排；各銅排與銅管接觸連接。
6、相鄰兩層線匝之間通過隔環（優選，采用ptfe材質的隔環）隔開。
7、所述線圈還包括上鋁環、下鋁環；所述線圈主體豎置，所述上鋁環安裝在線圈主體上端，其與線圈主體之間通過隔環（優選，采用ptfe材質的隔環）隔開，所述下鋁環安裝在線圈主體下端，其與線圈主體之間通過隔環（優選，采用ptfe材質的隔環）隔開。
8、所述銅管外刷有絕緣漆。
9、接觸連接各銅排與銅管外刷有絕緣漆。
10、本技
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1.一種水平電感加熱線圈，所述線圈包括線圈主體，所述線圈主體由線纜繞成，具有若干層線匝；其特征在于，各層線匝水平排布；
2.根據權利要求1所述的一種水平電感加熱線圈，其特征在于，所述線圈還包括上鋁環、下鋁環；所述線圈主體豎置，所述上鋁環安裝在線圈主體上端，其與線圈主體之間通過隔環隔開，所述下鋁環安裝在線圈主體下端，其與線圈主體之間通過隔環隔開。
3.根據權利要求1所述的一種水平電感加熱線圈，其特征在于，所述銅管外刷有絕緣漆。
4.根據權利要求1所述的一種水平電感加熱線圈，其特征在于，接觸連接各銅排與銅管外刷有絕緣漆。
【技術特征摘要】
1.一種水平電感加熱線圈，所述線圈包括線圈主體，所述線圈主體由線纜繞成，具有若干層線匝；其特征在于，各層線匝水平排布；
2.根據權利要求1所述的一種水平電感加熱線圈，其特征在于，所述線圈還包括上鋁環、下鋁環；所述線圈主體豎置，所述上鋁環安裝在線圈主體上端，其與線圈主體...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張新峰，德米特羅維奇·德米特里，龍安澤，高欣，黃杰，杜陳，冒振東，石然，
申請(專利權)人：江蘇卓遠半導體有限公司，
類型：新型
國別省市：
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