【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種工件剝離機(jī)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、晶圓的后薄化在半導(dǎo)體工業(yè)中通常是必需的，并且可以機(jī)械地和/或化學(xué)地進(jìn)行。為了薄化的目的，通常將晶圓臨時(shí)固定在載體上。達(dá)到晶圓的減薄后，將晶圓和載片進(jìn)行剝離越來(lái)越成為最關(guān)鍵的工藝步驟之一。因?yàn)榫A其厚度僅具有幾微米，在進(jìn)行將晶圓和載片剝離或剝離的過(guò)程中，容易發(fā)生破裂。
2、因此，有必要對(duì)現(xiàn)有技術(shù)予以改良以克服現(xiàn)有技術(shù)中的所述缺陷。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的在于提供一種工件剝離機(jī)構(gòu)，該剝離機(jī)構(gòu)在對(duì)晶圓和載片剝離時(shí)不會(huì)使得晶圓破碎，保證晶圓和載片的質(zhì)量。
2、為達(dá)到上述目的，本技術(shù)提供如下技術(shù)方案：一種工件剝離機(jī)構(gòu)，適于將解鍵合的產(chǎn)品剝離，解鍵合的產(chǎn)品部件分別包括上下連接的晶圓和載片以及設(shè)置在一側(cè)的鐵環(huán)，所述剝離機(jī)構(gòu)包括：
3、安裝板，
4、承載組件，包括承載臺(tái)，所述承載臺(tái)在外力作用下可相對(duì)于所述安裝板上下移動(dòng)，以承接所述產(chǎn)品，所述產(chǎn)品以載片朝上的方式被放置在所述承載臺(tái)上；
5、翻轉(zhuǎn)組件，安裝在所述安裝板上，且位于所述承載組件的一側(cè)；
6、剝離組件，安裝在所述安裝板上，可在外力作用下相對(duì)于所述安裝板運(yùn)動(dòng)，以將所述載片固定后傳輸至所述翻轉(zhuǎn)組件；
7、驅(qū)動(dòng)組件，包括第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件，所述第一驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)所述承載組件相對(duì)于所述安裝板上下移動(dòng)；
8、其中，所述承載組件還包括貫穿所述承載臺(tái)設(shè)置的若干頂桿，所述第二驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)若干
9、進(jìn)一步地，所述承載組件包括若干升降桿，若干所述升降桿的一端通過(guò)連接板與所述第一驅(qū)動(dòng)件連接，若干所述升降桿的另一端分別與所述承載臺(tái)連接。
10、進(jìn)一步地，所述承載臺(tái)上設(shè)置有至少一個(gè)檢測(cè)部件，至少一個(gè)所述檢測(cè)部件能夠檢測(cè)所述承載臺(tái)上的產(chǎn)品。
11、進(jìn)一步地，所述檢測(cè)部件為按鈕式傳感器，所述按鈕式傳感器設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述按鈕式傳感器的連接線與所述產(chǎn)品的直徑重合或趨于重合。
12、進(jìn)一步地，所述承載臺(tái)包括吸附部和接觸部；
13、所述產(chǎn)品放置在所述承載臺(tái)上時(shí)，所述晶圓位于所述吸附部上，所述鐵環(huán)位于所述接觸部。
14、進(jìn)一步地，所述承載臺(tái)上還設(shè)置有若干固定件，若干所述固定件能夠固定所述鐵環(huán)。
15、進(jìn)一步地，所述吸附部上設(shè)置有自上往下貫穿的穿孔；
16、所述剝離機(jī)構(gòu)還包括吸附組件，所述吸附組件包括負(fù)壓源、連接所述負(fù)壓源與所述穿孔的連接管道。
17、進(jìn)一步地，所述剝離機(jī)構(gòu)還包括對(duì)中組件，所述對(duì)中組件包括至少兩個(gè)對(duì)中板和與所述對(duì)中板連接的第三驅(qū)動(dòng)件，至少兩個(gè)所述對(duì)中板的連接線與所述承載臺(tái)的直徑重合或趨于重合，所述第三驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)所述對(duì)中板相互靠近或遠(yuǎn)離。
18、進(jìn)一步地，所述剝離組件包括剝離件，所述剝離件在外力作用下可相對(duì)于所述承載臺(tái)運(yùn)動(dòng)；
19、所述剝離件具有吸附口，所述剝離組件與所述載片接觸，所述吸附口能夠在負(fù)壓作用下吸附所述載片以將所述載片固定。
20、進(jìn)一步地，所述剝離件包括第一剝離件和第二剝離件，所述第一剝離件和所述第二剝離件可在外力作用下可相對(duì)移動(dòng)或遠(yuǎn)離。
21、本技術(shù)的有益效果在于：通過(guò)設(shè)置有承載組件、剝離組件、吸附組件以及驅(qū)動(dòng)組件，且承載組件包括承載臺(tái)和若干升降桿以及若干頂桿，驅(qū)動(dòng)組件包括第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件，第一驅(qū)動(dòng)件可以驅(qū)動(dòng)若干升降桿帶動(dòng)整個(gè)承載組件相對(duì)于安裝板上下移動(dòng)，以承接產(chǎn)品，使得產(chǎn)品以載片朝向的方式放置在承載臺(tái)上，而當(dāng)剝離組件與吸附組件配合將產(chǎn)品進(jìn)行剝離后，第二驅(qū)動(dòng)件可以驅(qū)動(dòng)若干頂桿向上移動(dòng)，以將承載臺(tái)上的晶圓頂升，使得晶圓與承載臺(tái)之間具有一定的距離，從而實(shí)現(xiàn)機(jī)械手對(duì)承載臺(tái)上晶圓的下料。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)來(lái)說(shuō)，本申請(qǐng)的產(chǎn)品剝離機(jī)構(gòu)對(duì)晶圓和載片剝離時(shí)不會(huì)使得晶圓破碎，保證晶圓和載片的質(zhì)量。
22、上述說(shuō)明僅是本技術(shù)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本技術(shù)的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本技術(shù)的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，適于將解鍵合的產(chǎn)品剝離，解鍵合的產(chǎn)品部件分別包括上下連接的晶圓和載片以及設(shè)置在一側(cè)的鐵環(huán)，所述剝離機(jī)構(gòu)包括：
2.如權(quán)利要求1所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載組件包括若干升降桿，若干所述升降桿的一端通過(guò)連接板與所述第一驅(qū)動(dòng)件連接，若干所述升降桿的另一端分別與所述承載臺(tái)連接。
3.如權(quán)利要求1所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載臺(tái)上設(shè)置有至少一個(gè)檢測(cè)部件，至少一個(gè)所述檢測(cè)部件能夠檢測(cè)所述承載臺(tái)上的產(chǎn)品。
4.如權(quán)利要求3所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述檢測(cè)部件為按鈕式傳感器，所述按鈕式傳感器設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述按鈕式傳感器的連接線與所述產(chǎn)品的直徑重合或趨于重合。
5.如權(quán)利要求4所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載臺(tái)包括吸附部和接觸部；
6.如權(quán)利要求5所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載臺(tái)上還設(shè)置有若干固定件，若干所述固定件能夠固定所述鐵環(huán)。
7.如權(quán)利要求6所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述吸附部上設(shè)置有自上往下貫穿的穿孔；
8.如權(quán)利
9.如權(quán)利要求1所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述剝離組件包括剝離件，所述剝離件在外力作用下可相對(duì)于所述承載臺(tái)運(yùn)動(dòng)；
10.如權(quán)利要求9所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述剝離件包括第一剝離件和第二剝離件，所述第一剝離件和所述第二剝離件可在外力作用下可相對(duì)移動(dòng)或遠(yuǎn)離。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，適于將解鍵合的產(chǎn)品剝離，解鍵合的產(chǎn)品部件分別包括上下連接的晶圓和載片以及設(shè)置在一側(cè)的鐵環(huán)，所述剝離機(jī)構(gòu)包括：
2.如權(quán)利要求1所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載組件包括若干升降桿，若干所述升降桿的一端通過(guò)連接板與所述第一驅(qū)動(dòng)件連接，若干所述升降桿的另一端分別與所述承載臺(tái)連接。
3.如權(quán)利要求1所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載臺(tái)上設(shè)置有至少一個(gè)檢測(cè)部件，至少一個(gè)所述檢測(cè)部件能夠檢測(cè)所述承載臺(tái)上的產(chǎn)品。
4.如權(quán)利要求3所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述檢測(cè)部件為按鈕式傳感器，所述按鈕式傳感器設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述按鈕式傳感器的連接線與所述產(chǎn)品的直徑重合或趨于重合。
5.如權(quán)利要求4所述的工件剝離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載臺(tái)包括吸附部和接觸部；
6.如...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：姜錦旺，萬(wàn)士元，薛亞玲，沈達(dá)，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：吾拾微電子蘇州有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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