本發明專利技術公開了一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置以及測量方法，包括：激光器光源，激光器光源設置有兩個出光口，用于輸出波長為1064nm、532nm、266nm的準直脈沖激光，第一出光口輸出波長1064nm脈沖激光，第二出光口輸出波長532nm和266nm脈沖激光；光路切換裝置，光路切換裝置安裝在所述激光器光源的一側，用于反射波長532nm和266nm的脈沖激光；光程延長裝置，本發明專利技術測試過程全自動，測試效率高；可以改變作用在樣品表面激光的偏振狀態，包括圓偏振，橢圓偏振以及線偏振角度；采用共軛測量光路，實時測量光斑直徑和能量，保證測試結果準確；聚焦系統可實現聚焦光斑直徑0.2?0.8mm可變，適用范圍更廣；采用多種在線損傷判別方法進行綜合判別，更準確。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及激光誘導損傷閾值測量裝置，具體為一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置以及測量方法。
技術介紹
1、隨著激光技術的不斷發展，對應用于大功率、高能量激光系統，以及激光防護系統中的光學薄膜器件提出了高損傷閾值的要求。但目前在激光損傷閾值的測量上，還存在測量標準不統一、重復性不好、準確性差、相互結果難以比對等問題，其主要原因在于不同的材料及膜系適用于不同的損傷識別方法。因此如何精確測量光學元件損傷閾值尤為重要。
2、目前搭建的激光損傷測試裝置主要依據iso21254國際標準中零概率損傷閾值測試的相關要求，現有的多波長激光損傷測試裝置(參見現有技術1，專利公開號cn110174245b)采用多光路結構，根據測試需求自動設定，針對單一波長脈沖激光損傷閾值測試裝置(參見現有技術2，專利公開號cn116642668a)僅能用于特定檢測需求的光學元件損傷特性檢測，在有特殊偏振態需求的情況無法對光束的偏振態做出調整，且在測試微納結構光學器件的損傷閾值時，聚焦光斑大小需要改變，以上兩種技術都無法滿足。
3、綜上，需要提出一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置以及測量方法來解決上述問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置以及測量方法，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案：
3、一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置以及測量方法，包括：
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p>4、激光器光源，激光器光源設置有兩個出光口，用于輸出波長為1064nm、532nm、266nm的準直脈沖激光，第一出光口輸出波長1064nm脈沖激光，第二出光口輸出波長532nm和266nm脈沖激光；5、光路切換裝置，光路切換裝置安裝在所述激光器光源的一側，用于反射波長532nm和266nm的脈沖激光；
6、光程延長裝置，光程延長裝置安裝在所述光路切換裝置遠離激光器光源的一側，用于增加所述激光器光源輸出光束的光程；
7、光閘開關，光閘開關安裝在所述光程延長裝置的一側；
8、可調連續衰減器，可調連續衰減器安裝在所述光閘開關的一側；
9、偏振調節器，偏振調節器安裝在所述可調連續衰減器的一側，旋轉偏振調節器內部對應波長的半波片可以改變對應波長激光的線偏振方向，調整對應波長的四分之一波片可以改變對應波長激光的圓偏振狀態圓偏振，橢圓偏振；
10、共軛在線測量模塊，共軛在線測量模塊安裝在所述偏振調節器的一側；
11、樣品測試臺，樣品測試臺安裝在共軛在線測量模塊的一側，用于夾持樣品并控制樣品在x、y、z軸方向移動
12、在線損傷判別裝置，在線損傷判別裝置安裝在所述樣品測試臺的外部。
13、優選的，光路切換裝置，包括：
14、第一電控移動模組；第一電控移動模組設置在機框一頂部
15、第一反射鏡，第一反射鏡安裝在機框一的內部靠近上方；
16、第二反射鏡，第二反射鏡安裝在機框一的內部靠近下方；
17、吸收阱，吸收阱安裝在機框一的一側。
18、優選的，光程延長裝置，包括
19、第三反射鏡，第三反射鏡安裝在機框二的左下角；
20、第四反射鏡，第四反射鏡安裝在機框二的左上角；
21、第五反射鏡，第五反射鏡安裝在機框二的右上角；
22、第六反射鏡，第六反射鏡安裝在機框二的右下角。
23、優選的，可調連續衰減器，包括
24、1064nm可調連續衰減器，由第一電動可調旋轉1064nm半波片和第一偏振分束立方組成，安裝在機框三的上方；
25、532nm可調連續衰減器，由電動可調旋轉532nm半波片和第二偏振分束立方組成，安裝在機框三的中部；
26、266nm可調連續衰減器，電動可調旋轉266nm半波片和第三偏振分束立方組成，安裝在機框三的底部；
27、第二電控移動模組，安裝在機框三的頂部。
28、優選的，偏振調節器，包括
29、第二電動可調旋轉1064nm半波片，安裝在機框四的底部；
30、電動可調旋轉1064nm四分之一波片，安裝在所述第二電動可調旋轉1064nm半波片的上方；
31、電動可調旋轉532nm四分之一波片，安裝在所述電動可調旋轉1064nm四分之一波片的上方；
32、電動可調旋轉266nm四分之一波片，安裝在電動可調旋轉532nm四分之一波片的上方；
33、第三電控移動模組，安裝在機框四的頂部。
34、優選的，共軛在線測量模塊，包括
35、聚焦系統，安裝在機框五的內部靠下方;
36、第一分光鏡片，安裝在機框五的內壁靠右下方;
37、第二分光鏡片，安裝在機框五的內部靠近右上方;
38、能量計，安裝在機框五的內部位于第二分光鏡片的上方;
39、衰減片，安裝在機框五的內部位于第二分光片的一側;
40、光束質量分析儀，安裝在機框五的內壁位于衰減片的一側。
41、優選的，所述聚焦系統由焦距補償移動模組、光學間隙移動模組、第一鏡片和第二鏡片組成，所述焦距補償移動模組安裝在機框六的一側，所述光學間隙移動模組安裝在機框六的內部，所述第一鏡片安裝在光學間隙移動模組的左側，所述第二鏡片安裝在第一鏡片的右側。
42、優選的，所述樣品測試臺包括臺體，所述臺體的頂部固定連接有l形板，所述l形板的頂部固定安裝有第一電機，所述第一電機的輸出端固定連接有第一轉桿，所述第一轉桿的外表面固定連接有主動輪，所述臺體的頂部內壁轉動連接有第二轉桿，所述第二轉桿的頂端固定連接有從動輪，所述主動輪和從動輪的外表面轉動設置有傳動帶，所述臺體的一側開設有第一矩形槽，所述第一矩形槽的內壁底部轉動連接有第一螺桿，所述第一螺桿的外表面螺紋連接有第一螺孔塊，所述第一螺桿的頂端與第二轉桿的底端固定連接，所述第一螺孔塊的一側固定連接有連接桿，所述連接桿的一側固定連接有矩形框，所述矩形框的一側固定安裝有第二電機，所述第二電機的輸出端固定連接有第二螺桿，所述第二螺桿的外表面螺紋連接有第二螺孔塊，所述第二螺孔塊的一側固定連接有安裝框，所述安裝框的內壁固定安裝有第三電機，所述第三電機的輸出端固定連接有第三螺桿，所述第三螺桿的外表面螺紋連接有螺紋筒，所述螺紋筒的外表面固定連接有連接板，所述連接板的內壁滑動連接有限位桿，所述限位桿的一端與安裝框固定連接，所述螺紋筒的一側固定連接有擋光板，所述擋光板的一側固定連接有夾持臺，所述夾持臺的內壁開設有第二矩形槽，所述夾持臺的一側固定安裝有第四電機，所述第四電機的輸出端固定連接有第四螺桿，所述第四螺桿的兩端螺紋形狀呈相反對稱排列，所述第四螺桿的外表面對稱螺紋連接有螺孔滑塊，所述夾持臺的一側開設有矩形通槽，所述螺孔滑塊的一側固定連接有滑動桿，所本文檔來自技高網
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【技術保護點】
1.一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的光路切換裝置，其特征在于，包括：
3.根據權利要求1所述的光程延長裝置，其特征在于：包括
4.根據權利要求1所述的可調連續衰減器，其特征在于：包括
5.根據權利要求1所述的偏振調節器，其特征在于：包括
6.根據權利要求1所述的共軛在線測量模塊，其特征在于：包括
7.根據權利要求6所述的共軛在線測量模塊，其特征在于：
8.根據權利要求1所述的一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置，其特征在于：
9.根據權利要求1所述的一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置，其特征在于：
10.根據權利要求1-9所述的一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置，其特征在于：還包括一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量方法，包括以下步驟：
【技術特征摘要】
1.一種可調偏振態的激光誘導損傷閾值測量裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的光路切換裝置，其特征在于，包括：
3.根據權利要求1所述的光程延長裝置，其特征在于：包括
4.根據權利要求1所述的可調連續衰減器，其特征在于：包括
5.根據權利要求1所述的偏振調節器，其特征在于：包括
6.根據權利要求1所述的共軛在線測量模塊，其特征在于：包括<...
【專利技術屬性】
技術研發人員：吳斌，吳慎將，李昆澎，趙海陽，倪云昆，蘇俊宏，徐均琪，時凱，
申請(專利權)人：西安工業大學，
類型：發明
國別省市：
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