【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及晶圓檢測，更具體地說，它涉及一種視覺檢測運動三軸平臺。
技術介紹
1、平整度是圓晶最主要的參數之一，主要是因為光刻工藝對局部位置的平整度是非常敏感的，圓晶平整度是指在通過硅片的直線上的厚度變化，常用兩組上下相對的光譜聚焦傳感器進行檢測圓晶的上表面和下表面，早期圓晶的平面度及厚度檢測平臺主要為三軸運動平臺。
2、目前市場常用的三軸運動平臺均由旋轉電機控制絲桿運動，常用于常規機械零件的加工，定位精度在幾個um之間，相對來說滿足不了半導體行業的需求，其次，在較高精度運動下，受環境影響很大，對于已經達到納米級精度，材料的輕微受熱就會引起變形，從而影響精度。
技術實現思路
1、本專利技術提供一種視覺檢測運動三軸平臺，解決相關技術中常用的三軸運動平臺定位精度差，其次，在較高精度運動下，受環境影響很大，對于已經達到納米級精度，材料的輕微受熱就會引起變形，從而影響精度的技術問題。
2、本專利技術提供了一種視覺檢測運動三軸平臺，包括：
3、底座，所述底座上設有y軸氣浮導軌，且y軸氣浮導軌上設有x軸氣浮導軌，所述底座上還安裝有z軸支架，且z軸支架上設有z軸氣浮導軌；
4、所述y軸氣浮導軌包括設于底座兩側的雙主軌和雙輔軌，通過雙主軌和雙輔軌組成y軸氣浮導軌；
5、所述x軸氣浮導軌包括設于雙主軌之間的x軸滑塊，x軸滑塊上可安裝被檢測物品的治具，且x軸滑塊下方設有x軸導軌，所述x軸滑塊滑動連接于x軸導軌上方，所述x軸導軌上安裝有y軸滑
6、所述z軸氣浮導軌包括安裝在z軸支架上的z軸導軌，且z軸導軌上滑動連接有z軸滑塊，所述z軸導軌上安裝有無阻尼配重氣缸，且無阻尼配重氣缸的伸縮端安裝有氣缸連接件，所述氣缸連接件安裝在z軸滑塊的兩側；
7、所述x軸滑塊上設有限位翻轉組件，用于對放置在x軸滑塊上的晶圓進行翻轉，對晶圓進行雙面檢測，并對晶圓的活動位置進行限位，使得在對晶圓進行x軸和y軸移動時，晶圓能夠在x軸滑塊上保持穩定。
8、作為本專利技術的進一步優化方案，所述x軸導軌上安裝有第一光柵尺讀頭，所述底座上安裝有y軸直線電機，用于控制y軸氣浮導軌進行移動，并通過第一光柵尺讀頭反饋位置；
9、所述x軸滑塊上安裝有第二光柵尺讀頭，所述x軸導軌上安裝有x軸直線電機，用于控制x軸氣浮導軌進行移動，并通過第二光柵尺讀頭反饋位置；
10、所述z軸滑塊上安裝有第三光柵尺讀頭，所述z軸導軌上安裝有z軸直線電機，用于控制z軸氣浮導軌進行移動，并通過第三光柵尺讀頭反饋位置。
11、作為本專利技術的進一步優化方案，所述底座的下方設有支撐組件，且支撐組件包括設于底座下方的支撐架，所述支撐架與底座之間安裝有多個伸縮氣缸，且伸縮氣缸的伸縮端安裝有上腳杯，用于氣浮彈簧斷氣時保護氣浮彈簧以及運輸保護，所述支撐架的四周還安裝有下腳杯，且下腳杯用于對底座的水平度進行初步調節。
12、作為本專利技術的進一步優化方案，所述支撐架與底座之間還設有抗干擾組件，且抗干擾組件包括多個安裝在底座和支撐架之間的氣浮彈簧，所述支撐架上還安裝有多個調節閥，且調節閥與氣浮彈簧相連接，用于對底座進行水平調節。
13、作為本專利技術的進一步優化方案，所述限位翻轉組件包括安裝在x軸滑塊兩側的側板，且側板上安裝有電動推桿，所述電動推桿的伸縮端安裝有連接座，且連接座內軸承連接有連接軸，兩組所述連接軸相靠近的一端安裝有固定架，且固定架上安裝有用于放置晶圓的檢測盤，其中一組所述連接座上安裝有第一驅動電機，且第一驅動電機的輸出軸與其中一組連接軸固定連接。
14、作為本專利技術的進一步優化方案，所述檢測盤內部的上下兩側皆設有多個墊板，且墊板上安裝有限位桿，所述檢測盤與所述限位桿之間為滑動連接，
15、作為本專利技術的進一步優化方案，所述限位桿上還設有壓縮彈簧。
16、作為本專利技術的進一步優化方案，所述限位桿遠離墊板的一端安裝有連接架，且連接架內軸承連接有滾輪，所述連接座內部的上下兩側皆設有連接環，且連接環位于所述連接架內部，所述連接環上安裝有多個凸塊，且凸塊設置為弧形。
17、作為本專利技術的進一步優化方案，所述墊板上膠粘有橡膠防護層，所述橡膠防護層與晶圓表面接觸，對晶圓外表面進行保護。
18、作為本專利技術的進一步優化方案，所述連接環上還安裝有齒條板，且齒條板為弧形設置，所述齒條板上嚙合連接有齒輪，所述連接座上還安裝有第二驅動電機，且第二驅動電機的輸出軸與齒輪固定連接。
19、本專利技術的有益效果在于：
20、1、本專利技術通過采用大理石和鋁合金材料結合的特點，大理石能防止底座上關鍵x軸導軌和y軸導軌因運動產生熱量影響運動性能，能夠保證運動的穩定性，鋁合金能夠和在一定程度上消除溫度變化的影響減輕z軸的負載。
21、2、本專利技術通過z軸滑塊使用無阻尼配重氣缸平衡負載重力，使z軸滑塊能夠實現帶負載達到高精度高頻往復運動。
22、3、本專利技術通過x軸導軌和y軸導軌作為關鍵性導軌，x軸導軌為長導軌，質量較大，y軸導軌使用雙主軌和雙輔軌的方式設計，避免了長行程導軌結構懸臂而造成導軌受力導致外形變化。
23、4、本專利技術通過支撐架設計四個上腳杯避免了氣浮彈簧斷氣直接與底座受力影響氣浮彈簧壽命。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述X軸導軌（402）上安裝有第一光柵尺讀頭（303），所述底座（1）上安裝有Y軸直線電機（304），用于控制Y軸氣浮導軌（3）進行移動，并通過第一光柵尺讀頭（303）反饋位置；
3.根據權利要求1所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述底座（1）的下方設有支撐組件（6），且支撐組件（6）包括設于底座（1）下方的支撐架（603），所述支撐架（603）與底座（1）之間安裝有多個伸縮氣缸，且伸縮氣缸的伸縮端安裝有上腳杯（601），用于氣浮彈簧（701）斷氣時保護氣浮彈簧（701）以及運輸保護，所述支撐架（603）的四周還安裝有下腳杯（602），且下腳杯（602）用于對底座（1）的水平度進行初步調節。
4.根據權利要求3所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述支撐架（603）與底座（1）之間還設有抗干擾組件（7），且抗干擾組件（7）包括多個安裝在底座（1）和支撐架（603）之間的氣浮彈簧（701），所述支撐架（603）上還安
5.根據權利要求1所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述限位翻轉組件（9）包括安裝在X軸滑塊（401）兩側的側板（901），且側板（901）上安裝有電動推桿（902），所述電動推桿（902）的伸縮端安裝有連接座（903），且連接座（903）內軸承連接有連接軸（904），兩組所述連接軸（904）相靠近的一端安裝有固定架（905），且固定架（905）上安裝有用于放置晶圓的檢測盤（906），其中一組所述連接座（903）上安裝有第一驅動電機（907），且第一驅動電機（907）的輸出軸與其中一組連接軸（904）固定連接。
6.根據權利要求5所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述檢測盤（906）內部的上下兩側皆設有多個墊板（908），且墊板（908）上安裝有限位桿（909），所述檢測盤（906）與所述限位桿（909）之間為滑動連接。
7.根據權利要求6所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述限位桿（909）上還設有壓縮彈簧（912）。
8.根據權利要求6所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述限位桿（909）遠離墊板（908）的一端安裝有連接架（910），且連接架（910）內軸承連接有滾輪（911），所述連接座（903）內部的上下兩側皆設有連接環（913），且連接環（913）位于所述連接架（910）內部，所述連接環（913）上安裝有多個凸塊（914），且凸塊（914）設置為弧形。
9.根據權利要求6所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述墊板（908）上膠粘有橡膠防護層，所述橡膠防護層與晶圓表面接觸，對晶圓外表面進行保護。
10.根據權利要求8所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述連接環（913）上還安裝有齒條板（915），且齒條板（915）為弧形設置，所述齒條板（915）上嚙合連接有齒輪（916），所述連接座（903）上還安裝有第二驅動電機（917），且第二驅動電機（917）的輸出軸與齒輪（916）固定連接。
...【技術特征摘要】
1.一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述x軸導軌（402）上安裝有第一光柵尺讀頭（303），所述底座（1）上安裝有y軸直線電機（304），用于控制y軸氣浮導軌（3）進行移動，并通過第一光柵尺讀頭（303）反饋位置；
3.根據權利要求1所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述底座（1）的下方設有支撐組件（6），且支撐組件（6）包括設于底座（1）下方的支撐架（603），所述支撐架（603）與底座（1）之間安裝有多個伸縮氣缸，且伸縮氣缸的伸縮端安裝有上腳杯（601），用于氣浮彈簧（701）斷氣時保護氣浮彈簧（701）以及運輸保護，所述支撐架（603）的四周還安裝有下腳杯（602），且下腳杯（602）用于對底座（1）的水平度進行初步調節。
4.根據權利要求3所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述支撐架（603）與底座（1）之間還設有抗干擾組件（7），且抗干擾組件（7）包括多個安裝在底座（1）和支撐架（603）之間的氣浮彈簧（701），所述支撐架（603）上還安裝有多個調節閥（702），且調節閥（702）與氣浮彈簧（701）相連接，用于對底座（1）進行水平調節。
5.根據權利要求1所述的一種視覺檢測運動三軸平臺，其特征在于，所述限位翻轉組件（9）包括安裝在x軸滑塊（401）兩側的側板（901），且側板（901）上安裝有電動推桿（902），所述電動推桿（902）的伸縮端安裝有連接座（903），且連接座（903）內軸承連接有連接軸（904），兩組所述連接軸（904）相靠近的一端...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周盈，熊清平，羅勇發，潘權，關勝敏，
申請(專利權)人：深圳華中數控有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。