【技術實現步驟摘要】
本申請涉及器件篩選，特別涉及一種篩選方法、篩選裝置、篩選設備及非易失性計算機可讀存儲介質。
技術介紹
1、cp(chip?probing)指的是晶圓測試，在晶圓制造完成后，基于晶圓進行芯片制造，在封裝之前我們需要對晶圓進行cp測試，從而排除出不合格的芯粒，合格的芯片需要進行后續封裝。晶圓制造完成后，由于晶圓質量以及制造工藝等原因，晶圓上分布的裸芯會有一定的殘次品。因此，在cp測試后，芯片封裝前，將不合格的芯片剔除，能夠有效的降低成本以及降低后續器件測試方面的工作量。一般cp測試中有著上下極限范圍的卡控，常見的測試參數如閾值電壓，擊穿電壓，柵源漏電流等超出極限值的范圍則會被判定為失效。但是從實際的電學性能數據分布來看，有些器件電學性能參數雖然沒有超出極限值，但是明顯和周圍數值有著較大的區別，這些數值離群點已經在實踐中被證明了出現可靠性問題的概率遠超一般的器件。但顯然cp測試過程中的性能卡控不能有效篩選這些離群點，因此如何能夠對離群點進行有效地剔除，以降低芯片的可靠性隱患和成本成為亟需解決的問題。
技術實現思路
1、本申請實施方式提供了一種篩選方法、篩選裝置、篩選設備及非易失性計算機可讀存儲介質。
2、本申請實施例提供一種篩選方法。所述篩選方法包括獲取待測件的各個器件的性能參數；根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，所述全局篩選閾值根據各個所述器件的性能參數確定；根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標
3、本申請實施方式提供一種篩選裝置。所述篩選裝置包括獲取模塊、全局篩選模塊，及局部篩選模塊。所述獲取模塊用于獲取待測件的各個器件的性能參數。所述全局篩選模塊用于根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，所述全局篩選閾值根據各個所述器件的性能參數確定。所述局部篩選模塊用于根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，所述局部篩選閾值根據所述當前中間器件及所述當前中間器件的鄰近中間器件的性能參數確定，所述當前中間器件為任一所述中間器件。
4、本申請實施方式提供一種篩選設備，所述篩選設備包括性能參數檢測裝置及處理器。所述性能參數檢測裝置用于檢測待測件的器件的性能參數；所述處理器用于執行篩選方法。所述篩選方法包括獲取待測件的各個器件的性能參數；根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，所述全局篩選閾值根據各個所述器件的性能參數確定；根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，所述局部篩選閾值根據所述當前中間器件及所述當前中間器件的鄰近中間器件的性能參數確定，所述當前中間器件為任一所述中間器件。
5、本申請實施方式提供一種非易失性計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序。該計算機程序被處理器執行時實現篩選方法。所述篩選方法包括獲取待測件的各個器件的性能參數；根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，所述全局篩選閾值根據各個所述器件的性能參數確定；根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，所述局部篩選閾值根據所述當前中間器件及所述當前中間器件的鄰近中間器件的性能參數確定，所述當前中間器件為任一所述中間器件。
6、本申請中篩選方法、篩選裝置、篩選設備及非易失性計算機可讀存儲介質中，可根據各個器件的性能參數確定全局篩選閾值，使得全局篩選閾值可表征待測件上的大部分器件的性能參數的分布情況。在獲取待測件的各個器件的性能參數后，可根據全局篩選閾值和各個器件的性能參數對各個器件進行全局篩選，以排除全局離群點，即排查出在全部器件中，性能參數與大部分器件的性能參數差異過大的器件，并將性能參數與大部分器件的性能參數差異不過過大的器件確認為中間器件。然后，根據當前中間器件及當前中間器件的鄰近中間器件的性能參數確定局部篩選閾值，使得局部篩選閾值可用于表征當前中間器件及當前中間器件的鄰近中間器件中，大部分中間器件的性能參數的分布情況，其中當前中間器件為任一中間器件。接著，便可根據局部篩選閾值對當前中間器件進行局部篩選，以判斷當前中間器件是否為離群點，從而確定當前中間器件是否為目標器件。如此，在進行全局篩選和局部篩選后，可依次排查出全局離群點和局部離群點，使得可準確地找出性能參數與待測件上的大部分器件的性能參數相差較遠的器件，特別是可有效地找出沒有超出極限值，但又和周圍數據有較大區別的離群點，以確保最終確定的目標器件的性能參數能夠較符合要求，從而降低目標器件的可靠性隱患和成本。
7、本申請實施方式的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請的實踐了解到。
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1.一種篩選方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的篩選方法，其特征在于，所述全局篩選閾值包括第一均值，所述根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，包括：
3.根據權利要求1或2所述的篩選方法，其特征在于，所述全局篩選閾值包括第一均值及第一標準方差，所述根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，包括：
4.根據權利要求1所述的篩選方法，其特征在于，所述局部篩選閾值包括第二均值，所述根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，包括：
5.根據權利要求1或4所述的篩選方法，其特征在于，所述局部篩選閾值包括第二均值及第二標準方差，所述根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，包括：
6.根據權利要求4所述的篩選方法，其特征在于，所述根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，還包括：
7.根據權利要求6所述的篩選方法，其特征在于，所述根
8.根據權利要求1所述的篩選方法，其特征在于，所述性能參數包括柵極漏電流、源漏漏電流、擊穿電壓或導通電阻中至少一者。
9.根據權利要求8所述的篩選方法，其特征在于，在所述器件的任意一個性能參數表征器件失效的情況下，確定所述器件失效。
10.一種篩選裝置，其特征在于，包括：
11.一種篩選設備，其特征在于，包括：
12.一種計算機程序的非易失性計算機可讀存儲介質，其特征在于，當所述計算機程序被一個或多個處理器執行時，實現權利要求1-9任一項所述的篩選方法。
...【技術特征摘要】
1.一種篩選方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的篩選方法，其特征在于，所述全局篩選閾值包括第一均值，所述根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，包括：
3.根據權利要求1或2所述的篩選方法，其特征在于，所述全局篩選閾值包括第一均值及第一標準方差，所述根據全局篩選閾值和各個所述器件的性能參數對各個所述器件進行篩選，以獲取多個中間器件，包括：
4.根據權利要求1所述的篩選方法，其特征在于，所述局部篩選閾值包括第二均值，所述根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，包括：
5.根據權利要求1或4所述的篩選方法，其特征在于，所述局部篩選閾值包括第二均值及第二標準方差，所述根據局部篩選閾值和當前中間器件的性能參數確定當前中間器件是否為目標器件，包括：
【專利技術屬性】
技術研發人員：魏林程，倪煒江，郝志杰，楊皓宇，
申請(專利權)人：安徽芯塔電子科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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