【技術實現步驟摘要】
本公開涉及發光器件領域，特別涉及一種發光二極管及其制作方法。
技術介紹
1、發光二極管可以應用在顯示面板等顯示領域中。
2、相關技術提供了一種發光二極管，該發光二極管包括：襯底，依次層疊在襯底表面的第一半導體層、有源層和第二半導體層，第一半導體層、有源層和第二半導體層形成臺階結構；銀鏡結構，銀鏡結構位于第二半導體層表面；第一鈍化層，第一鈍化層覆蓋臺階結構和銀鏡結構；第一電極和第二電極，第一電極貫穿第一鈍化層與第一半導體層連接，第二電極貫穿第一鈍化層與銀鏡結構連接；。其中，為確保發光二極管具有較高的亮度，第一電極和第二電極中具有反射金屬，且一部分第一電極會覆蓋在第一鈍化層表面。
3、然而，上述結構的發光二極管可靠性較低。
技術實現思路
1、本公開實施例提供了一種發光二極管及其制作方法，可以提升發光二極管的可靠性。所述技術方案如下：
2、一方面，提供了一種發光二極管，所述發光二極管包括：
3、襯底，依次層疊在所述襯底的第一半導體層、有源層和第二半導體層，所述第一半導體層、所述有源層和所述第二半導體層形成臺階結構；
4、銀鏡結構，所述銀鏡結構位于所述第二半導體層表面；
5、第一鈍化層，所述第一鈍化層覆蓋所述臺階結構和所述銀鏡結構，所述第一鈍化層包括多個交替層疊的介質層和金屬層；
6、第一電極和第二電極，所述第一電極貫穿所述第一鈍化層與所述第一半導體連接，所述第二電極貫穿所述第一鈍化層與所述銀鏡結構連接，所
7、可選地，所述金屬層為柔性金屬材料層。
8、可選地，所述金屬層包括金層、鉑層、銅層、銀層、鎢層、鋁層中的任意一種或多種，或者所述金屬層包括金、鉑、銅、銀、鎢、鋁中的多種形成的合金層。
9、可選地，所述第一鈍化層包括m層所述介質層和m-1層所述金屬層，每層所述金屬層位于兩層所述介質層之間，且所述金屬層的側面被所述介質層覆蓋，其中，m為整數，且m的取值范圍為2～20。
10、可選地，所述金屬層的厚度為500～20000埃。
11、可選地，所述介質層為sio2層、tio2層、sio層中的任意一種或多種。
12、可選地，所述發光二極管還包括：第二鈍化層、第一電極焊盤和第二電極焊盤；
13、所述第二鈍化層包括多個交替層疊的所述介質層和所述金屬層；
14、所述第二鈍化層覆蓋所述第一鈍化層、所述第一電極和所述第二電極，所述第一電極焊盤貫穿所述第二鈍化層與所述第一電極連接，所述第二電極焊盤貫穿所述第二鈍化層與所述第二電極連接，所述第一電極焊盤和所述第二電極焊盤與所述第二鈍化層中的所述金屬層絕緣。
15、另一方面，提供了一種發光二極管的制作方法，所述方法包括：
16、在襯底表面依次制作第一半導體層、有源層和第二半導體層，所述第一半導體層、所述有源層和所述第二半導體層形成臺階結構；
17、制作銀鏡結構，所述銀鏡結構位于所述第二半導體層表面；
18、制作第一鈍化層，所述第一鈍化層覆蓋所述臺階結構和所述銀鏡結構，所述第一鈍化層包括多個交替層疊的介質層和金屬層；
19、制作第一電極和第二電極，所述第一電極貫穿所述第一鈍化層與所述第一半導體連接，所述第二電極貫穿所述第一鈍化層與所述銀鏡結構連接，所述第一電極和所述第二電極與所述第一鈍化層中的所述金屬層絕緣。
20、可選地，所述制作第一鈍化層，包括：
21、采用等離子體增強化學氣相沉積技術制作第一sio2層，所述第一sio2層覆蓋所述臺階結構和所述銀鏡結構；
22、采用電子束蒸發技術在所述第一sio2層表面形成圖形化的第一alcu層；
23、采用等離子體增強化學氣相沉積技術制作第二sio2層，所述第二sio2層覆蓋所述第一alcu層的表面、所述第一alcu層在所述圖形化區域的側壁、以及所述第一sio2層在所述圖形化區域的部分；
24、對所述第一sio2層和所述第二sio2層進行圖形化處理，以形成與所述第一alcu層的圖形化區域對應的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔貫穿所述第一sio2層和所述第二sio2層與所述第一半導體層連通，所述第二通孔貫穿所述第一sio2層和所述第二sio2層與所述第二半導體層連通。
25、可選地，所述方法還包括：
26、制作第二鈍化層，所述第二鈍化層覆蓋所述第一鈍化層、所述第一電極和所述第二電極，所述第二鈍化層包括多個交替層疊的所述介質層和所述金屬層；
27、制作第一電極焊盤和第二電極焊盤，所述第一電極焊盤貫穿所述第二鈍化層與所述第一電極連接，所述第二電極焊盤貫穿所述第二鈍化層與所述第二電極連接，所述第一電極焊盤和所述第二電極焊盤與所述第二鈍化層中的所述金屬層絕緣。
28、本公開實施例提供的技術方案帶來的有益效果是：
29、在本公開實施例中，第一鈍化層中包括多個交替層疊的介質層和金屬層，且金屬層與第一電極和第二電極絕緣。通過設置交替層疊的介質層和金屬層作為第一鈍化層和第二鈍化層，提升第一鈍化層和第二鈍化層的膜層質量，從而在第一鈍化層下方的銀鏡結構產生金屬顆粒時，可以避免金屬顆粒使第一鈍化層破裂，導致銀鏡結構與第一電極連接，造成發光二極管失效。通過設置上述膜層結構的第一鈍化層，提升第一鈍化層的膜層質量，從而提升發光二極管的可靠性。
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1.一種發光二極管，其特征在于，所述發光二極管包括：
2.根據權利要求1所述的發光二極管，其特征在于，所述金屬層為柔性金屬材料層。
3.根據權利要求2所述的發光二極管，其特征在于，所述金屬層包括金層、鉑層、銅層、銀層、鎢層、鋁層中的任意一種或多種，或者所述金屬層包括金、鉑、銅、銀、鎢、鋁中的多種形成的合金層。
4.根據權利要求1至3任一項所述的發光二極管，其特征在于，所述第一鈍化層(106)包括m層所述介質層和m-1層所述金屬層，每層所述金屬層位于兩層所述介質層之間，且所述金屬層的側面被所述介質層覆蓋，其中，m為整數，且m的取值范圍為2～20。
5.根據權利要求1至3任一項所述的發光二極管，其特征在于，所述金屬層的厚度為500～20000埃。
6.根據權利要求1至3任一項所述的發光二極管，其特征在于，所述介質層為SiO2層、TiO2層、SiO層中的任意一種或多種。
7.根據權利要求1至3任一項所述的發光二極管，其特征在于，所述發光二極管還包括：第二鈍化層(109)、第一電極焊盤(110)和第二電極焊盤(111
8.一種發光二極管的制作方法，其特征在于，所述方法包括：
9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述制作第一鈍化層，包括：
10.根據權利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
...【技術特征摘要】
1.一種發光二極管，其特征在于，所述發光二極管包括：
2.根據權利要求1所述的發光二極管，其特征在于，所述金屬層為柔性金屬材料層。
3.根據權利要求2所述的發光二極管，其特征在于，所述金屬層包括金層、鉑層、銅層、銀層、鎢層、鋁層中的任意一種或多種，或者所述金屬層包括金、鉑、銅、銀、鎢、鋁中的多種形成的合金層。
4.根據權利要求1至3任一項所述的發光二極管，其特征在于，所述第一鈍化層(106)包括m層所述介質層和m-1層所述金屬層，每層所述金屬層位于兩層所述介質層之間，且所述金屬層的側面被所述介質層覆蓋，其中，m為整數，且m的取值范圍為2～20。
5.根據權利要...
【專利技術屬性】
技術研發人員：芮哲，夏群，馬國強，田宇航，游云夢，魏柏林，田艷紅，
申請(專利權)人：華燦光電浙江有限公司，
類型：發明
國別省市：
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