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    玻璃真空封口設備及其在半導體用石英管生產中的應用制造技術

    技術編號:41664224 閱讀:14 留言:0更新日期:2024-06-14 15:23
    本發明專利技術涉及初型玻璃的再成型技術領域,公開了玻璃真空封口設備及其在半導體用石英管生產中的應用。通過先將玻璃管放置到傳輸架上,傳輸架沿著回環導軌進行移動,使玻璃管在傳輸架上從玻璃真空封口設備的進料端向機體內送入,玻璃管移入機體內后,先打開第二上密封門,玻璃管隨傳輸架在回環導軌上移入緩沖倉中,關閉第二上密封門,再打開第一上密封門,玻璃管隨傳輸架在回環導軌上移入真空倉中,關閉第一上密封門,使玻璃管在真空倉中進行真空封口處理,而由于緩沖倉的限制,只會存在少量的氣體進入真空倉中,真空倉可以極快地排氣再次恢復真空狀態,從而降低玻璃真空封口處理時真空環境形成的時間,提高工作效率,降低生產成本。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及初型玻璃的再成型,具體為玻璃真空封口設備及其在半導體用石英管生產中的應用


    技術介紹

    1、石英玻璃管是用二氧化硅制造的特種工業技術玻璃,是一種非常優良的基礎材料,其具有一系列優良的物理、化學性能。在石英玻璃管加工工藝中,玻璃的真空封口處理較為重要。

    2、現有的玻璃真空封口設備中,如中國專利申請cn104556646a,通過將真空杯的杯口按壓在抽真空開口,同時將吸附腔與抽真空開口之外的玻璃相抵靠,用于使得整個真空杯吸附在真空玻璃上;通過抽真空設備分別向真空杯的排氣腔和吸附腔提供具有不同壓強的吸力;在排氣操作完成時,由封口設備帶動其中的加熱器朝向抽真空開口移動,由加熱器對封口材料進行加熱,從而將所述抽真空開口密封,并且真空杯分為吸附腔和排氣腔,抽真空設備對上述兩個腔體提供不同的壓強,節約了能源,加快了抽真空的時間。

    3、但其中還存在如下問題:每對一批玻璃真空封口后,重新加工下一批時,玻璃真空封口設備都需要重新形成真空腔,玻璃真空封口設備的工作效率較低,產生了較大的能源浪費。


    技術實現思路

    1、針對現有技術的不足,本專利技術提供了玻璃真空封口設備及其在半導體用石英管生產中的應用,具備降低玻璃真空封口處理時真空環境形成的時間,提高工作效率,降低生產成本等優點,解決了每對一批玻璃真空封口后,重新加工下一批時,玻璃真空封口設備都需要重新形成真空腔,玻璃真空封口設備的工作效率較低,產生了較大的能源浪費的問題。

    2、為實現上述目的,本專利技術提供如下技術方案:玻璃真空封口設備,包括機體、設置在所述機體內的傳輸機構、設置在所述機體內的輔助機構,所述傳輸機構包括真空倉、回環導軌、傳輸架,所述機體內固定安裝有所述真空倉,所述機體內固定安裝有所述回環導軌,所述回環導軌的上端貫穿所述真空倉,所述回環導軌的下端位于所述真空倉的下方,所述回環導軌的兩端貫穿所述機體的側壁,所述回環導軌上滑動配合有多個所述傳輸架,所述傳輸架均勻分布在所述回環導軌上,所述傳輸架任意時刻只存在單個所述傳輸架位于所述真空倉內部;

    3、所述輔助機構包括第一上密封門、緩沖倉、第二上密封門,所述真空倉的兩側均滑動設置有所述第一上密封門,所述第一上密封門位于所述回環導軌貫穿所述真空倉的位置,所述真空倉的兩側均固定安裝有所述緩沖倉,所述緩沖倉位于所述回環導軌貫穿所述真空倉的位置,所述緩沖倉與所述真空倉相通,所述第一上密封門貫穿所述緩沖倉的頂面,所述第一上密封門與所述緩沖倉之間保持密封,所述緩沖倉上均滑動設置有所述第二上密封門,所述第二上密封門對所述緩沖倉上相對于所述回環導軌貫穿所述真空倉位置的另一端進行密封處理。

    4、優選地,所述傳輸機構還包括電控閥門,所述真空倉底端固定安裝有所述電控閥門,所述電控閥門與所述真空倉相通,所述機體內底端固定安裝有真空泵,所述真空泵的抽氣端與所述電控閥門相通,所述真空泵的排氣端與所述機體的側壁固定連接,所述機體上開設有排氣口,所述機體的排氣口位于所述真空泵的排氣端與所述機體之間連接的位置。

    5、優選地,所述機體內頂端固定安裝有多個電控伸縮桿,所述電控伸縮桿呈直線均勻分布,所述電控伸縮桿均位于所述回環導軌的正上方,所述電控伸縮桿位于所述真空倉的上方,所述電控伸縮桿的定桿貫穿所述真空倉的頂端,所述電控伸縮桿與所述真空倉之間密封,所述電控伸縮桿的伸桿上均固定安裝有燒結頭,所述燒結頭用于對玻璃管進行封口處理。

    6、優選地,所述回環導軌分兩部分結構對稱分布,所述回環導軌的兩部分結構之間未相互連接,所述回環導軌的兩部分結構上均套設有鏈條,所述鏈條均與所述回環導軌滑動配合,兩邊的所述鏈條之間設置有多個所述傳輸架,所述傳輸架與所述兩邊的所述鏈條固定連接,所述傳輸架為軟性材料,所述傳輸架均勻分布在所述鏈條上,所述傳輸架上設置有玻璃管,所述玻璃管隨所述傳輸架移動至所述真空倉內利用所述燒結頭進行封口處理。

    7、優選地,所述機體內固定安裝有步進電機,所述步進電機的軸上設置有齒輪,兩個所述齒輪均與所述步進電機動力相連,兩個所述齒輪分別與兩邊的所述鏈條相嚙合。

    8、優選地,所述輔助機構還包括第一滑架,所述機體頂端固定安裝有多個所述第一滑架,所述第一滑架對稱分布在所述真空倉的兩側,所述第一滑架與所述回環導軌貫穿所述真空倉的位置相鄰,所述第一滑架貫穿所述緩沖倉的頂面,所述第一滑架與所述緩沖倉之間密封,所述第一滑架上均滑動配合有所述第一上密封門,所述真空倉的兩側均固定安裝有第一下密封門,所述第一下密封門位于所述第一上密封門的正下方,所述第一下密封門位于所述緩沖倉的內部,所述第一上密封門與所述第一下密封門對所述回環導軌貫穿所述真空倉的位置進行合攏密封處理,所述機體內頂端固定安裝有多個第一液壓桿,所述第一液壓桿的伸桿與所述第一上密封門固定連接。

    9、優選地,所述機體頂端固定安裝有多個第二滑架,所述第二滑架對稱分布在整體的所述緩沖倉的兩側,所述第二滑架上均滑動配合有所述第二上密封門,所述緩沖倉上均固定安裝有第二下密封門,所述第二下密封門位于所述第二上密封門的正下方,所述第二上密封門與所述第二下密封門對所述緩沖倉進行合攏密封處理,所述機體內頂端固定安裝有多個第二液壓桿,所述第二液壓桿的伸桿與所述第二上密封門固定連接。

    10、優選地,所述回環導軌的一端轉動配合有檢測件,所述檢測件與所述回環導軌頂面的傳輸軌跡相鄰,所述檢測件位于玻璃真空封口設備的進料端,所述檢測件用于檢測所述傳輸架在玻璃真空封口設備進料端的移動位置,所述檢測件的轉軸上套設有扭簧,所述扭簧的一端與所述檢測件相連,所述扭簧的另一端與所述回環導軌相連,所述回環導軌上固定安裝有檢測器,所述檢測器用于檢測所述檢測件的轉動,所述機體旁設置有玻璃管輸送軌道,所述玻璃管輸送軌道用于向玻璃真空封口設備傳送玻璃管,所述玻璃管輸送軌道與玻璃真空封口設備的進料端相對,所述檢測器與所述玻璃管輸送軌道信號連接。

    11、一種上述的玻璃真空封口設備在半導體用石英管生產中的應用。

    12、與現有技術相比,本專利技術提供了玻璃真空封口設備,具備以下有益效果:

    13、1、該玻璃真空封口設備,通過真空倉內保持真空狀態,先將玻璃管放置到傳輸架上,啟動玻璃真空封口設備,傳輸架沿著回環導軌進行移動,使玻璃管在傳輸架上從玻璃真空封口設備的進料端向機體內送入,玻璃管移入機體內后,先打開第二上密封門,玻璃管隨傳輸架在回環導軌上移入緩沖倉中,關閉第二上密封門,再打開第一上密封門,玻璃管隨傳輸架在回環導軌上移入真空倉中,關閉第一上密封門,使玻璃管在真空倉中進行真空封口處理,而由于緩沖倉的限制,只會存在少量的氣體進入真空倉中,真空倉可以極快地排氣再次恢復真空狀態,從而降低玻璃真空封口處理時真空環境形成的時間,提高工作效率,降低生產成本。

    14、2、該玻璃真空封口設備,通過電控閥門的設置,在出現安全問題或是設備故障時,電控閥門會關閉以鎖定真空倉的狀態,從而避免產生的問題或是設備故障更加嚴重。

    15本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.玻璃真空封口設備,包括機體(1)、設置在所述機體(1)內的傳輸機構(2)、設置在所述機體(1)內的輔助機構(3),其特征在于:

    2.根據權利要求1所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    3.根據權利要求2所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    4.根據權利要求3所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    5.根據權利要求4所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    6.根據權利要求5所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    7.根據權利要求6所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    8.根據權利要求7所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    9.一種如權利要求1-8任一項所述的玻璃真空封口設備在半導體用石英管生產中的應用。

    【技術特征摘要】

    1.玻璃真空封口設備,包括機體(1)、設置在所述機體(1)內的傳輸機構(2)、設置在所述機體(1)內的輔助機構(3),其特征在于:

    2.根據權利要求1所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    3.根據權利要求2所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    4.根據權利要求3所述的玻璃真空封口設備,其特征在于:

    5....

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:胡文菊翟亮許金華
    申請(專利權)人:江蘇大煦朗寧新材料科技有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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