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【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及等離子體射流設備,特別是一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置。
技術介紹
1、大氣壓等離子體射流設備是一種新型大氣壓類輝光等離子體發生裝置,是目前等離子體應用領域的研究熱點。大氣壓等離子體射流設備應用中,產生的等離子體中存在大量的活性粒子,而且種類繁多,活性強,因此在很多領域有著極其廣泛的應用前景,如醫學中牙齒管道治療和滅活細菌、材料表面處理、納米技術以及微電子制造等不一而論。
2、大氣壓等離子體射流設備配套的介質阻擋放電機構是其重要的一個部件,傳統的介質阻擋放電機構主要包括平板式、共面式和軸心式,其中軸心式在工業應用中較為常見,但現有的軸心式介質阻擋放電機構,由于結構所限,還存在軸向的中心電極與介質外側的電極之間的同軸度難以保證的問題,容易造成局部過熱,導致放電不穩定,難以獲得理想的離子流,無法保證大氣壓等離子體射流設備穩定可靠的工作。還有就是,目前傳統的大氣壓等離子體射流設備其介質阻擋放電機構一般由陶瓷或玻璃、石英、剛玉等硬性材料制成,由于材料的功能限制,不僅不便靈活應用于各領域,同時還存在被電擊的安全隱患。
技術實現思路
1、為了克服現有大氣壓等離子體射流設備由于結構所限,存在如背景所述弊端,本專利技術提供了在相關機構共同作用下,不僅解決了局部放電不穩定的問題,還解決了日常所需的安全操作條件和設備靈活性問題,為相關裝置穩定可靠工作起到了有利技術支持的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置。
2、本專利技術解決其技術問題所采用
3、一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,包括柔性絕緣介質管、供電電源、電極線、絕緣介質屏障;其特征在于,所述柔性絕緣介質管的軸心開有通孔,通孔作為介質腔;所述介質腔的一端為載氣進口,另一端為等離子體噴射出口;所述柔性絕緣介質管的內、外壁之間沿絕緣管的中心軸線嵌有兩條相互平行的螺旋線槽,每條螺旋線槽中分別纏繞一根電極線作為放電電極;所述供電電源分別為兩個放電電極供電;所述絕緣介質屏障為絕緣介質管的最外層,絕緣介質屏障用于固定柔性絕緣介質管的等離子體射流發生部分,同時起到保護作用。
4、進一步地,所述柔性絕緣介質管為由聚四氟材料制成,聚四氟材料具有良好的絕緣性能以及耐老化性能,且易加工,價格低,還具有可變形性,便于常態化應用。
5、進一步地,所述柔性絕緣介質管的長度為150mm~550mm之間、直徑為4mm~6mm之間、壁厚為2mm~4mm之間。
6、進一步地,所述螺旋線槽的截面呈矩形或半圓形,槽長為100mm~500mm之間、槽寬為0.5mm~1mm之間、槽深為1mm~1.5mm之間、螺距為2mm~10mm之間,兩條螺旋線槽之間的直線距離為螺距的一半;螺旋線槽開在離柔性絕緣介質管頂端和末端各1mm~3mm之間。
7、進一步地,所述電極線為金屬絲,其直徑為0.5mm~1mm之間,電極線為不銹鋼絲或銅絲中的一種。
8、進一步地,所述供電電源為高壓交流電源,其頻率為5khz~20khz,峰值電壓為5kv~30kv,工作功率為5w~50w。
9、進一步地,所述絕緣介質屏障由玻璃或者石英、陶瓷、剛玉材料制作而成,其長度為100mm~500mm之間,直徑為22mm~24mm之間,壁厚為1mm~3mm之間。
10、進一步地,所述載氣為壓縮空氣是高純度惰性氣體、氮氣、氧氣中一種或一種以上的混合氣體,載氣的流速為200ml/min~600ml/min之間。
11、本專利技術有益效果是:本專利技術將電極線嵌入柔性絕緣介質管內的螺旋線槽中做放電電極,避免了電擊的可能,提供了日常所需的安全操作條件和設備的靈活性,可以實現在材料表面處理、醫學和微電子制造等多領域的常態化應用;通過把放電電極嵌入柔性絕緣介質管的螺旋線槽中保證了放電電極的同軸度,并增大了放電面積,提高了放電性能和放電效率,避免了放電不穩定現象。為相關裝置穩定可靠工作起到了有利技術支持。
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1.一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,包括柔性絕緣介質管、供電電源、電極線、絕緣介質屏障;其特征在于,所述柔性絕緣介質管的軸心開有通孔,通孔作為介質腔;所述介質腔的一端為載氣進口,另一端為等離子體噴射出口;所述柔性絕緣介質管的內、外壁之間沿絕緣管的中心軸線嵌有兩條相互平行的螺旋線槽,每條螺旋線槽中分別纏繞一根電極線作為放電電極;所述供電電源分別為兩個放電電極供電;所述絕緣介質屏障為絕緣介質管的最外層,絕緣介質屏障用于固定柔性絕緣介質管的等離子體射流發生部分,同時起到保護作用。
2.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,柔性絕緣介質管為由聚四氟材料制成,聚四氟材料具有良好的絕緣性能以及耐老化性能,且易加工,價格低,還具有可變形性,便于常態化應用。
3.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,柔性絕緣介質管的長度為150mm~550mm之間、直徑為4mm~6mm之間、壁厚為2mm~4mm之間。
4.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝
5.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,電極線為金屬絲,其直徑為0.5mm~1mm之間,電極線為不銹鋼絲或銅絲中的一種。
6.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,供電電源為高壓交流電源,其頻率為5KHz~20KHz,峰值電壓為5KV~30KV,工作功率為5W~50W。
7.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,絕緣介質屏障由玻璃或者石英、陶瓷、剛玉材料制作而成,其長度為100mm~500mm之間,直徑為22mm~24mm之間,壁厚為1mm~3mm之間。
8.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,載氣為壓縮空氣是高純度惰性氣體、氮氣、氧氣中一種或一種以上的混合氣體,載氣的流速為200mL/min~600mL/min之間。
...【技術特征摘要】
1.一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,包括柔性絕緣介質管、供電電源、電極線、絕緣介質屏障;其特征在于,所述柔性絕緣介質管的軸心開有通孔,通孔作為介質腔;所述介質腔的一端為載氣進口,另一端為等離子體噴射出口;所述柔性絕緣介質管的內、外壁之間沿絕緣管的中心軸線嵌有兩條相互平行的螺旋線槽,每條螺旋線槽中分別纏繞一根電極線作為放電電極;所述供電電源分別為兩個放電電極供電;所述絕緣介質屏障為絕緣介質管的最外層,絕緣介質屏障用于固定柔性絕緣介質管的等離子體射流發生部分,同時起到保護作用。
2.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,柔性絕緣介質管為由聚四氟材料制成,聚四氟材料具有良好的絕緣性能以及耐老化性能,且易加工,價格低,還具有可變形性,便于常態化應用。
3.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,柔性絕緣介質管的長度為150mm~550mm之間、直徑為4mm~6mm之間、壁厚為2mm~4mm之間。
4.根據權利要求1所述的一種可靈活調節的介質阻擋放電等離子體射流裝置,其特征在于,螺旋線槽的截面呈矩形或半圓形,槽長為100...
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