【技術實現步驟摘要】
本申請涉及基于光學原理的微電子器件溫度檢測領域，尤其涉及一種熱反射熱成像測溫方法、裝置、終端及存儲介質。
技術介紹
1、當可見光照射在某種材料表面時，材料對可見光的反射率隨材料溫度變化而變化。由于可見光的反射率變化量與材料表面的溫度變化量呈線性關系，可以利用熱反射熱成像測溫或反射率熱成像測溫，能夠同時實現高空間分辨力和高時間分辨力的熱成像測溫。
2、目前，采用脈沖窗函數平均(pulsed?box-car?averaging)實現高時間分辨力的熱反射熱成像測溫，該方法需要特定的時序和延遲分別調制led光源照明、相機曝光和被測件加電時序。其中，光源以脈沖形式開啟，其持續時間稱為照明脈寬，每個器件加電周期只曝光一次并采樣一次。照明脈寬即是采樣時間。被測件進行穩定工作狀態后，其結溫也是周期波動的，每個周期的數據是相同的。為了捕捉到結溫變化過程不同時刻的溫度，還需給光源脈沖施加一個延遲時序，使光源在結溫變化周期內不同時刻開啟，也就是說在不同的采樣時間點，對應的延遲時間是不同的，這樣就可以實現采樣時間隨周期偏移，以此得到對應時刻的結溫數據。最終，將所有結溫數據按延時時序排列，即可得到以照明脈寬為時間分辨率的結溫變化數據。由此可見，熱反射熱成像測溫系統由照明脈寬決定。但現有技術存在以下不足：一是光源的脈寬越短成本越高，實現難度越大；二是照明脈寬越短，探測器收集到的有效信號越弱，噪聲影響測溫準確性。
技術實現思路
1、本申請提供了一種熱反射熱成像測溫方法、裝置、終端及存儲介質，以解決現
2、第一方面，本申請提供了一種熱反射熱成像測溫方法，所述方法應用于測溫系統，所述測溫系統包括探測器、照明設備、電源系統和被測器件，所述電源系統與所述被測器件電連接，所述電源系統用于給所述被測器件供電，所述照明設備向所述被測器件發射光束，所述探測器檢測所述被測器件的溫度；所述方法包括：
3、從所述被測器件的加熱周期的開始加熱時間延遲第一延遲時間，得到所述照明設備在所述加熱周期內的第一采樣時間點；
4、從所述第一采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第一時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第一溫度；所述溫度為通過所述被測器件被所述照明設備照射后反射回的光束的強度變化確定的溫度；
5、從所述被測器件的加熱周期的開始加熱時間延遲第二延遲時間，得到所述照明設備在所述加熱周期內的第二采樣時間點，所述第二延遲時間為第一延遲時間和目標時間分辨率的時間和；
6、將所述照明設備的第一時間分辨率和所述目標時間分辨率的時間差作為第二時間分辨率，并從所述第二采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第二時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第二溫度；
7、基于所述第一溫度和所述第二溫度，得到所述被測器件在所述目標時間分辨率的熱反射熱成像溫度。
8、第二方面，本申請提供了一種熱反射熱成像測溫裝置，所述裝置應用于測溫系統，所述測溫系統包括探測器、照明設備、電源系統和被測器件，所述電源系統與所述被測器件電連接，所述電源系統用于給所述被測器件供電，所述照明設備向所述被測器件發射光束，所述探測器檢測所述被測器件的溫度；所述裝置包括：
9、第一采樣時間點獲取模塊，用于從所述被測器件的加熱周期的開始加熱時間延遲第一延遲時間，得到所述照明設備在所述加熱周期內的第一采樣時間點；
10、第一溫度獲取模塊，用于從所述第一采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第一時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第一溫度；所述溫度為通過所述被測器件被所述照明設備照射后反射回的光束的強度變化確定的溫度；
11、第二采樣時間點獲取模塊，用于從所述被測器件的加熱周期的開始加熱時間延遲第二延遲時間，得到所述照明設備在所述加熱周期內的第二采樣時間點，所述第二延遲時間為第一延遲時間和目標時間分辨率的時間和；
12、第二溫度獲取模塊，用于將所述照明設備的第一時間分辨率和所述目標時間分辨率的時間差作為第二時間分辨率，并從所述第二采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第二時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第二溫度；
13、溫度確定模塊，用于基于所述第一溫度和所述第二溫度，得到所述被測器件在所述目標時間分辨率的熱反射熱成像溫度。
14、第三方面，本申請提供了一種終端，包括存儲器、處理器以及存儲在所述存儲器中并可在所述處理器上運行的計算機程序，所述處理器執行所述計算機程序時實現如上第一方面或第一方面的任一種可能的實現方式所述方法的步驟。
15、第四方面，本申請提供了一種計算機可讀存儲介質，所述計算機可讀存儲介質存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執行時實現如上第一方面或第一方面的任一種可能的實現方式所述方法的步驟。
16、本申請提供一種熱反射熱成像測溫方法、裝置、終端及存儲介質，通過從被測器件的加熱周期的開始加熱時間延遲第一延遲時間，得到照明設備在加熱周期內的第一采樣時間點；從第一采樣時間點開始，獲取照明設備的第一時間分辨率內探測器探測得到的被測器件的溫度，并將該溫度作為第一溫度；從被測器件的加熱周期的開始加熱時間延遲第二延遲時間，得到照明設備在加熱周期內的第二采樣時間點，第二延遲時間為第一延遲時間和目標時間分辨率的時間和；將照明設備的第一時間分辨率和目標時間分辨率的時間差作為第二時間分辨率，并從第二采樣時間點開始，獲取照明設備的第二時間分辨率內探測器探測得到的被測器件的溫度，并將該溫度作為第二溫度；基于第一溫度和第二溫度，得到被測器件在目標時間分辨率的熱反射熱成像溫度。本申請通過第一溫度和第二溫度，確定被測器件在目標時間分辨率的熱反射熱成像溫度，能夠突破照明設備的采樣時間限制，不依靠極短的照明設備的采樣時間而實現高時間分辨率熱反射熱成像測溫，并且與現有技術所需要的采樣時間更窄的照明設備，具有成本低、技術實現難度低的優點。
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1.一種熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述方法應用于測溫系統，所述測溫系統包括探測器、照明設備、電源系統和被測器件，所述電源系統與所述被測器件電連接，所述電源系統用于給所述被測器件供電，所述照明設備向所述被測器件發射光束，所述探測器檢測所述被測器件的溫度；所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述基于所述第一溫度和所述第二溫度，得到所述被測器件在所述目標時間分辨率的熱反射熱成像溫度，包括：
3.根據權利要求1所述的熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述從所述第一采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第一時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第一溫度，包括：
4.根據權利要求1所述的熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述從所述第二采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第二時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第二溫度，包括：
5.一種熱反射熱成像測溫裝置，其特征在于，所述裝置應用于測溫系統，所述測溫系統包括探測器、照明設備、電源系統和被測器件，所述
6.根據權利要求5所述的熱反射熱成像測溫裝置，其特征在于，所述溫度確定模塊用于：
7.根據權利要求5所述的熱反射熱成像測溫裝置，其特征在于，所述第一采樣時間點獲取模塊用于：
8.根據權利要求5所述的熱反射熱成像測溫裝置，其特征在于，所述第二采樣時間點獲取模塊用于：
9.一種終端，包括存儲器、處理器以及存儲在所述存儲器中并可在所述處理器上運行的計算機程序，其特征在于，所述處理器執行所述計算機程序時實現如上的權利要求1至4中任一項所述熱反射熱成像測溫方法的步驟。
10.一種計算機可讀存儲介質，所述計算機可讀存儲介質存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執行時實現如上的權利要求1至4中任一項所述熱反射熱成像測溫方法的步驟。
...【技術特征摘要】
1.一種熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述方法應用于測溫系統，所述測溫系統包括探測器、照明設備、電源系統和被測器件，所述電源系統與所述被測器件電連接，所述電源系統用于給所述被測器件供電，所述照明設備向所述被測器件發射光束，所述探測器檢測所述被測器件的溫度；所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述基于所述第一溫度和所述第二溫度，得到所述被測器件在所述目標時間分辨率的熱反射熱成像溫度，包括：
3.根據權利要求1所述的熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述從所述第一采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第一時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第一溫度，包括：
4.根據權利要求1所述的熱反射熱成像測溫方法，其特征在于，所述從所述第二采樣時間點開始，獲取所述照明設備的第二時間分辨率內所述探測器探測得到的所述被測器件的溫度，并將該溫度作為第二溫度，包括：
5.一種熱反射熱成像測溫裝置，其特征在于，所述裝置應...
【專利技術屬性】
技術研發人員：翟玉衛，劉巖，吳愛華，朱超，李灝，丁晨，丁立強，
申請(專利權)人：中國電子科技集團公司第十三研究所，
類型：發明
國別省市：
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