【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及真空泵及控制裝置，特別地涉及具有能夠在不計量旋轉翼的溫度的情況下防止加熱造成的轉子破壞的保護功能的真空泵及控制裝置。
技術介紹
1、隨著近年來的電子學的發展，存儲器、集成電路的半導體的需要急劇增大。
2、這些半導體通過對純度極高的半導體基板摻雜雜質而提供電氣性質、通過蝕刻在半導體基板上形成精密的電路等而制造。
3、并且，這些作業為了避免空氣中的灰塵等的影響而需要在高真空狀態的腔內進行。該腔的排氣一般使用真空泵，特別地，從殘留氣體少、保養容易等方面考慮而多使用作為真空泵中的一種的渦輪分子泵。
4、此外，半導體的制造工序中，使各種各樣的工藝氣體作用于半導體的基板的工序數量多，渦輪分子泵不僅用于使腔內呈真空，也用于將這些工藝氣體從腔內排出。
5、進而，在電子顯微鏡等設備中，為了防止粉塵等的存在導致的電子束的折射等，渦輪分子泵也用于使電子顯微鏡等的腔內的環境為高度的真空狀態。
6、該渦輪分子泵為了將旋轉體磁懸浮控制而具備磁軸承裝置。該磁軸承裝置由控制裝置控制，借助該控制裝置進行旋轉體的旋轉驅動控制、位置控制。并且，在該控制裝置中，具有在由于腔壓力下降而發生旋轉體的異常過熱的情況下為了避免泵破損而進行異常通知而中斷運轉的保護功能(參照專利文獻1～4)。
7、專利文獻1:日本特開2003-232292號公報。
8、專利文獻2:日本特開2004-116328號公報。
9、專利文獻3:日本特開2013-253502號公報。
11、但是，市場上的實際工作中，已知會發生下述事例，即僅以以往設想的對于泵異常的保護功能不能避免泵破損。例如，(1)以不足規定時間的周期重復從目標旋轉速度下降、到達目標旋轉速度的事例、(2)真空腔存在微小泄漏、雖不至于目標旋轉速度下降但驅動馬達長時間持續最大轉矩輸出狀態的事例。
12、每項事例都可能由于細小的情況而發生，因此希望即使對于這些事例也能夠在發生泵破損前通知異常狀態的功能。
13、此外，為了高精度地防止這樣的破損，也考慮導入計量旋轉翼的溫度的傳感器而高精度地進行防止的方案。然而，旋轉翼溫度傳感器的導入可能會導致渦輪分子泵自身價格變高。
技術實現思路
1、本專利技術是鑒于這樣的以往的問題而提出的，其目的在于提供具有能夠在不計量旋轉翼的溫度的情況下防止加熱造成的轉子破壞的保護功能的真空泵及控制裝置。
2、因此本專利技術(技術方案1)是真空泵的專利技術，具備旋轉翼、馬達、旋轉速度計量機構、電流計量機構，前述旋轉翼將從吸氣口抽吸的氣體送向排氣口，前述馬達將該旋轉翼旋轉驅動，前述旋轉速度計量機構計量前述旋轉翼的旋轉速度，前述電流計量機構計量流至前述馬達的電流，前述真空泵的特征在于，具備第一區域、第二區域、區域判斷機構、運算機構，前述第一區域定義為，由前述電流計量機構計量的電流計量值為電流規定值以上，且由前述旋轉速度計量機構計量的旋轉速度計量值為旋轉速度規定值以上，前述第二區域定義為，前述電流計量值不足前述電流規定值，或者前述旋轉速度計量值不足前述旋轉速度規定值，前述區域判斷機構判斷前述旋轉速度計量值和前述電流計量值屬于前述第一區域和前述第二區域的哪個區域，前述運算機構基于該區域判斷機構的判斷的結果隨著時間的經過對前述真空泵的故障的危險度進行運算。
3、由流至馬達的電流計量值為電流規定值以上、且旋轉翼的旋轉速度計量值為旋轉速度規定值以上來定義第一區域，由流至馬達的電流計量值不足電流規定值、或者旋轉翼的旋轉速度計量值不足旋轉速度規定值來定義第二區域。并且，判斷由旋轉速度計量機構計量的旋轉速度計量值和由電流計量機構計量的電流計量值屬于第一區域和第二區域的某個區域。基于該判斷的結果，隨著時間的經過對真空泵的故障的危險度進行運算，從而能夠在不計量旋轉翼的溫度的情況下以廉價的方法將旋轉翼、驅動馬達的異常過熱要因導致的真空泵破損故障防范于未然。
4、此外，本專利技術(技術方案2)是真空泵的專利技術，構成為具備危險度閾值、異常通知機構、停止機構，前述危險度閾值針對由前述運算機構運算的前述危險度而設定，前述異常通知機構在超過該危險度閾值時通知前述真空泵的異常，前述停止機構在由該異常通知機構通知前述真空泵的異常時停止前述真空泵的工作。
5、由此，真空泵的故障的危險度超過危險度閾值時，能夠通知真空泵的異常、基于該異常通知停止真空泵的工作，所以能夠高效率地將真空泵惡化防范于未然。
6、進而，本專利技術(技術方案3)是真空泵的專利技術，其特征在于，前述運算機構在由前述電流計量機構計量的前述電流計量值和由前述旋轉速度計量機構計量的前述旋轉速度計量值均處于前述第一區域時，在前述旋轉速度計量值從預先設定的第一轉速以上變為低于該第一轉速時判斷成前述真空泵的故障的危險度過大。
7、旋轉速度的檢測值從預先設定的第一轉速以上變為低于該第一轉速時判斷成前述真空泵的故障的危險度過大，從而能夠瞬時地判斷真空泵的異常。馬達的電流值高而過負荷的狀態時旋轉速度下降，與氣體的摩擦熱會持續，所以立刻進行異常通知、真空泵的停止。由此，能夠實現真空泵的安全的引用。
8、進而，本專利技術(技術方案4)是真空泵的專利技術，其特征在于，前述運算機構具備時間計量機構，前述時間計量機構在由前述電流計量機構計量的前述電流計量值和由前述旋轉速度計量機構計量的前述旋轉速度計量值均處于前述第二區域時，計量前述旋轉速度計量值以預先設定的第二轉速以下持續旋轉驅動時的時間，由該時間計量機構計量的時間變為預先設定的第一時間以上時判斷成前述真空泵的故障的危險度過大。
9、由電流檢測機構檢測的電流的檢測值和由旋轉速度檢測機構檢測的旋轉速度的檢測值均處于第二區域時，也能夠通過計量旋轉速度的檢測值為預先設定第二轉速以下而持續旋轉驅動時的時間來高效率地判定真空泵的異常。由此，能夠實現真空泵的安全的引用。
10、進而，本專利技術(技術方案5)是真空泵的專利技術，其特征在于，前述運算機構具備將前述真空泵的故障的危險度數值化的計數器，對于該計數器，基于前述區域判斷機構的判斷的結果，每隔第二時間進行前述旋轉速度計量值和前述電流計量值屬于前述第一區域時增加前述計數器的計數且屬于前述第二區域時減少前述計數器的前述計數的處理。
11、將熱處于第一區域的時間和處于第二區域的時間的差設為蓄熱時間。并且，為了將該蓄熱時間作為故障的危險度數值化而具備計數器。關于該計數器，真空泵的運轉狀態屬于第一區域時使計數器的計數增加，另一方面，屬于第二區域時使計數器的計數減少。由此，無需僅為了避免故障而搭載高價的非接觸的翼溫度計量功能，能夠廉價地實現風險避免。
12、進而，本專利技術(技術方案6)是真空泵的專利技術，前述計數器的前述計數的值超過預先確定的故障基準值時判斷成前述真空泵的故障的危險度過大。
13、表示蓄熱時間的計數器的計數的本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種真空泵，具備旋轉翼、馬達、旋轉速度計量機構、電流計量機構，
2.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.如權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
4.如權利要求1至3中任一項所述的真空泵，其特征在于，
5.如權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
6.如權利要求5所述的真空泵，其特征在于，
7.如權利要求5或6所述的真空泵，其特征在于，
8.如權利要求5至7中任一項所述的真空泵，其特征在于，
9.如權利要求5至8中任一項所述的真空泵，其特征在于，
10.如權利要求5至9中任一項所述的真空泵，其特征在于，
11.一種控制裝置，控制真空泵，前述真空泵具備旋轉翼、馬達、旋轉速度計量機構、電流計量機構，
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種真空泵，具備旋轉翼、馬達、旋轉速度計量機構、電流計量機構，
2.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.如權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
4.如權利要求1至3中任一項所述的真空泵，其特征在于，
5.如權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
6.如權利要求5所述的真空泵，其特征在于，
【專利技術屬性】
技術研發人員：深美英夫，
申請(專利權)人：埃地沃茲日本有限公司，
類型：發明
國別省市：
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