【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體，尤其涉及一種同步時鐘控制方法、裝置及檢測設備。
技術介紹
1、隨著高分辨率終端顯示產品的不斷滲透與發展，必然會帶動掩模版朝著高精細化的方向發展。掩模版作為產品制造過程中的關鍵材料，對產品的精度起決定性作用，這意味著對掩模版的精度提出了更高的技術要求，同時也對掩模版檢測設備提出了更高要求，檢測設備需確保對掩模版進行精細檢測和質量控制。在掩模版檢測設備控制系統中，一個高精度同步時鐘顯得尤為重要，通過一個高精度的同步時鐘對多臺設備(例如掩模臺、相機和采集卡)進行同步，從而提高檢測設備的精度和穩定性。
2、目前，在掩模版檢測設備的控制系統中，通常采用的同步觸發方式是位置同步，如下圖1所示。它有一個觸發信號，也就是觸發時鐘(trigger)，這個時鐘由掩膜臺控制器產生并一分為二，一部分經過商用采集卡輸出給相機，另一部分直接輸出至驅動器，采用位置同步這種觸發方式的控制系統，它的處理速度不能很快，處理精度也不能很高，即需要先確定掃描位置，然后再用相機去掃描，無法實現同步觸發。
3、因此，亟需一種同步時鐘控制方法、裝置及檢測設備以改善上述問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種同步時鐘控制方法、裝置及檢測設備，能夠提高時鐘同步的精度和穩定性。
2、第一方面，本專利技術提供一種同步時鐘控制方法，包括：
3、獲取第一設備輸出的第一信號，并根據所述第一信號的類型選擇外部的時鐘信號；
4、根據所述時鐘信號進行鎖
5、獲取與第二設備相關的第一存儲值和與第三設備相關的第二存儲值，并對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號；
6、根據所述同步時鐘信號控制所述第二設備以及第三設備與所述第一設備的時鐘同步。
7、所述同步時鐘控制方法的有益效果為：先利用第一設備輸出信號的類型選擇外部的時鐘信號，然后對時鐘信號進行鎖相環處理，得到相應的系統時鐘信號；再利用與第二設備相關的第一存儲值和與第三設備相關的第二存儲值，并對系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號；根據同步時鐘信號控制第二設備以及第三設備與第一設備的時鐘同步，相較于現有技術基于位置同步的控制方式，本專利技術采用基于時間同步的觸發方式，通過產生一個高精度的同步時鐘，第二設備和第三設備實時跟隨第一設備運動變化，處理速度更快，處理精度更高，從而提高了時鐘同步的精度和穩定性。
8、可選的，根據所述第一信號的類型選擇外部的時鐘信號包括：
9、若所述第一信號為的類型第一設備勻速運動過程中產生的勻速信號，則選擇所述第一設備的控制器信號進行處理，得到相應的外部的時鐘信號；否則，選擇板載晶振信號進行處理，得到相應的外部的時鐘信號。
10、可選的，對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號包括：
11、根據所述系統時鐘信號、第一存儲值、第二存儲值和流水線加法器進行處理，得到同步時鐘信號。
12、可選的，對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號包括：
13、對所述第一存儲值和第二存儲值進行預處理，得到處理值；
14、根據所述系統時鐘信號、處理值和流水線加法器進行處理，得到同步時鐘信號。
15、可選的，所述鎖相環處理包括依次對所述時鐘信號進行鑒頻鑒相處理、低通濾波處理和頻率調整處理。
16、可選的，根據所述時鐘信號進行鎖相環處理之前還包括：
17、對所述時鐘信號進行時鐘倍頻和波形信號轉換，得到正弦波時鐘信號。
18、可選的，所述第一設備為掩膜臺，所述第二設備為相機，所述第三設備為采集卡。
19、第二方面，本專利技術還提供一種同步時鐘控制裝置，包括：
20、邏輯控制電路模塊，用于獲取第一設備輸出的第一信號，并根據所述第一信號的類型選擇外部的時鐘信號；
21、鎖相環電路模塊，用于根據所述時鐘信號進行鎖相環處理，得到相應的系統時鐘信號；
22、所述邏輯控制電路模塊，還用于獲取與第二設備相關的第一存儲值和與第三設備相關的第二存儲值，并對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號；
23、所述邏輯控制電路模塊，還用于根據所述同步時鐘信號控制所述第二設備以及第三設備與所述第一設備的時鐘同步。
24、所述同步時鐘控制裝置的有益效果為：利用邏輯控制電路模塊和鎖相環電路模塊相結合，實現快速鎖頻鎖相，同時利用硬件負反饋系統，自動調節系統誤差，提高系統穩定性和可靠性，產生高性能的第一設備同步時鐘，跟隨第一設備運動變化，實時更新，時鐘抖動<5ns，有效提高了第一設備、第二設備和第三設備的同步精度和處理速度，同時提高了時鐘同步的精度和穩定性。
25、可選的，根據所述第一信號的類型選擇外部的時鐘信號包括：
26、若所述第一信號為的類型第一設備勻速運動過程中產生的勻速信號，則選擇所述第一設備的控制器信號進行處理，得到相應的外部的時鐘信號；否則，選擇板載晶振信號進行處理，得到相應的外部的時鐘信號。
27、可選的，還包括流水線加法器；
28、所述邏輯控制電路模塊，用于根據所述系統時鐘信號、第一存儲值、第二存儲值和流水線加法器進行處理，得到同步時鐘信號。
29、可選的，還包括加法器和流水線加法器；
30、所述邏輯控制電路模塊，用于利用加法器對所述第一存儲值和第二存儲值進行預處理，得到處理值；
31、所述邏輯控制電路模塊，還用于利用流水線加法器根據所述系統時鐘信號、處理值和流水線加法器進行處理，得到同步時鐘信號。
32、第三方面，本專利技術還提供一種檢測設備，包括第二方面的任意一種可能的設計的裝置。
33、關于上述第三方面的有益效果可以參見上述第二方面的描述。
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1.一種同步時鐘控制方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據所述第一信號的類型選擇外部的時鐘信號包括：
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號包括：
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號包括：
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鎖相環處理包括依次對所述時鐘信號進行鑒頻鑒相處理、低通濾波處理和頻率調整處理。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據所述時鐘信號進行鎖相環處理之前還包括：
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一設備為掩膜臺，所述第二設備為相機，所述第三設備為采集卡。
8.一種同步時鐘控制裝置，其特征在于，包括：
9.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，根據所述第一信號的類型選擇外部的時鐘信號包括：
10.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，還包括流水線加
11.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，還包括加法器和流水線加法器；
12.一種檢測設備，其特征在于，包括如權利要求8-11任一項所述的裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種同步時鐘控制方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據所述第一信號的類型選擇外部的時鐘信號包括：
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號包括：
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對所述系統時鐘信號、第一存儲值和第二存儲值進行處理，得到同步時鐘信號包括：
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鎖相環處理包括依次對所述時鐘信號進行鑒頻鑒相處理、低通濾波處理和頻率調整處理。
6.根據權利要求1所述的方法...
【專利技術屬性】
技術研發人員：余毛寧，
申請(專利權)人：上海御微半導體技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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