一種軸心測量設(shè)備制造技術(shù)

本技術(shù)公開了一種軸心測量設(shè)備，涉及軸心測量技術(shù)領(lǐng)域。該軸心測量設(shè)備，包括：測量主板，所述測量主板的中部插接有軸心標(biāo)記針；側(cè)拉桿，所述側(cè)拉桿的一端與測量主板的外壁中部固定連接，所述側(cè)拉桿的另一端設(shè)置有卡塊；連接柱，所述連接柱設(shè)置在測量主板的兩端，所述連接柱的一端設(shè)置有緊固件，所述連接柱通過緊固件與測量主板連接，所述連接柱另一端設(shè)置有底板，所述底板的下表面設(shè)置有立板。通過卡塊內(nèi)側(cè)壁、兩個(gè)夾持板卡接在被測試軸的外壁上，三個(gè)點(diǎn)的位置確定，軸心標(biāo)記針能夠與軸心位置對(duì)應(yīng)，這時(shí)候能夠準(zhǔn)確快速的檢測出軸心，效率較高。三個(gè)點(diǎn)的位置快速卡接，使得三個(gè)點(diǎn)快速定位，軸心標(biāo)記針能夠準(zhǔn)確快速對(duì)軸的軸心指示。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及軸心測量，具體為一種軸心測量設(shè)備。

技術(shù)介紹

1、在半導(dǎo)體領(lǐng)域，硅和石英零部件是干法刻蝕硅工藝中的批量消耗品，硅和石英等脆性材料在生產(chǎn)過程中，依據(jù)工藝要求需要進(jìn)行研磨處理，研磨設(shè)備包括轉(zhuǎn)軸和安裝轉(zhuǎn)軸上的磨盤，需要定期對(duì)轉(zhuǎn)軸的軸心與磨盤的軸心檢測，保證盤面的平整度是保證加工產(chǎn)品滿足要求的條件；因?yàn)椋韬褪⒌却嘈圆牧显谘心ズ鬁y量會(huì)出現(xiàn)表面平整度偏差問題，為避免報(bào)廢需要進(jìn)行盤面修整。

2、現(xiàn)有的軸心測試工具需要采用多把直角尺進(jìn)行多次測量、計(jì)算，才能確定軸心，效率較低，基于此，提出本技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)解決的技術(shù)問題

2、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本技術(shù)提供了一種軸心測量設(shè)備，解決了軸心測試工具測量效率低的問題。

3、(二)技術(shù)方案

4、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本技術(shù)通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種軸心測量設(shè)備，包括：

5、測量主板，所述測量主板的中部插接有軸心標(biāo)記針；

6、側(cè)拉桿，所述側(cè)拉桿的一端與測量主板的外壁中部固定連接，所述側(cè)拉桿的另一端設(shè)置有卡塊；

7、連接柱，所述連接柱設(shè)置在測量主板的兩端，所述連接柱的一端設(shè)置有緊固件，所述連接柱通過緊固件與測量主板連接，所述連接柱另一端設(shè)置有底板，所述底板的下表面設(shè)置有立板，所述立板上通過支桿連接有夾持板；

8、其中，所述夾持板朝向軸心標(biāo)記針時(shí)，兩個(gè)所述夾持板之間的距離為軸心標(biāo)記針與卡塊內(nèi)側(cè)壁之間距離的兩倍。

9、優(yōu)選的，所述連接柱的外壁上設(shè)置有外螺紋，所述緊固件為螺接在連接柱外壁上的蝶形螺母。

10、優(yōu)選的，所述底板的外壁一側(cè)邊緣處設(shè)置有限位擋塊，所述底板與測量主板平行時(shí)，所述限位擋塊與測量主板的側(cè)壁貼合。

11、優(yōu)選的，兩個(gè)所述夾持板相背離時(shí)，兩個(gè)所述夾持板之間的距離為軸心標(biāo)記針與卡塊外側(cè)壁之間距離的兩倍。

12、優(yōu)選的，所述軸心標(biāo)記針的端部設(shè)置有標(biāo)記涂料層。

13、(三)有益效果

14、本技術(shù)提供了一種軸心測量設(shè)備，與現(xiàn)有技術(shù)相比，至少具備以下

15、有益效果：

16、1、在使用時(shí)，通過卡塊內(nèi)側(cè)壁、兩個(gè)夾持板卡接在被測試軸的外壁上，三個(gè)點(diǎn)的位置確定，軸心標(biāo)記針能夠與軸心位置對(duì)應(yīng)，這時(shí)候能夠準(zhǔn)確快速的檢測出軸心，效率較高。

17、2、三個(gè)點(diǎn)的位置快速卡接，使得三個(gè)點(diǎn)快速定位，軸心標(biāo)記針能夠準(zhǔn)確快速對(duì)軸的軸心指示。

18、3、所述軸心測量設(shè)備是一種預(yù)防性測量工具，在每日開工前清洗完盤面，用該專利技術(shù)測量工具進(jìn)行盤面測量，在誤差范圍內(nèi)就可以加工產(chǎn)品，超出范圍需要進(jìn)行盤面修整，通過該方法可以有效的控制產(chǎn)品良率減少報(bào)廢損失。

本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種軸心測量設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軸心測量設(shè)備，其特征在于：所述連接柱(4)的外壁上設(shè)置有外螺紋，所述緊固件(5)為螺接在連接柱(4)外壁上的蝶形螺母。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軸心測量設(shè)備，其特征在于：所述底板(6)的外壁一側(cè)邊緣處設(shè)置有限位擋塊(7)，所述底板(6)與測量主板(1)平行時(shí)，所述限位擋塊(7)與測量主板(1)的側(cè)壁貼合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軸心測量設(shè)備，其特征在于：兩個(gè)所述夾持板(9)相背離時(shí)，兩個(gè)所述夾持板(9)之間的距離為軸心標(biāo)記針(10)與卡塊(3)外側(cè)壁之間距離的兩倍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軸心測量設(shè)備，其特征在于：所述軸心標(biāo)記針(10)的端部設(shè)置有標(biāo)記涂料層。

【技術(shù)特征摘要】

1.一種軸心測量設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軸心測量設(shè)備，其特征在于：所述連接柱(4)的外壁上設(shè)置有外螺紋，所述緊固件(5)為螺接在連接柱(4)外壁上的蝶形螺母。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軸心測量設(shè)備，其特征在于：所述底板(6)的外壁一側(cè)邊緣處設(shè)置有限位擋塊(7)，所述底板(6)與測量主板(1)...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李玉飛，張慧，單冬冬，
申請(專利權(quán))人：北京亦盛精密半導(dǎo)體有限公司，
類型：新型
國別省市：