【技術實現步驟摘要】
本申請涉及化學氣相沉積，特別是涉及一種蒸發反應器。
技術介紹
1、以zn、s單質為原料，通過化學氣相沉積法(cvd)沉積制備zns，在可見、中波和長波具有較高透過率，在紅外導航系統上具有良好的應用前景?；瘜W氣相沉積法的化學原理是通過在真空條件下加熱鋅和硫至其升華溫度以上，便產生zn蒸汽、s蒸氣，在沉積腔內該兩種蒸氣相遇原子間形成反應。在將硫單質升華的過程中，由于硫單質的熔體粘稠度較大，蒸氣產出效率較低。
技術實現思路
1、本申請實施例的目的在于提供一種蒸發反應器，用以提高硫單質升華過程中的蒸汽產出效率。具體技術方案如下：
2、本申請實施例提供一種蒸發反應器，該蒸發反應器包括：反應爐，所述反應爐包括筒狀爐體和與所述筒狀爐體密封連接的上蓋，所述筒狀爐體的內壁設有加熱部件，所述上蓋設有與所述筒狀爐體連通的第一進氣口和第一出氣口，所述第一出氣口用于對所述反應爐抽真空；坩堝，所述坩堝置于所述反應爐內部，所述坩堝用于盛裝原料，所述加熱部件用于加熱所述坩堝內的原料，所述坩堝包括密封連接的坩堝本體和坩堝蓋，所述坩堝蓋上設有第二進氣口和第二出氣口，所述第二進氣口與所述第一進氣口連通，所述第二出氣口與所述第一出氣口連通，以使原料蒸發后氣體流出；攪拌裝置，所述攪拌裝置包括支架、升降組件、驅動組件、攪拌桿和攪拌槳，所述支架固定于所述上蓋的外側，所述升降組件包括導軌和與所述導軌滑動連接的滑塊，所述導軌沿所述蒸發反應器的高度方向設置于所述支架上，所述驅動組件固定連接于所述滑塊，所述驅動組件與所述攪
3、另外，根據本申請實施例提供的蒸發反應器，其還可以具有如下技術特征：
4、在一些實施例中，所述驅動組件包括電機固定座、伺服電機、減速電機、第一齒輪和同步帶，所述減速電機固定于所述電機固定座，所述電機固定座固定于所述滑塊，所述伺服電機的輸出軸與所述減速電機連接，所述減速電機的輸出軸與所述第一齒輪連接；所述攪拌桿遠離所述攪拌槳的一端連接有第二齒輪，所述同步帶套設于所述第一齒輪和所述第二齒輪。
5、在一些實施例中，所述上蓋設有第一通孔，所述第一通孔內設有第一法蘭，所述坩堝蓋設有第二通孔，所述第二通孔內設有第二法蘭，所述第一法蘭與所述第二法蘭之間通過第一套筒連接，所述攪拌桿穿過所述第一法蘭、所述第一套筒和所述第二法蘭與所述攪拌槳可拆卸連接；所述蒸發反應器包括第一波紋管，沿所述蒸發反應器的高度方向，所述第一波紋管設于所述第一法蘭和所述減速電機之間，所述第一波紋管密封所述第一法蘭和所述攪拌桿的外周，所述第一波紋管的上端固定于所述減速電機的下端，所述第一波紋管的下端固定于所述第一法蘭。
6、在一些實施例中，所述蒸發反應器還包括第二波紋管，所述第二波紋管套設于所述第一波紋管的外側，所述第二波紋管與所述第一波紋管之間形成真空夾層，沿所述蒸發反應器的高度方向，所述第二波紋管的上端與所述減速電機的下端固定，所述第二波紋管的下端與所述上蓋固定連接。
7、在一些實施例中，所述蒸發反應器還包括水冷套，沿所述蒸發反應器的高度方向，所述水冷套設于所述減速電機與所述第一波紋管和所述第二波紋管之間，所述第一波紋管和所述第二波紋管的上端與所述水冷套的下端連接，所述水冷套包括進液口和出液口。
8、在一些實施例中，所述升降組件包括絲杠和與所述絲杠螺紋連接的螺母；所述支架包括立板和與所述立板兩端連接的底板和頂板，所述滑軌設置于所述立板，所述絲杠的兩端沿所述蒸發反應器的高度方向轉動連接于所述底板和所述頂板，所述電機固定座與所述螺母固定連接，所述絲杠遠離所述反應爐的一端伸出所述頂板。
9、在一些實施例中，所述支架還包括與所述立板、所述頂板和所述底板連接的至少一個側板，沿靠近所述反應爐的方向，所述側板依次設有設置第一限位孔、第二限位孔，所述電機固定座設有與所述第一限位孔相對的第三限位孔，所述蒸發反應器還包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件穿設于所述第一限位孔和所述第三限位孔，所述攪拌槳處于第一限位狀態，所述第二限位件穿過第二限位孔，并支撐于所述電機固定座底端，所述攪拌槳處于第二限位狀態。
10、在一些實施例中，所述絲杠伸出所述頂板的一端設有手輪；或者，所述絲杠伸出所述頂板的一端與驅動件連接。
11、在一些實施例中，所述攪拌桿為金屬材料制成，所述攪拌槳為無機非金屬材料制成。
12、在一些實施例中，所述上蓋還設有第三通孔，所述坩堝蓋還設有第四通孔，所述第三通孔與所述第四通孔之間通過所述第二套筒連通，所述第三通孔外側設有法蘭蓋，用于開啟或關閉所述第三通孔。
13、本申請實施例有益效果：
14、本申請實施例提供的蒸發反應器設置有攪拌裝置，為了保證加熱均勻性，可以通過攪拌裝置進行攪拌，提高傳熱效率，避免局部過熱，引起爆炸等。在原料熔化后，通過攪拌還可以使原料蒸發均勻、穩定，從而提高原料的利用率。攪拌裝置還包括升降組件，升降組件用于對攪拌槳進行升降。當加熱結束，降溫過程中，坩堝內未蒸發完全的原料會發生凝固，因此在凝固之前可以通過升降組件將攪拌槳提起，避免攪拌槳與原料一起凝固，影響下次使用。
15、當然，實施本申請的任一產品或方法并不一定需要同時達到以上所述的所有優點。
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1.一種蒸發反應器，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的蒸發反應器，其特征在于，所述驅動組件包括電機固定座、伺服電機、減速電機、第一齒輪和同步帶，所述減速電機固定于所述電機固定座，所述電機固定座固定于所述滑塊，所述伺服電機的輸出軸與所述減速電機連接，所述減速電機的輸出軸與所述第一齒輪連接；
3.根據權利要求2所述的蒸發反應器，其特征在于，所述上蓋設有第一通孔，所述第一通孔內設有第一法蘭，所述坩堝蓋設有第二通孔，所述第二通孔內設有第二法蘭，所述第一法蘭與所述第二法蘭之間通過第一套筒連接，所述攪拌桿穿過所述第一法蘭、所述第一套筒和所述第二法蘭與所述攪拌槳可拆卸連接；
4.根據權利要求3所述的蒸發反應器，其特征在于，所述蒸發反應器還包括第二波紋管，所述第二波紋管套設于所述第一波紋管的外側，所述第二波紋管與所述第一波紋管之間形成真空夾層，沿所述蒸發反應器的高度方向，所述第二波紋管的上端與所述減速電機的下端固定，所述第二波紋管的下端與所述上蓋固定連接。
5.根據權利要求4所述的蒸發反應器，其特征在于，所述蒸發反應器還包括水冷套，沿所述
6.根據權利要求2所述的蒸發反應器，其特征在于，所述升降組件包括絲杠和與所述絲杠螺紋連接的螺母；
7.根據權利要求6所述的蒸發反應器，其特征在于，所述支架還包括與所述立板、所述頂板和所述底板連接的至少一個側板，沿靠近所述反應爐的方向，所述側板依次設有設置第一限位孔、第二限位孔，所述電機固定座設有與所述第一限位孔相對的第三限位孔，所述蒸發反應器還包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件穿設于所述第一限位孔和所述第三限位孔，所述攪拌槳處于第一限位狀態，所述第二限位件穿過第二限位孔，并支撐于所述電機固定座底端，所述攪拌槳處于第二限位狀態。
8.根據權利要求7所述的蒸發反應器，其特征在于，所述絲杠伸出所述頂板的一端設有手輪；或者，所述絲杠伸出所述頂板的一端與驅動件連接。
9.根據權利要求1-8中任一項所述的蒸發反應器，其特征在于，所述攪拌桿為金屬材料制成，所述攪拌槳為無機非金屬材料制成。
10.根據權利要求1-8中任一項所述的蒸發反應器，其特征在于，所述上蓋還設有第三通孔，所述坩堝蓋還設有第四通孔，所述第三通孔與所述第四通孔之間通過所述第二套筒連通，所述第三通孔外側設有法蘭蓋，用于開啟或關閉所述第三通孔。
...【技術特征摘要】
1.一種蒸發反應器，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的蒸發反應器，其特征在于，所述驅動組件包括電機固定座、伺服電機、減速電機、第一齒輪和同步帶，所述減速電機固定于所述電機固定座，所述電機固定座固定于所述滑塊，所述伺服電機的輸出軸與所述減速電機連接，所述減速電機的輸出軸與所述第一齒輪連接；
3.根據權利要求2所述的蒸發反應器，其特征在于，所述上蓋設有第一通孔，所述第一通孔內設有第一法蘭，所述坩堝蓋設有第二通孔，所述第二通孔內設有第二法蘭，所述第一法蘭與所述第二法蘭之間通過第一套筒連接，所述攪拌桿穿過所述第一法蘭、所述第一套筒和所述第二法蘭與所述攪拌槳可拆卸連接；
4.根據權利要求3所述的蒸發反應器，其特征在于，所述蒸發反應器還包括第二波紋管，所述第二波紋管套設于所述第一波紋管的外側，所述第二波紋管與所述第一波紋管之間形成真空夾層，沿所述蒸發反應器的高度方向，所述第二波紋管的上端與所述減速電機的下端固定，所述第二波紋管的下端與所述上蓋固定連接。
5.根據權利要求4所述的蒸發反應器，其特征在于，所述蒸發反應器還包括水冷套，沿所述蒸發反應器的高度方向，所述水冷套設于所述減速電機與所述第一波紋管和所述第二波紋管之間，所述第一波紋管和所述第二波紋管的上端與所述水...
【專利技術屬性】
技術研發人員：錢纁，崔紅梅，張旭，趙全，馬天翼，
申請(專利權)人：中材人工晶體研究院有限公司，
類型：發明
國別省市：
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