【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本技術涉及混合供給裝置，具體涉及一種全自動特氣混合供給裝置。
技術介紹
1、特氣即特種氣體，包括單一氣體或混合氣體。特種氣體種類繁多，通常可區(qū)分為電子氣體、標準氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等。
2、在半導體生產(chǎn)工藝生長過程中，通過h2作為承載氣體從鼓泡器中將sihcl3傳輸?shù)酵獠吭O備中，為工藝生長提供工藝氣體。
3、現(xiàn)有的混氣供給裝置需要由兩個及以上的置放柜才可以形成一套完整供給裝置，供給系統(tǒng)較為復雜且占地面積大，且由于補液管道過長而存在延時性問題；從經(jīng)濟性、便捷性、安全性方面來說，也具有一定影響，并且隨著國家安全法律法規(guī)的不斷健全，人們的安全意思不斷提高，對于混氣柜的安全性和穩(wěn)定性也有了更高需求。
技術實現(xiàn)思路
1、針對上述不足，本技術的目的在于，提供一種結構設計合理，占用空間小，安全性高的全自動特氣混合供給裝置。
2、為實現(xiàn)上述目的，本技術所提供的技術方案是：
3、一種全自動特氣混合供給裝置，其包括柜體、原液瓶、供給瓶、原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置、氣體壓力檢測裝置、氫氣檢測裝置、電控系統(tǒng)、控制閥、供氣管道、供液管道和輸出管道，所述原瓶稱重裝置和供瓶稱重裝置設置在所述柜體的底部，所述原液瓶和供給瓶對應設置在所述原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置上，所述供氣管道與所述原液瓶相連接，所述原液瓶通過供液管道與所述供給瓶相連接，所述輸出管道與所述供給瓶相連接，所述控制閥和氣體壓力檢測裝置設置在所述供氣管道和輸出管道上，所述氫氣檢測裝置設置在所
4、作為本技術的一種優(yōu)選方案，所述供氣管道包括氫氣供給管路、氬氣供給管路、氮氣吹掃管道和外延設備供氣管路。可以實現(xiàn)多種氣體的供給，滿足設備的使用及維護需求，提高了裝置的靈活性和適用性。
5、作為本技術的一種優(yōu)選方案，所述控制閥包括單向閥、隔膜閥和減壓閥。通過設置單向閥、隔膜閥和減壓閥，可以更精細地控制氣體的流量和壓力，確保氣體供給的穩(wěn)定性和安全性。
6、作為本技術的一種優(yōu)選方案，所述氫氣供給管路和氬氣供給管路上均設有過濾器。過濾器可以有效去除氣體中的雜質(zhì)和顆粒物，保護設備和工藝不受污染，延長設備使用壽命。
7、作為本技術的一種優(yōu)選方案，其還包括與所述供氣管道和輸出管道相連通的清掃管道。清掃管道的設置可以方便地對供氣管道和輸出管道進行清潔和維護。
8、作為本技術的一種優(yōu)選方案，所述柜體內(nèi)設有用于將所述原液瓶和供給瓶進行限位固定的定位卡槽。所述定位卡槽的槽壁上設有eva防震泡沫棉。可以有效固定原液瓶和供給瓶，減少運輸或使用過程中的震動和碰撞，保護液體充填物料和設備安全。
9、作為本技術的一種優(yōu)選方案，所述柜體的頂部傾斜設有控制箱，所述控制箱的正面朝向前下方，所述電控系統(tǒng)的控制面板安裝在所述控制箱的正面。將控制箱傾斜設置，使得控制面板方便操作人員觀察和操作，提高了操作的便利性和舒適性。
10、本技術的有益效果為：本技術結構設計合理，充分利用了柜體內(nèi)部空間，將原液瓶和供給瓶集成在同一個柜體內(nèi)，節(jié)約了管道的鋪設成本，有效解決傳統(tǒng)因補液管道長存在延時性的問題，通過增加原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置與氫氣檢測裝置，結合電控系統(tǒng)的控制，可實現(xiàn)供給混合氣體、補充目標重量液體和檢測是否存在氫氣泄漏的功能，操作簡單、方便，而且整體結構緊湊，占用空間少，工作安全性高，穩(wěn)定性好。
11、下面結合附圖與實施例，對本技術進一步說明。
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1.一種全自動特氣混合供給裝置，其包括柜體，其特征在于：其還包括原液瓶、供給瓶、原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置、氣體壓力檢測裝置、氫氣檢測裝置、電控系統(tǒng)、控制閥、供氣管道、供液管道和輸出管道，所述原瓶稱重裝置和供瓶稱重裝置設置在所述柜體的底部，所述原液瓶和供給瓶對應設置在所述原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置上，所述供氣管道與所述原液瓶相連接，所述原液瓶通過供液管道與所述供給瓶相連接，所述輸出管道與所述供給瓶相連接，所述控制閥和氣體壓力檢測裝置設置在所述供氣管道和輸出管道上，所述氫氣檢測裝置設置在所述柜體內(nèi)，所述電控系統(tǒng)分別與所述原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置、氣體壓力檢測裝置和氫氣檢測裝置相連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的全自動特氣混合供給裝置，其特征在于：所述供氣管道包括氫氣供給管路、氬氣供給管路、氮氣吹掃管道和外延設備供氣管路。
3.根據(jù)權利要求2所述的全自動特氣混合供給裝置，其特征在于：所述控制閥包括單向閥、隔膜閥和減壓閥。
4.根據(jù)權利要求2所述的全自動特氣混合供給裝置，其特征在于：所述氫氣供給管路和氬氣供給管路上均設有過濾器。
5.根據(jù)
6.根據(jù)權利要求1所述的全自動特氣混合供給裝置，其特征在于：所述柜體內(nèi)設有用于將所述原液瓶和供給瓶進行限位固定的定位卡槽。
7.根據(jù)權利要求6所述的全自動特氣混合供給裝置，其特征在于：所述定位卡槽的槽壁上設有EVA防震泡沫棉。
8.根據(jù)權利要求1-7任意一項所述的全自動特氣混合供給裝置，其特征在于：所述柜體的頂部傾斜設有控制箱，所述控制箱的正面朝向前下方，所述電控系統(tǒng)的控制面板安裝在所述控制箱的正面。
...【技術特征摘要】
1.一種全自動特氣混合供給裝置，其包括柜體，其特征在于：其還包括原液瓶、供給瓶、原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置、氣體壓力檢測裝置、氫氣檢測裝置、電控系統(tǒng)、控制閥、供氣管道、供液管道和輸出管道，所述原瓶稱重裝置和供瓶稱重裝置設置在所述柜體的底部，所述原液瓶和供給瓶對應設置在所述原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置上，所述供氣管道與所述原液瓶相連接，所述原液瓶通過供液管道與所述供給瓶相連接，所述輸出管道與所述供給瓶相連接，所述控制閥和氣體壓力檢測裝置設置在所述供氣管道和輸出管道上，所述氫氣檢測裝置設置在所述柜體內(nèi)，所述電控系統(tǒng)分別與所述原瓶稱重裝置、供瓶稱重裝置、氣體壓力檢測裝置和氫氣檢測裝置相連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的全自動特氣混合供給裝置，其特征在于：所述供氣管道包括氫氣供給管路、氬氣供給管路、氮氣吹掃管道和外延設備供氣管路。
3.根據(jù)權利要求...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：劉志偉，謝林杰，林逸，陳蛟，
申請(專利權)人：廣州粵升半導體設備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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