【技術實現步驟摘要】
本技術屬于晶圓清洗設備，特別涉及一種應用于晶圓清洗的過濾裝置。
技術介紹
1、在晶圓生產的整個過程中，要經過多次的化學蝕刻與清洗，每步蝕刻與清洗后都要經過清水的沖洗。
2、現有半導體封裝晶圓級封裝中，涉及的晶圓清洗所使用的清洗液比較昂貴，一般情況下，會在晶圓清洗設備中增加清洗液循環系統，目的是在晶圓經過清洗液清洗后，用藥液循環系統重復利用清洗液。
3、但是，新的清洗液清洗晶圓后，藥液內會含有一定的雜質，所以就需要在藥液循環系統中增加過濾裝置。過濾裝置中設有內置的濾芯，濾芯被夾持再上固定部和下固定部之間，上固定部和下固定部之間通過螺栓固定。濾芯在使用一定時間后需要更換。
4、現有技術中針對濾芯的更換，需專門的技術人員先關閉整個過濾系統，然后將上固定部和下固定部之間的螺栓拆卸掉，將壽命到期的舊濾芯取出，更換為新的濾芯。而舊濾芯的表面會存在一定的藥液殘留，進液管中也會有藥液殘留持續流淌到舊濾芯上，工作人員在取出舊濾芯時，藥液殘留會隨之溢出，極易沾染到人體。藥液本身有化學性物質，與人體接觸會對人體造成一定的危害。
5、因此，亟需一種新的過濾裝置，減輕甚至去除濾芯更換時藥液殘留對人體造成的危害。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種新型的應用于晶圓清洗的過濾裝置，解決現有技術中晶圓清洗回收液過濾芯更換所造成的藥液溢出問題，避免了因更換濾芯造成人體化學藥劑接觸，加大了工作人員作業的安全性，也節省了更換濾芯的時間。
2、為實現上述
3、在一些實施方式中，夾持部自上而下依次設有上接口、夾持件和下接口，上接口連接上固定部，下接口連接下固定部，夾持件連接調節件，調節件控制夾持件對濾芯進行夾持和釋放。
4、在一些實施方式中，夾持件包括固定夾持端和活動夾持端，固定夾持端固定連接上接口和下接口，調節件連接活動夾持端，通過所述調節件實現活動夾持端靠近或者遠離固定夾持端，進而實現對濾芯進行夾持和釋放。
5、在一些實施方式中，靜置平臺包括漏斗，漏斗用于放置濾芯，漏斗底部連通排液管，或者，漏斗底部通過排液管連通出液管。
6、在一些實施方式中，進液管和上固定部連通處設有液體開關，液體開關關閉時，阻斷進液管中的藥液流向上固定部；液體開關開啟時，進液管中的藥液流向上固定部。
7、與現有技術相比，本技術具有以下有益效果：
8、1、本技術公開的應用于晶圓清洗的過濾裝置對濾芯夾持結構進行創新，通過夾持部實現對濾芯的夾持和釋放，在濾芯更換時，人體不用接觸舊的濾芯；
9、2、本技術增加了靜置平臺，用于放置舊的濾芯，而因為夾持部的結構設置，更換濾芯的人員只需要使上固定部和下固定部分離，手持進液管或者上固定部就可以帶動濾芯放置到靜置平臺上，此時利用夾持部實現對濾芯的釋放，濾芯直接掉落在靜置平臺上，濾芯上的殘留藥液通過靜置平臺排出。同時人員手持進液管或者上固定部恢復原位，可將新的濾芯安裝到夾持部，再固定好上固定部和下固定部；整個濾芯更換的過程中，舊的濾芯上的藥液殘留不會溢出碰觸到人體，加大了更換濾芯人員作業的安全性；
10、3、進液管和上固定部連通處設有液體開關，液體開關關閉時，阻斷進液管中的藥液流向上固定部；液體開關開啟時，進液管中的藥液流向上固定部；該液體開關的設置使得濾芯更換時，不需要關閉整個過濾系統，只需要關閉液體開關即可完成濾芯的更換，節省時間。
11、另外，由于關閉了液體開關，直接阻斷了進液管中的藥液流向上固定部，這樣進液管中的藥液殘留不會持續流到濾芯中，也減少了更換濾芯時，藥液殘留量多而溢出的情況發生。也保證了工作人員更換濾芯的安全性。
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1.一種應用于晶圓清洗的過濾裝置，包括自上而下依次設置的進液管、上固定部、濾芯、下固定部和出液管，所述進液管連通上固定部，所述濾芯設于上固定部和下固定部之間，所述出液管連通下固定部，其特征在于，還包括夾持部和靜置平臺，所述夾持部連接于上固定部下方，所述夾持部實現對濾芯的夾持和釋放，所述靜置平臺設有排液管或者連通出液管，所述濾芯被釋放后置于靜置平臺，濾芯上殘留的藥液通過排液管或者出液管排出。
2.根據權利要求1所述的一種應用于晶圓清洗的過濾裝置，其特征在于，所述夾持部自上而下依次設有上接口、夾持件和下接口，所述上接口連接上固定部，所述下接口連接下固定部，所述夾持件連接調節件，所述調節件控制夾持件對濾芯進行夾持和釋放。
3.根據權利要求2所述的一種應用于晶圓清洗的過濾裝置，其特征在于，所述夾持件包括固定夾持端和活動夾持端，所述固定夾持端固定連接上接口和下接口，所述調節件連接活動夾持端，通過所述調節件實現活動夾持端靠近或者遠離固定夾持端，進而實現對濾芯進行夾持和釋放。
4.根據權利要求1-3任一項所述的一種應用于晶圓清洗的過濾裝置，其特征在于，所述靜
5.根據權利要求4所述的一種應用于晶圓清洗的過濾裝置，其特征在于，所述進液管和上固定部連通處設有液體開關，液體開關關閉時，阻斷進液管中的藥液流向上固定部；液體開關開啟時，進液管中的藥液流向上固定部。
...【技術特征摘要】
1.一種應用于晶圓清洗的過濾裝置，包括自上而下依次設置的進液管、上固定部、濾芯、下固定部和出液管，所述進液管連通上固定部，所述濾芯設于上固定部和下固定部之間，所述出液管連通下固定部，其特征在于，還包括夾持部和靜置平臺，所述夾持部連接于上固定部下方，所述夾持部實現對濾芯的夾持和釋放，所述靜置平臺設有排液管或者連通出液管，所述濾芯被釋放后置于靜置平臺，濾芯上殘留的藥液通過排液管或者出液管排出。
2.根據權利要求1所述的一種應用于晶圓清洗的過濾裝置，其特征在于，所述夾持部自上而下依次設有上接口、夾持件和下接口，所述上接口連接上固定部，所述下接口連接下固定部，所述夾持件連接調節件，所述調節件控制夾持件對濾芯進行夾持和釋放。
3.根...
【專利技術屬性】
技術研發人員：石蘇楠，
申請(專利權)人：江蘇芯德半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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