【技術實現步驟摘要】
本技術涉及襯底的切片加工輔助設施,特別涉及一種襯底自動插片機。
技術介紹
1、目前,傳統的襯底在切片后的處理,都是依靠人工手工作業,具體工作流程如下:首先,準備好需要收片所需的晶舟盒和待收片的襯底;然后,將晶舟盒置于固定位置,底部墊緩沖泡沫墊避免瞌碰;最后,人工手持一摞基板,按順序一片片收入晶舟盒中。該種做法存在以下問題:現由于襯底收片是以人工手動操作,容易造成人工疲勞,對人員熟練度和技巧要求較高;并且,由于晶舟盒片間距較小,在人工插片過程中容易出現視覺誤差,導致斜插或者誤插,造成襯底表面劃傷等不利情形。
2、需要說明的是,公開于該
技術介紹
部分的信息僅僅旨在增加對本技術的總體背景的理解,而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域一般技術人員所公知的現有技術
技術實現思路
1、本技術提供一種襯底自動插片機,其包括支撐架、升降托盤、噴氣結構、取片結構、傳輸結構和存放結構。
2、升降托盤設置在支撐架上,用于放置襯底。噴氣結構設置在支撐架上,用于使位于升降托盤上的襯底懸浮。取片結構位于放置結構和傳輸結構之間,用于抓取懸浮的襯底,并將抓取的襯底轉移至傳輸結構上。存放結構位于傳輸結構的傳輸方向的尾端,用于接收傳輸結構輸送的襯底。
3、進一步的,襯底自動插片機還可以包括夾取裝置。夾取裝置連接存放結構,用于夾取存放結構,并將夾取的存放結構送至預定區域。夾取裝置可以包括夾取手臂、下壓裝置、橫向傳輸裝置以及升降氣缸,夾取手臂連接存放結構,下壓裝置連接夾取
4、進一步的,襯底自動插片機還可以包括計數結構,計數結構用于記錄傳輸結構上通過的襯底信息。
5、進一步的,襯底自動插片機還可以包括導向結構,導向結構連接升降托盤。導向結構可以為導向皮帶。
6、進一步的,取片結構可以包括旋轉取片架、升降結構和2個吸盤。升降結構連接旋轉取片架,2個吸盤分別位于旋轉取片架的相對兩端。
7、進一步的,支撐架是可旋轉的。升降托盤的數量為多個,多個升降托盤均勻分布在支撐架的周緣處。噴氣結構為噴氣嘴。
8、本技術一實施例提供的一種襯底自動插片機,借由支撐架、升降托盤、噴氣結構、取片結構、傳輸結構和存放結構的搭配設置,能夠實現自動化插片,避免人工插片所產生的不利影響。以4寸每月100萬片襯底為例,傳統方式需要3位員工作為手工插片放入晶舟料盒內,而采用本申請的襯底自動插片機可大幅降低人員負荷,減少至1位員工即可作業,僅需上成疊的襯底,并收回已裝滿的料盒即可。并且,可以避免人為插片導致的不良如刮傷、崩角等。
9、本技術的其它特征和有益效果將在隨后的說明書中闡述,并且,部分的技術特征和有益效果可以從說明書中顯而易見地得出,或者是通過實施本技術而了解。
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1.一種襯底自動插片機,其特征在于:所述襯底自動插片機包括支撐架、升降托盤、噴氣結構、取片結構、傳輸結構和存放結構;
2.根據權利要求1所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述襯底自動插片機還包括夾取裝置,所述夾取裝置連接所述存放結構,用于夾取所述存放結構,并將夾取的所述存放結構送至預定區域。
3.根據權利要求2所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述夾取裝置包括夾取手臂、下壓裝置、橫向傳輸裝置以及升降氣缸,所述夾取手臂連接所述存放結構,所述下壓裝置連接所述夾取手臂,并對應于所述存放結構的上方,所述橫向傳輸裝置連接所述下壓裝置,所述升降氣缸連接所述橫向傳輸裝置。
4.根據權利要求2所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述襯底自動插片機還包括計數結構,所述計數結構連接所述夾取裝置,所述計數結構用于記錄所述傳輸結構上通過的襯底信息。
5.根據權利要求1所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述襯底自動插片機還包括導向結構,所述導向結構連接所述升降托盤。
6.根據權利要求5所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述導向結構為導向皮帶。
>7.根據權利要求1所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述取片結構包括旋轉取片架、升降結構和2個吸盤,所述升降結構連接所述旋轉取片架,所述2個吸盤分別位于所述旋轉取片架的相對兩端。
8.根據權利要求1所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述支撐架是可旋轉的。
9.根據權利要求8所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述升降托盤的數量為多個,所述多個升降托盤均勻分布在所述支撐架的周緣處。
10.根據權利要求1所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述噴氣結構為噴氣嘴。
...【技術特征摘要】
1.一種襯底自動插片機,其特征在于:所述襯底自動插片機包括支撐架、升降托盤、噴氣結構、取片結構、傳輸結構和存放結構;
2.根據權利要求1所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述襯底自動插片機還包括夾取裝置,所述夾取裝置連接所述存放結構,用于夾取所述存放結構,并將夾取的所述存放結構送至預定區域。
3.根據權利要求2所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述夾取裝置包括夾取手臂、下壓裝置、橫向傳輸裝置以及升降氣缸,所述夾取手臂連接所述存放結構,所述下壓裝置連接所述夾取手臂,并對應于所述存放結構的上方,所述橫向傳輸裝置連接所述下壓裝置,所述升降氣缸連接所述橫向傳輸裝置。
4.根據權利要求2所述的襯底自動插片機,其特征在于:所述襯底自動插片機還包括計數結構,所述計數結構連接所述夾取裝置,所述計數結構用于記錄所述傳輸結...
【專利技術屬性】
技術研發人員:周志豪,劉金泉,廖志翔,丁玉婷,莫康,
申請(專利權)人:福建晶安光電有限公司,
類型:新型
國別省市:
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