【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種光波導元件、光調制器及光發送裝置。
技術介紹
1、在高速/大容量光纖通信系統中，多使用裝入有作為光波導元件的光調制元件的光調制器，所述光波導元件包含形成于基板上的光波導與對在光波導中傳播的光波進行控制的控制電極。作為進行光調制動作的光波導元件，使用inp基板等半導體基板的半導體光調制元件以及將linbo3(以下也稱作ln)用于基板的ln光調制元件已實用化。
2、近年來，在光通信用的光調制器中，作為調制速度要求100gbaud以上的符號率。因此，就使光調制元件的頻率特性寬頻帶化的觀點而言，電-光的速度匹配(即，在光波導中傳播的光的速度與在控制電極中傳播的高頻信號的傳播速度的匹配)、及阻抗匹配(即，控制電極的阻抗與向控制電極輸出高頻信號的驅動電路的輸出阻抗的匹配)變得重要。
3、之前，作為實現所述阻抗匹配的手段，提出了一種阻抗調整的自由度高的容量加載型行波電極結構的控制電極(例如，參照專利文獻1)。在所述控制電極中，在形成于基板上的電介質層之上配設有傳播高頻信號的射頻(radio?frequency，rf)電極，在基板上配設有沿光波導的延伸方向分割的多個分段電極。各分段電極利用貫通電介質層的導體與所述rf電極連接，并對光波導施加高頻電場。由此，在所述現有的控制電極中，提高rf電極部分的高頻信號的傳播速度，以實現光-電速度匹配。
4、但是，在所述現有的控制電極中，伴隨最近的小型化、寬頻帶化、低驅動電壓化的要求，當為了縮短在基板上隔著光波導的分段電極間的距離而減小電介質層上的rf電極
5、[現有技術文獻]
6、[專利文獻]
7、[專利文獻1]
8、日本專利特開2016-194544號公報
技術實現思路
1、[專利技術所要解決的問題]
2、根據所述背景，本專利技術的目的是在光波導元件中實現高動作速度下的低電壓驅動。
3、[解決問題的技術手段]
4、本專利技術的一形態是一種光波導元件，其具有配設于光學基板的主表面上的光波導、以及對在所述光波導中傳播的光波進行控制的控制電極，所述光波導元件中，所述控制電極包含在所述光學基板的主表面上隔著所述光波導相向的第一控制電極與第二控制電極，所述第一控制電極及所述第二控制電極分別包含沿著所述光波導延伸的共通電極、與所述共通電極相比更接近所述光波導配設的沿著所述光波導的延伸方向分割的多個分段電極、以及將所述多個分段電極分別與所述共通電極連接的多個連接電極，在所述共通電極與所述光學基板之間配設有相對介電常數比所述光學基板的相對介電常數低的低電介質層。
5、根據本專利技術的另一形態，所述低電介質層延伸至所述連接電極及所述分段電極的下部。
6、根據本專利技術的另一形態，所述光波導包含包括兩個平行波導的馬赫曾德爾式光波導，所述控制電極包含：一個所述第一控制電極，配設于所述兩個平行波導之間；以及兩個所述第二控制電極，隔著所述兩個平行波導的各者與所述第一控制電極相向。
7、根據本專利技術的另一形態，所述分段電極的至少與所述光波導鄰接的面的下部不經由所述低電介質層而形成于所述光學基板上。
8、根據本專利技術的另一形態，所述低電介質層在與所述光波導的延伸方向正交的剖面中，與所述光波導相鄰的邊和遠離所述光學基板的一側的邊即上邊的角部由曲線構成。
9、根據本專利技術的另一形態，所述光學基板的與配設有所述光波導的主表面相向的另一主表面和包含相對介電常數為1以上且10以下的低電介質材料的低電介質基板相接。
10、根據本專利技術的另一形態，在所述分段電極與所述光學基板之間具有緩沖層。
11、根據本專利技術的另一形態，所述低電介質層具有沿所述低電介質層的厚度方向延伸的一個或多個貫通孔，所述控制電極穿過所述貫通孔的內部并延伸至所述光學基板。
12、本專利技術的另一形態是一種光調制器，其包括：作為光調制元件的上述任一光波導元件、收容所述光波導元件的框體、向所述光波導元件輸入光的光纖、以及將所述光波導元件所輸出的光導向所述框體的外部的光纖。
13、本專利技術的另一形態是一種光發送裝置，其包括：上述任一光調制器；以及電子電路，生成用于使所述光波導元件進行光調制動作的電信號。
14、[專利技術的效果]
15、根據本專利技術，可在光波導元件中實現高動作速度下的低電壓驅動。
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1.一種光波導元件，具有配設于光學基板的主表面上的光波導、以及對在所述光波導中傳播的光波進行控制的控制電極，所述光波導元件中，
2.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
3.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
4.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
5.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
6.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
7.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
8.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
9.一種光調制器，包括：
10.一種光發送裝置，包括：
【技術特征摘要】
1.一種光波導元件，具有配設于光學基板的主表面上的光波導、以及對在所述光波導中傳播的光波進行控制的控制電極，所述光波導元件中，
2.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
3.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
4.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，
【專利技術屬性】
技術研發人員：速水佑治，岡橋宏佑，
申請(專利權)人：住友大阪水泥株式會社，
類型：發明
國別省市：
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