【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及專門適用于處理半導(dǎo)體用晶圓的設(shè)備，尤其涉及一種晶圓存儲(chǔ)裝置。
技術(shù)介紹
1、晶圓目前在進(jìn)行打磨拋光時(shí)，采用的是效率較高并且處理效果優(yōu)異的化學(xué)機(jī)械拋光的方式，而隨著半導(dǎo)體制造工藝的不斷發(fā)展，對(duì)用于加工半導(dǎo)體器件的晶圓的加工精度提出了更高的要求，如當(dāng)晶圓通過(guò)化學(xué)機(jī)械拋光完成后將在拋光面上附著有一定量的拋光液，而這些化學(xué)拋光液在進(jìn)行晶圓轉(zhuǎn)移的過(guò)程中，由于拋光液中的易揮發(fā)的物質(zhì)揮發(fā)而使得部分物質(zhì)附著在晶圓盤的拋光面上，而殘留在晶圓拋光面上的殘留物將對(duì)拋光效果造成影響，其次拋光液中的物質(zhì)也容易對(duì)晶圓造成腐蝕，對(duì)于前者可通過(guò)對(duì)晶圓的清洗以提高拋光面的潔凈程度，而在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)部分物質(zhì)并不能通過(guò)清洗方式去除掉，而對(duì)于后者其對(duì)晶圓造成的影響后期很難進(jìn)行恢復(fù)，因此如何確保晶圓拋光后轉(zhuǎn)移時(shí)拋光面的潔凈程度，成為亟待解決的問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)提供了一種晶圓存儲(chǔ)裝置，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，在轉(zhuǎn)移時(shí)通過(guò)在晶圓的拋光面上形成去離子水膜，以對(duì)拋光面進(jìn)行潤(rùn)濕，從而避免拋光液的部分物質(zhì)在轉(zhuǎn)移時(shí)由于干燥等原因附著在拋光面上，并通過(guò)潤(rùn)濕還對(duì)拋光液進(jìn)行稀釋，從而避免拋光液的部分物質(zhì)對(duì)晶圓的拋光面造成腐蝕。
2、為了實(shí)現(xiàn)本專利技術(shù)的目的，擬采用以下技術(shù)：
3、一種晶圓存儲(chǔ)裝置，包括箱體，箱體呈長(zhǎng)條狀矩形結(jié)構(gòu)，其上可設(shè)置相應(yīng)的轉(zhuǎn)移連接部件，通過(guò)將轉(zhuǎn)移連接部件連接在轉(zhuǎn)移運(yùn)輸晶圓的搬運(yùn)系統(tǒng)上，從而方便進(jìn)行晶圓存儲(chǔ)裝置的流轉(zhuǎn)。
4、箱體內(nèi)設(shè)有多個(gè)儲(chǔ)放單元，
5、儲(chǔ)放單元包括安裝于箱體內(nèi)的矩形框，矩形框的上端安裝有上板，上板上開設(shè)有矩形孔，矩形框的下端安裝有下板，上板及下板對(duì)放置在兩者之間的晶圓起著防護(hù)的作用。
6、矩形框上活動(dòng)設(shè)有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)的上端安裝有定位機(jī)構(gòu)，矩形框上設(shè)有連接機(jī)構(gòu)，連接機(jī)構(gòu)用于移動(dòng)機(jī)構(gòu)與矩形框的連接固定，矩形框上設(shè)有注液機(jī)構(gòu)，注液機(jī)構(gòu)上設(shè)有啟閉機(jī)構(gòu)，注液機(jī)構(gòu)扣設(shè)于定位機(jī)構(gòu)上用于晶圓上壁的潤(rùn)濕，定位機(jī)構(gòu)能對(duì)晶圓進(jìn)行定位，以免在進(jìn)行轉(zhuǎn)移時(shí)晶圓發(fā)生移動(dòng)，而對(duì)晶圓的放置面造成磨損等影響。連接機(jī)構(gòu)能將移動(dòng)機(jī)構(gòu)連接固定在矩形框上，從而避免在轉(zhuǎn)移的過(guò)程中，由于傾倒等現(xiàn)象而對(duì)所放置的晶圓造成影響。注液機(jī)構(gòu)其不僅對(duì)晶圓起著防護(hù)的作用，同時(shí)通過(guò)其所提供的去離子水，能對(duì)晶圓的拋光面進(jìn)行潤(rùn)濕。啟閉機(jī)構(gòu)用于去離子水注入時(shí)的啟閉控制。
7、移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一對(duì)活動(dòng)橫桿，活動(dòng)橫桿穿于矩形框上，活動(dòng)橫桿的外側(cè)端安裝有凸部，凸部的內(nèi)側(cè)端設(shè)有下環(huán)，下環(huán)的下端設(shè)有下盤，下盤位于下板的上方。
8、定位機(jī)構(gòu)包括安裝于下環(huán)上端的上盤，上盤的外周設(shè)有中環(huán)，中環(huán)的上端設(shè)有上環(huán)板，上環(huán)板上設(shè)有凸環(huán)，凸環(huán)呈倒v形結(jié)構(gòu)，中環(huán)內(nèi)活動(dòng)設(shè)有多個(gè)定位下塊，定位下塊的上端安裝有定位板，定位下塊用于晶圓的支撐，定位板用于晶圓下端外周的限位，通過(guò)定位板的定位，避免在轉(zhuǎn)移的過(guò)程中由于晶圓發(fā)生相對(duì)于定位下塊的移動(dòng)，從而使定位下塊對(duì)晶圓造成磨損。同時(shí)凸環(huán)對(duì)放置在其內(nèi)的晶圓起著防護(hù)的作用。
9、注液機(jī)構(gòu)包括注液盤，注液盤的圓心處開設(shè)有透氣中孔，透氣中孔上旋蓋有透氣罩，當(dāng)在注液時(shí)，方便空氣的排出，從而便于進(jìn)行注液操作。注液盤的內(nèi)部設(shè)有環(huán)形儲(chǔ)液腔，環(huán)形儲(chǔ)液腔內(nèi)填充有去離子水，環(huán)形儲(chǔ)液腔的下端開設(shè)有多個(gè)注液孔，注液盤上端連通有進(jìn)液口，進(jìn)液口上連接有進(jìn)液管，進(jìn)液管的端部設(shè)置在箱體上，方便進(jìn)行去離子水的注入操作。并且也可以通過(guò)所設(shè)置的進(jìn)液管通過(guò)抽吸的方式將去離子水吸出。注液盤的下端設(shè)有密封環(huán)，密封環(huán)的下端開口地成型有倒v槽，注液孔下端的直徑小于其上端的直徑，當(dāng)注液機(jī)構(gòu)與定位機(jī)構(gòu)連接時(shí)，凸環(huán)插設(shè)于倒v槽內(nèi)，其中密封環(huán)插設(shè)在凸環(huán)和晶圓的邊沿之間，以免在轉(zhuǎn)移時(shí)出現(xiàn)去離子水泄漏的問(wèn)題，并且為了確保密封效果，密封環(huán)采用硬質(zhì)橡膠制成。
10、啟閉機(jī)構(gòu)包括活動(dòng)設(shè)于環(huán)形儲(chǔ)液腔內(nèi)的活動(dòng)環(huán)，活動(dòng)環(huán)上設(shè)有多個(gè)密封錐件，密封錐件下端的直徑小于其上端的直徑，當(dāng)啟閉機(jī)構(gòu)對(duì)注液機(jī)構(gòu)的注液進(jìn)行關(guān)閉時(shí)，密封錐件穿設(shè)于注液孔內(nèi)，通過(guò)移動(dòng)設(shè)置的活動(dòng)環(huán)，可通過(guò)對(duì)其進(jìn)行移動(dòng)，從而達(dá)到注入去離子水的目的。
11、進(jìn)一步地，下板的前端通過(guò)鉸鏈連接有前端板，前端板上端開設(shè)有一對(duì)豎向孔，豎向孔內(nèi)活動(dòng)設(shè)有第一螺釘，第一螺釘?shù)耐鈧?cè)端設(shè)有活動(dòng)外板，活動(dòng)外板上設(shè)有上頂推板，上頂推板上穿設(shè)有多根豎向桿，豎向桿的下端設(shè)有安裝下板，安裝下板安裝于前端板上，豎向桿套設(shè)有第一彈簧，第一彈簧位于安裝下板與上頂推板之間，第一螺釘?shù)膬?nèi)側(cè)端設(shè)有l(wèi)形板，l形板位于前端板的內(nèi)側(cè)，l形板上設(shè)有多個(gè)插桿，插桿插設(shè)于上板的前端。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置的前端板，方便對(duì)放置在下板和上板之間的晶圓以及相關(guān)的內(nèi)部部件進(jìn)行防護(hù)，以免在轉(zhuǎn)移的過(guò)程中，對(duì)晶圓造成損傷。并且通過(guò)上述所提供的方案來(lái)看其也方便進(jìn)行啟閉操作，同時(shí)關(guān)合后具有較強(qiáng)的穩(wěn)定性并顯著地提高晶圓轉(zhuǎn)移時(shí)的安全性。
12、進(jìn)一步地，活動(dòng)橫桿上套設(shè)有凹形板，凹形板的豎直段上設(shè)有凹形拉桿，凹形板的水平段上安裝有一對(duì)連接桿，連接桿的前端套設(shè)有第七彈簧，第七彈簧位于矩形框前壁板的前側(cè)，連接桿穿設(shè)于矩形框的前壁板上，連接桿的內(nèi)側(cè)端安裝有內(nèi)端板，內(nèi)端板上安裝有上延凸板，上延凸板的上端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有移動(dòng)桿，矩形框的前壁板上端開設(shè)有一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)孔，移動(dòng)導(dǎo)孔內(nèi)穿設(shè)有第三螺釘，第三螺釘?shù)膬?nèi)側(cè)端安裝有豎向移動(dòng)板，豎向移動(dòng)板上設(shè)有一對(duì)作用側(cè)板，作用側(cè)板上開設(shè)有第二斜孔，第二斜孔的后端向上傾斜延伸，第二斜孔的后端開設(shè)有水平孔，移動(dòng)桿在第二斜孔與水平孔內(nèi)移動(dòng)，第三螺釘?shù)耐鈧?cè)端安裝有連接架，連接架位于矩形框前壁板的前側(cè)，連接架的外側(cè)端設(shè)有安裝環(huán)，注液盤安裝于安裝環(huán)內(nèi)。通過(guò)上述所提供的凹形拉桿，以便于對(duì)凹形板進(jìn)行移動(dòng)，并當(dāng)凹形板在移動(dòng)時(shí)不僅能夠?qū)⒌谄邚椈蓧嚎s，同時(shí)還能通過(guò)移動(dòng)桿的運(yùn)動(dòng)以使注液盤向下移動(dòng)，并且將注液盤扣設(shè)在凸環(huán)上，并通過(guò)注液盤對(duì)晶圓的拋光面進(jìn)行防護(hù)，同時(shí)還能進(jìn)行晶圓拋光面的潤(rùn)濕。并且通過(guò)所提供的凹形拉桿，能單獨(dú)進(jìn)行注液盤的扣設(shè)和上移控制，此外由于在操作時(shí)，是通過(guò)推拉凹形拉桿進(jìn)行注液盤的升降操作，因此為操作提供了便利。
13、活動(dòng)橫桿的外側(cè)端安裝有活動(dòng)端板，活動(dòng)端板上安裝有外凸板，外凸板上穿設(shè)有多根第一彈簧銷，第一彈簧銷上套設(shè)有第六彈簧，第一彈簧銷的上端設(shè)有限位塊，限位塊上端開口地成型有u形槽，第六彈簧位于限位塊與外凸板之間，外凸板的前端設(shè)有移動(dòng)壓桿，當(dāng)注液機(jī)構(gòu)與定位機(jī)構(gòu)連接時(shí)，凹形拉桿的橫段穿設(shè)于u形槽內(nèi)。雖然上述當(dāng)注液盤扣設(shè)在凸環(huán)上時(shí)，通過(guò)將移動(dòng)桿移動(dòng)至水平孔內(nèi)而對(duì)注液盤的狀態(tài)進(jìn)行鎖定，而這種鎖定方式的穩(wěn)定性較差，在移動(dòng)過(guò)程中，由于晃動(dòng)等原因很容易使移動(dòng)桿在第七彈簧的作用下向外運(yùn)動(dòng)，因此對(duì)注液盤扣設(shè)后的穩(wěn)定性及嚴(yán)密性造成影響。因此設(shè)置了限位塊和u形槽，通過(guò)所設(shè)置的u形槽能對(duì)凹形拉桿的移動(dòng)進(jìn)行鎖止，并且在進(jìn)行限位前，整個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)是通過(guò)連接機(jī)構(gòu)連接固定在矩形框上的，因此可確保限位的穩(wěn)定性本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，包括箱體（1）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，下板（203）的前端通過(guò)鉸鏈連接有前端板（204），前端板（204）上端開設(shè)有一對(duì)豎向孔（205），豎向孔（205）內(nèi)活動(dòng)設(shè)有第一螺釘（206），第一螺釘（206）的外側(cè)端設(shè)有活動(dòng)外板（207），活動(dòng)外板（207）上設(shè)有上頂推板（208），上頂推板（208）上穿設(shè)有多根豎向桿（209），豎向桿（209）的下端設(shè)有安裝下板（210），安裝下板（210）安裝于前端板（204）上，豎向桿（209）套設(shè)有第一彈簧（211），第一彈簧（211）位于安裝下板（210）與上頂推板（208）之間，第一螺釘（206）的內(nèi)側(cè)端設(shè)有L形板（212），L形板（212）位于前端板（204）的內(nèi)側(cè)，L形板（212）上設(shè)有多個(gè)插桿（213），插桿（213）插設(shè)于上板（201）的前端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，活動(dòng)橫桿（300）上套設(shè)有凹形板（500），凹形板（500）的豎直段上設(shè)有凹形拉桿（501），凹形板（500）的水平段上安裝有一對(duì)連接桿（502），連接桿
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，連接機(jī)構(gòu)包括安裝于下環(huán)（308）外周上的第一凹件（400），第一凹件（400）上穿設(shè)有多根第二彈簧銷（401），第二彈簧銷（401）穿設(shè)于矩形框（200）的前壁板上，第二彈簧銷（401）的內(nèi)側(cè)端設(shè)有卡鎖凹件（403），第二彈簧銷（401）上套設(shè)有第二彈簧（402），第二彈簧（402）位于卡鎖凹件（403）與第一凹件（400）之間，矩形框（200）的前壁板開設(shè)有一對(duì)矩形口（214），卡鎖凹件（403）的內(nèi)側(cè)端穿設(shè)于矩形口（214），卡鎖凹件（403）的內(nèi)側(cè)端兩側(cè)成型有卡鎖凸部（404），卡鎖凸部（404）呈直角梯形結(jié)構(gòu)，且卡鎖凸部（404）的內(nèi)壁成型有第一斜面（405），第一斜面（405）的外側(cè)端向前傾斜；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，矩形框（200）的前壁板外側(cè)安裝有兩對(duì)第四彈簧銷（419），位于同側(cè)的每對(duì)第四彈簧銷（419）的外側(cè)端套設(shè)有頂推動(dòng)板（421），頂推動(dòng)板（421）位于第一凹件（400）的內(nèi)側(cè)，第四彈簧銷（419）上套設(shè)有第四彈簧（420），第四彈簧（420）位于頂推動(dòng)板（421）與矩形框（200）的前壁板之間，頂推動(dòng)板（421）向內(nèi)延伸地設(shè)有一對(duì)內(nèi)伸凸板（418），矩形框（200）的前壁板上開設(shè)有兩對(duì)活動(dòng)孔（215），內(nèi)伸凸板（418）穿設(shè)于活動(dòng)孔（215），位于同側(cè)的每對(duì)內(nèi)伸凸板（418）的內(nèi)側(cè)端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有內(nèi)壓桿（417），內(nèi)壓桿（417）在第一斜孔（415）與端橫孔（416）內(nèi)活動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，中環(huán)（311）的外周上設(shè)有凸殼（315），凸殼（315）的內(nèi)部外側(cè)端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)輪（316），轉(zhuǎn)動(dòng)輪（316）上端連接有轉(zhuǎn)動(dòng)帽（317），上盤（310）上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸（320），轉(zhuǎn)動(dòng)軸（320）的上端設(shè)有傳動(dòng)輪（319），傳動(dòng)輪（319）與轉(zhuǎn)動(dòng)輪（316）之間通過(guò)傳動(dòng)帶（318）傳動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸（320）的下端設(shè)有齒輪（321），齒輪（321）上嚙合有中齒輪（322），中齒輪（322）上設(shè)有絲桿（323），絲桿（323）的下端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于上盤（310）上，絲桿（323）上通過(guò)螺紋連接有絲套（337），絲套（337）的上端設(shè)有花鍵套（338），花鍵套（338）的上端設(shè)有頂盤（346），花鍵套（338）的上端套設(shè)有固定盤（339），固定盤（339）的外周成型有至少三個(gè)凹形支件（327），每個(gè)凹形支件（327）上開設(shè)有一對(duì)導(dǎo)向橫孔（328），導(dǎo)向...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，包括箱體（1）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，下板（203）的前端通過(guò)鉸鏈連接有前端板（204），前端板（204）上端開設(shè)有一對(duì)豎向孔（205），豎向孔（205）內(nèi)活動(dòng)設(shè)有第一螺釘（206），第一螺釘（206）的外側(cè)端設(shè)有活動(dòng)外板（207），活動(dòng)外板（207）上設(shè)有上頂推板（208），上頂推板（208）上穿設(shè)有多根豎向桿（209），豎向桿（209）的下端設(shè)有安裝下板（210），安裝下板（210）安裝于前端板（204）上，豎向桿（209）套設(shè)有第一彈簧（211），第一彈簧（211）位于安裝下板（210）與上頂推板（208）之間，第一螺釘（206）的內(nèi)側(cè)端設(shè)有l(wèi)形板（212），l形板（212）位于前端板（204）的內(nèi)側(cè)，l形板（212）上設(shè)有多個(gè)插桿（213），插桿（213）插設(shè)于上板（201）的前端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，活動(dòng)橫桿（300）上套設(shè)有凹形板（500），凹形板（500）的豎直段上設(shè)有凹形拉桿（501），凹形板（500）的水平段上安裝有一對(duì)連接桿（502），連接桿（502）的前端套設(shè)有第七彈簧（503），第七彈簧（503）位于矩形框（200）前壁板的前側(cè)，連接桿（502）穿設(shè)于矩形框（200）的前壁板上，連接桿（502）的內(nèi)側(cè)端安裝有內(nèi)端板（504），內(nèi)端板（504）上安裝有上延凸板（505），上延凸板（505）的上端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有移動(dòng)桿（506），矩形框（200）的前壁板上端開設(shè)有一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)孔（216），移動(dòng)導(dǎo)孔（216）內(nèi)穿設(shè)有第三螺釘（507），第三螺釘（507）的內(nèi)側(cè)端安裝有豎向移動(dòng)板（508），豎向移動(dòng)板（508）上設(shè)有一對(duì)作用側(cè)板（509），作用側(cè)板（509）上開設(shè)有第二斜孔（510），第二斜孔（510）的后端向上傾斜延伸，第二斜孔（510）的后端開設(shè)有水平孔（511），移動(dòng)桿（506）在第二斜孔（510）與水平孔（511）內(nèi)移動(dòng)，第三螺釘（507）的外側(cè)端安裝有連接架（512），連接架（512）位于矩形框（200）前壁板的前側(cè)，連接架（512）的外側(cè)端設(shè)有安裝環(huán)（513），注液盤（514）安裝于安裝環(huán)（513）內(nèi)；
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，連接機(jī)構(gòu)包括安裝于下環(huán)（308）外周上的第一凹件（400），第一凹件（400）上穿設(shè)有多根第二彈簧銷（401），第二彈簧銷（401）穿設(shè)于矩形框（200）的前壁板上，第二彈簧銷（401）的內(nèi)側(cè)端設(shè)有卡鎖凹件（403），第二彈簧銷（401）上套設(shè)有第二彈簧（402），第二彈簧（402）位于卡鎖凹件（403）與第一凹件（400）之間，矩形框（200）的前壁板開設(shè)有一對(duì)矩形口（214），卡鎖凹件（403）的內(nèi)側(cè)端穿設(shè)于矩形口（214），卡鎖凹件（403）的內(nèi)側(cè)端兩側(cè)成型有卡鎖凸部（404），卡鎖凸部（404）呈直角梯形結(jié)構(gòu)，且卡鎖凸部（404）的內(nèi)壁成型有第一斜面（405），第一斜面（405）的外側(cè)端向前傾斜；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓存儲(chǔ)裝置，其特征在于，矩形框（200）的前壁板外側(cè)安裝有兩對(duì)第四彈簧銷（419），位于同側(cè)的每對(duì)第四彈簧銷（419）的外側(cè)端套設(shè)有頂推動(dòng)板（421），頂推動(dòng)板（421）位于第一凹件（400）的內(nèi)側(cè)，第四彈簧銷（419）上套設(shè)有第四彈簧（420），第四彈簧（420）位于頂推動(dòng)板（421）與矩形框（200）的前壁板之間，頂推動(dòng)板（421）向內(nèi)延伸地設(shè)有一對(duì)內(nèi)伸凸板（418），矩形框（200）的前壁板上開設(shè)有兩對(duì)活動(dòng)孔（215），內(nèi)伸凸板（418）穿設(shè)于活動(dòng)孔（215），位于同側(cè)的每對(duì)內(nèi)伸凸板（418）的內(nèi)側(cè)端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有內(nèi)壓桿（417），內(nèi)...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李健兒，馮艾誠(chéng)，馮永，顏英慧，胡仲波，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：四川上特科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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