【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及鈣鈦礦電池結晶，尤其涉及鈣鈦礦電池退火裝置、退火方法及鈣鈦礦電池退火設備。
技術介紹
1、鈣鈦礦太陽能電池(以下簡稱“鈣鈦礦電池”)具有較高的光電轉化效率，已成為替代晶硅的第三代光伏電池。在鈣鈦礦電池中，鈣鈦礦層作為鈣鈦礦電池的光吸收層，其質量與鈣鈦礦電池的光電轉化效率息息相關。
2、鈣鈦礦電池制備的核心工藝包括鈣鈦礦溶液涂布、干燥及結晶。其中，鈣鈦礦退火結晶度是影響鈣鈦礦層質量的關鍵因素之一。在現有技術中，為了獲得高質量的鈣鈦礦薄膜，在完成鈣鈦礦溶液的涂布、干燥等處理后，需要對其進行退火處理。常見熱板退火工藝，其通過熱傳導的方式將熱量傳遞至鈣鈦礦層，以促進鈣鈦礦薄膜的成核結晶。然而，在通過熱板進行退火時，存在加熱溫度不均勻的問題，導致鈣鈦礦薄膜結晶度差、從而影響鈣鈦礦電池的光電性能。
技術實現思路
1、為此，本專利技術所要解決的技術問題在于克服現有熱板退火加熱溫度不均勻，導致鈣鈦礦薄膜的結晶度差，影響鈣鈦礦電池的光電性能，提供一種鈣鈦礦電池退火裝置、退火方法及鈣鈦礦電池退火設備，作用至鈣鈦礦電池上的均溫性能優異，鈣鈦礦電池退火時全面域溫差小于3％*t，從而提高鈣鈦礦薄膜的成核結晶質量，提高鈣鈦礦電池的光電轉換效率。
2、第一方面，本專利技術提供了一種鈣鈦礦電池退火裝置，包括放熱件，其具有放熱面，所述放熱面正對需要加熱的鈣鈦礦電池設置，用于加熱所述鈣鈦礦電池；其中，所述放熱面與所述鈣鈦礦電池之間具有間隙；加熱組件，連接所述放熱件，用于給所述放熱
3、在本專利技術的一個實施例中，所述空腔沿第一方向的尺寸為5～10mm。
4、在本專利技術的一個實施例中，所述空腔沿第一方向在所述鈣鈦礦電池上的投影將所述鈣鈦礦電池包圍在內。
5、在本專利技術的一個實施例中，所述放熱件背靠所述放熱面的表面內凹設有開口腔，所述加熱組件封閉所述開口腔的開口以形成所述空腔；或者，所述加熱組件位于其與所述放熱件相接的表面設有開口腔，所述放熱件封閉所述開口腔的開口以形成所述空腔；或者，所述放熱件和所述加熱組件兩者相接的表面均設有開口腔，所述放熱件和所述加熱組件相接后封閉所述開口腔的開口以形成所述空腔。
6、在本專利技術的一個實施例中，還包括陶瓷隔熱件,所述陶瓷隔熱件設置在所述加熱組件和所述放熱件之間,所述陶瓷隔熱件用于形成所述空腔的隔熱密封，所述陶瓷隔熱件上開設有通孔，所述通孔分別連通所述加熱組件和所述放熱件。
7、在本專利技術的一個實施例中，所述加熱組件包括殼體，所述殼體內設有容納腔；加熱部件，所述加熱部件設置在所述容納腔內，其包括多個第一加熱彎折部和多個第二加熱彎折部，所述第一加熱彎折部和所述第二加熱彎折部的彎折方向相反，多個所述第一加熱彎折部和多個所述第二加熱彎折部依次交替設置。
8、在本專利技術的一個實施例中，所述殼體上形成有多個第一限位部和多個第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部均設置在所述容納腔內，所述第一限位部伸入所述第一加熱彎折部中且所述第二限位部伸入所述第二加熱彎折部中，以定位所述加熱部件。
9、第二方面，本專利技術還提供一種基于上述任意一項所述的鈣鈦礦電池退火裝置的加熱方法，包括所述加熱組件隔空加熱所述放熱件以提供加熱所述鈣鈦礦電池的熱源，所述空腔通過減緩傳熱速度以使所述放熱件的放熱面的全面域溫差小于1％*t；其中，t為所述放熱面的要求溫度。
10、第三方面，本專利技術還提供一種鈣鈦礦電池退火設備，包括箱體，其內填充有惰性氣體；基板載臺，設置于所述箱體內，其用于承載需要加熱的鈣鈦礦電池；如上述任意一項所述的鈣鈦礦電池退火裝置，所述鈣鈦礦電池退火裝置設置于所述箱體內；以及，升降驅動件，其用于驅動所述鈣鈦礦電池退火裝置升降以調整所述間隙的大小。
11、在本專利技術的一個實施例中，所述基板載臺上設有承載部件，所述承載部件上設有接觸部，所述接觸部用于點接觸所述鈣鈦礦電池。
12、在本專利技術的一個實施例中，所述鈣鈦礦電池退火裝置設有兩個，兩個所述鈣鈦礦電池退火裝置分別位于所述鈣鈦礦電池的兩側。
13、本專利技術的上述技術方案相比現有技術具有以下有益效果：
14、本專利技術所述的鈣鈦礦電池退火裝置、退火方法及退火設備，加熱組件和與之相連的放熱件之間形成有密封的空腔，加熱組件通過空腔隔空加熱放熱件以提供加熱鈣鈦礦電池的熱源，空腔通過減緩傳熱速度以使放熱件的放熱面的全面域溫差小于1％*t，最終使得鈣鈦礦電池退火時全面域溫差小于3％*t；由此，本專利技術申請所述的鈣鈦礦電池退火裝置具有優異的均溫性，使用后能提高鈣鈦礦薄膜成核結晶質量及生產效率，使得相同面積的鈣鈦礦薄膜成核結晶均勻性更好。進而能夠獲得更高光電轉換效率的鈣鈦礦電池，有效提高了成品生產良率，節省了生產成本。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種鈣鈦礦電池退火裝置,其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述空腔沿第一方向的尺寸為5～10mm。
3.根據權利要求1或2所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述空腔沿第一方向在所述鈣鈦礦電池上的投影將所述鈣鈦礦電池包圍在內。
4.根據權利要求1所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述放熱件背靠所述放熱面的表面內凹設有開口腔，所述加熱組件封閉所述開口腔的開口以形成所述空腔；或者，
5.根據權利要求4所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：還包括陶瓷隔熱件,所述陶瓷隔熱件設置在所述加熱組件和所述放熱件之間,所述陶瓷隔熱件用于形成所述空腔的隔熱密封，所述陶瓷隔熱件上開設有通孔，所述通孔分別連通所述加熱組件和所述放熱件。
6.根據權利要求1所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述加熱組件包括：
7.根據權利要求6所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述殼體上形成有多個第一限位部和多個第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部均設置在所述容納腔內，所述第一限位部伸入
8.一種基于權利要求1至7中任意一項所述的鈣鈦礦電池退火裝置的加熱方法，其特征在于：包括
9.一種鈣鈦礦電池退火設備，其特征在于，包括：
10.根據權利要求9所述的鈣鈦礦電池退火設備，其特征在于：所述基板載臺上設有承載部件，所述承載部件上設有接觸部，所述接觸部用于點接觸所述鈣鈦礦電池。
11.根據權利要求9所述的鈣鈦礦電池退火設備，其特征在于：所述鈣鈦礦電池退火裝置設有兩個，兩個所述鈣鈦礦電池退火裝置分別位于所述鈣鈦礦電池的兩側。
...【技術特征摘要】
1.一種鈣鈦礦電池退火裝置,其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述空腔沿第一方向的尺寸為5～10mm。
3.根據權利要求1或2所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述空腔沿第一方向在所述鈣鈦礦電池上的投影將所述鈣鈦礦電池包圍在內。
4.根據權利要求1所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：所述放熱件背靠所述放熱面的表面內凹設有開口腔，所述加熱組件封閉所述開口腔的開口以形成所述空腔；或者，
5.根據權利要求4所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特征在于：還包括陶瓷隔熱件,所述陶瓷隔熱件設置在所述加熱組件和所述放熱件之間,所述陶瓷隔熱件用于形成所述空腔的隔熱密封，所述陶瓷隔熱件上開設有通孔，所述通孔分別連通所述加熱組件和所述放熱件。
6.根據權利要求1所述的鈣鈦礦電池退火裝置，其特...
【專利技術屬性】
技術研發人員：請求不公布姓名，請求不公布姓名，
申請(專利權)人：蘇州材裝半導體設備有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。