【技術實現步驟摘要】
本技術涉及光刻機設備，尤其涉及一種光刻機設備移載機構。
技術介紹
1、光刻機設備中一項重要的部件是光刻機的快門，光刻機需要通過該快門控制進入投影系統的曝光量的多少，因此該部件對于最終的成像效果影響非常大。
2、在實際操作中，光刻機需要跟換設備零部件，且其特殊的環境要求，因此正常的搬運機構無法使用，現有技術，申請號為：cn201910644687.5一種用于矯正支撐的支撐點定位底座，由于設備的重量高達幾頓以上，一般的室內搬運設備無法滿足承受力，因此現有設備的受力不夠，且是整體搬運的內部的零部件在搬運過程中可能會產生晃動，造成不必要的損失，因此同樣需要保證平穩度。
3、因此需要設計出一種光刻機設備移載機構解決以上問題。
技術實現思路
1、本技術的目的是，提供一種光刻機設備移載機構，以克服目前現有技術存在的上述不足。
2、為了實現上述目的，本技術采用了如下技術方案：
3、一種光刻機設備移載機構，其包括升降機構、設置在所述升降機構上的安裝定位板、以及用于承載光刻機設備的支撐平臺，其特征在于：所述支撐平臺通過安裝梁進行安裝，所述支撐平臺包括上支撐平臺和下承重平臺，在所述上支撐平臺底部四周均設置有下安裝塊，在所述下承重平臺頂部四周設置有上安裝塊，且所述下安裝塊和所述上安裝塊之間相互對應設置，在所述上安裝塊和所述下安裝塊之間安裝有若干組彈簧組件，所述彈簧組件包括左斜彈簧和右斜彈簧，所述左斜彈簧和右斜彈簧左右相鄰設置，相對應設置的彈簧組件中的左斜彈簧
4、優選的，所述升降機構包括底座、設置在所述底座上的液壓組件、受所述液壓組件控制上下移動的升降組件、以及置于所述升降組件上的升降平臺。
5、優選的，所述安裝定位板上開設有若干與光刻機設備相對應設置的固定孔。
6、優選的，所述上支撐平臺的四周設置有鎖緊座，所述鎖緊座上開設有鎖緊孔，在所述上支撐平臺上還開設有避讓槽。
7、優選的，在所述下承重平臺底部還開設有叉車槽。
8、本技術的有益效果是：本技術方案通過設置兩組升降機構對兩側同步進行升降，以此保證光刻機設備放置在支撐平臺上的平穩度，另外將支撐平臺分為上支撐和下承重，在兩者之間設置彈簧組件，大大提高了平臺的承重力，以及穩定性。
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1.一種光刻機設備移載機構，其包括升降機構、設置在所述升降機構上的安裝定位板、以及用于承載光刻機設備的支撐平臺，其特征在于：所述支撐平臺通過安裝梁進行安裝，所述支撐平臺包括上支撐平臺和下承重平臺，在所述上支撐平臺底部四周均設置有下安裝塊，在所述下承重平臺頂部四周設置有上安裝塊，且所述下安裝塊和所述上安裝塊之間相互對應設置，在所述上安裝塊和所述下安裝塊之間安裝有若干組彈簧組件，所述彈簧組件包括左斜彈簧和右斜彈簧，所述左斜彈簧和右斜彈簧左右相鄰設置，相對應設置的彈簧組件中的左斜彈簧與對應設置的彈簧組件中的右斜彈簧對應設置。
2.根據權利要求1所述的一種光刻機設備移載機構，其特征在于：所述升降機構包括底座、設置在所述底座上的液壓組件、受所述液壓組件控制上下移動的升降組件、以及置于所述升降組件上的升降平臺。
3.根據權利要求1所述的一種光刻機設備移載機構，其特征在于：所述安裝定位板上開設有若干與光刻機設備相對應設置的固定孔。
4.根據權利要求1所述的一種光刻機設備移載機構，其特征在于：所述上支撐平臺的四周設置有鎖緊座，所述鎖緊座上開設有鎖緊孔，在所述上
5.根據權利要求1所述的一種光刻機設備移載機構，其特征在于：在所述下承重平臺底部還開設有叉車槽。
...【技術特征摘要】
1.一種光刻機設備移載機構，其包括升降機構、設置在所述升降機構上的安裝定位板、以及用于承載光刻機設備的支撐平臺，其特征在于：所述支撐平臺通過安裝梁進行安裝，所述支撐平臺包括上支撐平臺和下承重平臺，在所述上支撐平臺底部四周均設置有下安裝塊，在所述下承重平臺頂部四周設置有上安裝塊，且所述下安裝塊和所述上安裝塊之間相互對應設置，在所述上安裝塊和所述下安裝塊之間安裝有若干組彈簧組件，所述彈簧組件包括左斜彈簧和右斜彈簧，所述左斜彈簧和右斜彈簧左右相鄰設置，相對應設置的彈簧組件中的左斜彈簧與對應設置的彈簧組件中的右斜彈簧對應設置。
2.根據權利要求1所述的一種...
【專利技術屬性】
技術研發人員：葛明敏，劉宏偉，
申請(專利權)人：蘇州勵索精密裝備科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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