【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及容積式的真空泵及其控制方法的技術(shù)。
技術(shù)介紹
1、在容積式真空泵中，通過(guò)利用電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)移其容積，從而將作為排氣對(duì)象空間的腔室內(nèi)的氣體排出。電動(dòng)機(jī)采用如下控制方式，如以鼠籠型感應(yīng)電動(dòng)機(jī)為代表那樣，根據(jù)輸入的電源頻率確定其轉(zhuǎn)速(也稱作滑動(dòng)轉(zhuǎn)速)，將其轉(zhuǎn)速設(shè)為固定范圍。但是，上述容積的轉(zhuǎn)移是指，將氣體的轉(zhuǎn)移和附帶的壓縮負(fù)載、與維持氣體的吸入口和排出口之間的差壓的負(fù)載合成起來(lái)的事件，根據(jù)應(yīng)用了該泵的容積轉(zhuǎn)移的設(shè)計(jì)思想的對(duì)象的不同，有時(shí)對(duì)于作為電動(dòng)機(jī)的功的每單位時(shí)間應(yīng)處理的負(fù)載，會(huì)強(qiáng)制進(jìn)行無(wú)法維持其額定轉(zhuǎn)速那樣的過(guò)載運(yùn)行。
2、如果維持過(guò)載運(yùn)行，則會(huì)導(dǎo)致電動(dòng)機(jī)或泵部過(guò)熱，以至于真空泵故障，因此，添加了將負(fù)載限制為一定以下的機(jī)械結(jié)構(gòu)(溢流閥(限制壓縮負(fù)載)、磁性聯(lián)軸器(限制轉(zhuǎn)矩傳遞))，來(lái)進(jìn)行應(yīng)對(duì)。此外，近年來(lái)，隨著控制裝置的高度發(fā)展，有時(shí)利用控制裝置所附帶的功能即轉(zhuǎn)矩極限(電流極限)來(lái)代替磁性聯(lián)軸器(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
4、專利文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平8-254193號(hào)公報(bào)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、專利技術(shù)要解決的問(wèn)題
2、這樣的真空泵是以會(huì)出現(xiàn)周期性地強(qiáng)制進(jìn)行額定以上的過(guò)載運(yùn)轉(zhuǎn)的情況為前提而設(shè)計(jì)的。其理由是因?yàn)橥ǔ?huì)有與下降負(fù)載連接的情況，下降負(fù)載是負(fù)載初始最大，然后指數(shù)性下降的負(fù)載。除此之外還因?yàn)橥ǔ?huì)有如下情況，在維持真空時(shí)僅有維持差壓的功成為負(fù)載(根據(jù)真空泵的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，有時(shí)其差壓也較小
3、雖然是以這樣的方式利用的真空泵，但在上述那樣的過(guò)載時(shí)的運(yùn)行處理會(huì)給真空排氣性能帶來(lái)不良影響。具體而言，在使真空泵的負(fù)載增加時(shí)，或在運(yùn)行時(shí)使容積的轉(zhuǎn)移量、特別是每單位時(shí)間的轉(zhuǎn)移量增加時(shí)，其電動(dòng)機(jī)能力發(fā)揮至最大限度的能力、即發(fā)揮連續(xù)額定以上的能力被限制，無(wú)法發(fā)揮原本具有的短時(shí)間額定的能力。
4、鑒于如上情況，本專利技術(shù)的目的在于，提供一種能夠保護(hù)電動(dòng)機(jī)不會(huì)過(guò)熱，并且實(shí)現(xiàn)真空排氣性能的提高的真空泵及其控制方法。
5、用于解決問(wèn)題的方案
6、本專利技術(shù)的一個(gè)方式的真空泵具有：容積型泵主體、電動(dòng)機(jī)、以及控制部。
7、所述泵主體具有泵轉(zhuǎn)子。
8、所述電動(dòng)機(jī)使所述泵轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。
9、所述控制部在負(fù)載轉(zhuǎn)矩為第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩以下時(shí)，執(zhí)行第一控制模式，所述第一控制模式以規(guī)定轉(zhuǎn)速以下的轉(zhuǎn)速驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)，在所述負(fù)載轉(zhuǎn)矩大于所述第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩時(shí)，執(zhí)行第二控制模式，所述第二控制模式將第一規(guī)定功率作為上限，以所述規(guī)定轉(zhuǎn)速以下的轉(zhuǎn)速且比第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩高的第二規(guī)定轉(zhuǎn)矩以下的轉(zhuǎn)矩驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)。
10、由此，即使在過(guò)載運(yùn)行時(shí)，也抑制了電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速的降低，因此能夠維持泵轉(zhuǎn)子的每單位時(shí)間的容積轉(zhuǎn)移量，并實(shí)現(xiàn)排氣至目標(biāo)壓力的時(shí)間的縮短。此外，電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速被限制為規(guī)定轉(zhuǎn)速以下，因此能夠保護(hù)真空泵不會(huì)過(guò)熱。
11、典型地，所述第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩為所述電動(dòng)機(jī)的額定轉(zhuǎn)矩。
12、典型地，所述第一規(guī)定功率為所述電動(dòng)機(jī)的額定功率。
13、典型地，所述規(guī)定轉(zhuǎn)速為所述電動(dòng)機(jī)的額定轉(zhuǎn)速。在所述負(fù)載轉(zhuǎn)矩為所述第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩以下、并且所述電動(dòng)機(jī)的功率為所述第一規(guī)定功率以下時(shí)，所述規(guī)定轉(zhuǎn)速也可以是比所述額定轉(zhuǎn)速高的轉(zhuǎn)速。
14、所述控制部也可以構(gòu)成為，在所述第二控制模式中，在所述電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)滿足規(guī)定的條件時(shí)，僅在規(guī)定時(shí)間內(nèi)以比所述第一規(guī)定功率高的第二規(guī)定功率驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)。
15、所述控制部也可以構(gòu)成為，在所述第二控制模式中，計(jì)算所述真空泵整體的溫度的推測(cè)值，在所述推測(cè)值為規(guī)定溫度以上時(shí)，以所述第一控制模式驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)。
16、在本專利技術(shù)的一個(gè)方式的真空泵的控制方法中，所述真空泵為容積式的真空泵，其具有：泵轉(zhuǎn)子、以及使所述泵轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)，在所述真空泵的控制方法中，
17、啟動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)，
18、在負(fù)載轉(zhuǎn)矩為第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩以下時(shí)，執(zhí)行第一控制模式，所述第一控制模式以規(guī)定轉(zhuǎn)速以下的轉(zhuǎn)速驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)，
19、在所述負(fù)載轉(zhuǎn)矩大于所述第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩時(shí)，執(zhí)行第二控制模式，所述第二控制模式將第一規(guī)定功率作為上限，以所述規(guī)定轉(zhuǎn)速以下的轉(zhuǎn)速且比第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩高的第二規(guī)定轉(zhuǎn)矩以下的轉(zhuǎn)矩驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)。
20、本專利技術(shù)的一個(gè)方式的真空泵用功率轉(zhuǎn)換裝置向使容積式的泵的泵轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)供給功率，其中，
21、所述真空泵用功率轉(zhuǎn)換裝置具有控制部，其在負(fù)載轉(zhuǎn)矩為第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩以下時(shí)，執(zhí)行第一控制模式，所述第一控制模式以規(guī)定轉(zhuǎn)速以下的轉(zhuǎn)速驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)，在所述負(fù)載轉(zhuǎn)矩大于所述第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩時(shí)，執(zhí)行第二控制模式，所述第二控制模式將第一規(guī)定功率作為上限，以所述規(guī)定轉(zhuǎn)速以下的轉(zhuǎn)速且比第一規(guī)定轉(zhuǎn)矩高的第二規(guī)定轉(zhuǎn)矩以下的轉(zhuǎn)矩驅(qū)動(dòng)所述電動(dòng)機(jī)。
22、專利技術(shù)效果
23、根據(jù)本專利技術(shù)，能夠保護(hù)電動(dòng)機(jī)不會(huì)過(guò)熱，并且實(shí)現(xiàn)真空排氣性能的提高。
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1.一種真空泵，其具有：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其中，
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其中，
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其中，
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其中，
8.一種真空泵的控制方法，所述真空泵為容積式的真空泵，其具有：泵轉(zhuǎn)子、以及使所述泵轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)，在所述真空泵的控制方法中，
9.一種真空泵用功率轉(zhuǎn)換裝置，其向使容積式的泵的泵轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)供給功率，其中，
10.一種壓縮機(jī)用功率轉(zhuǎn)換裝置，其向壓縮系統(tǒng)的壓縮機(jī)電動(dòng)機(jī)供給功率，其中，
11.一種壓縮機(jī)，其具有：
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】
1.一種真空泵，其具有：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其中，
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其中，
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其中，
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：木村康宏，橫澤榮秀，町家賢二，井上英晃，后藤彬德，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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