【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)屬于半導(dǎo)體設(shè)備，更具體地說(shuō)，是涉及一種貼膜裝置及貼膜方法。
技術(shù)介紹
1、背面保護(hù)膠膜?(backside?coating?tape)主要用于wlcsp（wafer-level?chip-scale?package）制程，其用于作為保護(hù)及補(bǔ)強(qiáng)晶圓背面的無(wú)基材特殊膠膜，以抑制光線、減低對(duì)回路面的不良影響。背面保護(hù)膠膜由底膜（隔離保護(hù)膜）、背膠膜和蓋膜（隔離保護(hù)膜）三層構(gòu)成。在晶圓研磨后、切割前將背膠膜貼合于晶圓的背面，以提高晶圓強(qiáng)度，減低切割時(shí)破片的發(fā)生。
2、在相關(guān)的技術(shù)中，貼背膠膜工藝是先將背膠膜的蓋膜剝離，再將底膜和背膠膜送到晶圓貼膜工位，然后通過(guò)切斷機(jī)構(gòu)把背膠膜切割出粘貼區(qū)域和殘余區(qū)域，再通過(guò)剝離機(jī)構(gòu)將背膠膜的殘余區(qū)域剝離，最后再把背膠膜的粘貼區(qū)域貼在晶圓上。然而，前述的切割方式整體結(jié)構(gòu)繁瑣復(fù)雜、切割效率低；同時(shí)，先剝離蓋膜再切割的工藝也容易留有殘膠，影響壓膜品質(zhì)及后工序切割效果。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)實(shí)施例的目的在于提供一種貼膜裝置及貼膜方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的切割結(jié)構(gòu)復(fù)雜、效率低且易留膠的技術(shù)問(wèn)題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)第一方面實(shí)施例采用的技術(shù)方案是，提供一種貼膜裝置，其包括：
3、機(jī)架，以及設(shè)置于所述機(jī)架上的放膜模塊、壓膜模塊、收膜模塊和工作臺(tái)，所述放膜模塊用于卷放具備三層膜層的復(fù)合膜卷并在靠近所述工作臺(tái)處對(duì)所述復(fù)合膜卷剝離，所述壓膜模塊用于將剝離后的其中一所述膜層壓緊粘接于所述工作臺(tái)上的晶圓表面，所述收膜模塊用于
4、所述壓膜模塊和所述工作臺(tái)能夠沿平行于所述晶圓表面的方向相對(duì)移動(dòng)；
5、其中，在所述放膜模塊中設(shè)置有預(yù)切割單元和膜連接單元；
6、所述預(yù)切割單元用于對(duì)所述復(fù)合膜卷上靠近粘接的一面進(jìn)行預(yù)切割，以在其上形成貫穿兩層所述膜層的切割痕，并使靠近所述預(yù)切割單元的所述膜層表面形成第一區(qū)域以及位于所述第一區(qū)域中且互相隔離的第二區(qū)域；
7、所述膜連接單元用于在所述復(fù)合膜卷上被切割的一面連續(xù)粘貼膠膜，以使所述第一區(qū)域與各所述第二區(qū)域恢復(fù)連接關(guān)系。
8、可選地，所述膜連接單元包括架體和設(shè)置于所述架體上的放卷機(jī)構(gòu)、導(dǎo)膜機(jī)構(gòu)及推膜機(jī)構(gòu)；所述放卷機(jī)構(gòu)用于放送所述膠膜，所述導(dǎo)膜機(jī)構(gòu)用于傳送所述膠膜至所述推膜機(jī)構(gòu)，所述推膜機(jī)構(gòu)可擺動(dòng)設(shè)置于所述架體以推動(dòng)所述膠膜靠近所述膜層并粘貼連接于所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域。
9、可選地，所述推膜機(jī)構(gòu)包括推膜輪和被設(shè)置為始終抵緊所述推膜輪的夾緊輪，所述膠膜穿設(shè)于所述夾緊輪與所述推膜輪之間的間隙并由所述推膜機(jī)構(gòu)推動(dòng)以粘接于所述膜層的表面。
10、可選地，所述推膜機(jī)構(gòu)包括擺動(dòng)設(shè)置于所述架體的第一擺桿，在所述架體上設(shè)置有氣缸，所述氣缸的活塞端與所述第一擺桿之間連接有連桿機(jī)構(gòu)；和/或，所述推膜機(jī)構(gòu)還包括擺動(dòng)設(shè)置于所述架體的第二擺桿，所述第二擺桿與所述架體之間連接有彈性件，所述夾緊輪設(shè)置于所述第二擺桿，所述彈性件用于使所述夾緊輪抵緊所述推膜輪。
11、可選地，在所述推膜機(jī)構(gòu)上遠(yuǎn)離所述放卷機(jī)構(gòu)的一端設(shè)置有切割片；和/或，所述架體包括固定架和活動(dòng)架，所述活動(dòng)架沿所述固定架的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)設(shè)置于所述固定架，所述放膜模塊、所述導(dǎo)膜輪和所述推膜機(jī)構(gòu)均設(shè)置于所述活動(dòng)架。
12、可選地，所述預(yù)切割單元包括聯(lián)動(dòng)設(shè)置的模切動(dòng)力輥和由所述模切動(dòng)力輥驅(qū)動(dòng)的模切刀輥，在所述模切刀輥上沿周向成型有模切刀，所述復(fù)合膜卷穿設(shè)于所述模切動(dòng)力輥和所述模切刀輥。
13、可選地，所述模切刀輥與所述模切動(dòng)力輥之間的間隙可調(diào)節(jié)設(shè)置。
14、可選地，在所述模切刀輥與所述模切動(dòng)力輥之間連接有彈力件，在所述模切刀輥與所述模切動(dòng)力輥任意一者上遠(yuǎn)離另一者的一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)件，所述驅(qū)動(dòng)件用于推動(dòng)所述模切刀輥或所述模切動(dòng)力輥擠壓或釋放所述彈力件以相互靠近或遠(yuǎn)離。
15、可選地，所述模切刀在所述模切刀輥上可拆卸設(shè)置。
16、在本申請(qǐng)第二方面實(shí)施例中，提供一種貼膜方法，其包括以下步驟：
17、由預(yù)切割單元對(duì)設(shè)置有第一膜層、第二膜層和第三膜層的復(fù)合膜卷進(jìn)行預(yù)切割，以在其上形成貫穿第一膜層和第二膜層的切割痕，并在第一膜層表面形成第一區(qū)域以及位于所述第一區(qū)域中且互相隔離的第二區(qū)域；
18、由膜連接單元對(duì)第一膜層連續(xù)粘貼膠膜，以使所述第一區(qū)域與各所述第二區(qū)域恢復(fù)連接關(guān)系；
19、由放膜模塊將第一膜層及第二膜層上和所述第一區(qū)域正相對(duì)的區(qū)域與第二膜層其他區(qū)域和第三膜層剝離；
20、由壓膜模塊壓合第三膜層以使第二膜層上與所述第二區(qū)域正相對(duì)的部分區(qū)域粘接至工作臺(tái)上的晶圓表面；
21、由收膜模塊將第三膜層從第二膜層上撕離并回收、以及將第一膜層及部分第二膜層回收。
22、本申請(qǐng)實(shí)施例提供的貼膜裝置及貼膜方法，至少具有以下有益效果：
23、設(shè)置預(yù)切割單元以及膜連接單元，由預(yù)切割單元直接對(duì)處于傳送狀態(tài)的復(fù)合膜卷進(jìn)行模切，并由膜連接單元將被模切的復(fù)合膜卷表面粘接膠帶以恢復(fù)連接關(guān)系，如此，在后續(xù)膜層剝離時(shí)，膜層上被膠膜連接的不同區(qū)域能夠輕易被剝離且僅在復(fù)合膜卷上留下需要粘接至晶圓上的部分，在后續(xù)的貼膜作業(yè)過(guò)程中，由于膜層上僅留下需要粘接至晶圓上的部分，因此能夠避免其他膜層與承載晶圓的工作臺(tái)粘接而導(dǎo)致的留膠問(wèn)題，且作業(yè)結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，作業(yè)效率較高。
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1.一種貼膜裝置，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的貼膜裝置，其特征在于：所述膜連接單元包括架體和設(shè)置于所述架體上的放卷機(jī)構(gòu)、導(dǎo)膜機(jī)構(gòu)及推膜機(jī)構(gòu)；所述放卷機(jī)構(gòu)用于放送所述膠膜，所述導(dǎo)膜機(jī)構(gòu)用于傳送所述膠膜至所述推膜機(jī)構(gòu)，所述推膜機(jī)構(gòu)可擺動(dòng)設(shè)置于所述架體以推動(dòng)所述膠膜靠近所述復(fù)合膜卷?并粘貼連接于所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域。
3.如權(quán)利要求2所述的貼膜裝置，其特征在于：所述推膜機(jī)構(gòu)包括推膜輪和被設(shè)置為始終抵緊所述推膜輪的夾緊輪，所述膠膜穿設(shè)于所述夾緊輪與所述推膜輪之間的間隙并由所述推膜機(jī)構(gòu)推動(dòng)以粘接于所述復(fù)合膜卷的表面。
4.如權(quán)利要求3所述的貼膜裝置，其特征在于：所述推膜機(jī)構(gòu)包括擺動(dòng)設(shè)置于所述架體的第一擺桿，在所述架體上設(shè)置有氣缸，所述氣缸的活塞端與所述第一擺桿之間連接有連桿機(jī)構(gòu)；和/或，所述推膜機(jī)構(gòu)還包括擺動(dòng)設(shè)置于所述架體的第二擺桿，所述第二擺桿與所述架體之間連接有彈性件，所述夾緊輪設(shè)置于所述第二擺桿，所述彈性件用于使所述夾緊輪抵緊所述推膜輪。
5.如權(quán)利要求2所述的貼膜裝置，其特征在于：在所述推膜機(jī)構(gòu)上遠(yuǎn)離所述放卷機(jī)構(gòu)的
6.如權(quán)利要求1至5任一所述的貼膜裝置，其特征在于：所述預(yù)切割單元包括聯(lián)動(dòng)設(shè)置的模切動(dòng)力輥和由所述模切動(dòng)力輥驅(qū)動(dòng)的模切刀輥，在所述模切刀輥上沿周向成型有模切刀，所述復(fù)合膜卷穿設(shè)于所述模切動(dòng)力輥和所述模切刀輥。
7.如權(quán)利要求6所述的貼膜裝置，其特征在于：所述模切刀輥與所述模切動(dòng)力輥之間的間隙可調(diào)節(jié)設(shè)置。
8.如權(quán)利要求7所述的貼膜裝置，其特征在于：在所述模切刀輥與所述模切動(dòng)力輥之間連接有彈力件，在所述模切刀輥與所述模切動(dòng)力輥任意一者上遠(yuǎn)離另一者的一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)件，所述驅(qū)動(dòng)件用于推動(dòng)所述模切刀輥或所述模切動(dòng)力輥擠壓或釋放所述彈力件以相互靠近或遠(yuǎn)離。
9.如權(quán)利要求6所述的貼膜裝置，其特征在于：所述模切刀在所述模切刀輥上可拆卸設(shè)置。
10.一種貼膜方法，其特征在于，包括以下步驟：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種貼膜裝置，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的貼膜裝置，其特征在于：所述膜連接單元包括架體和設(shè)置于所述架體上的放卷機(jī)構(gòu)、導(dǎo)膜機(jī)構(gòu)及推膜機(jī)構(gòu)；所述放卷機(jī)構(gòu)用于放送所述膠膜，所述導(dǎo)膜機(jī)構(gòu)用于傳送所述膠膜至所述推膜機(jī)構(gòu)，所述推膜機(jī)構(gòu)可擺動(dòng)設(shè)置于所述架體以推動(dòng)所述膠膜靠近所述復(fù)合膜卷?并粘貼連接于所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域。
3.如權(quán)利要求2所述的貼膜裝置，其特征在于：所述推膜機(jī)構(gòu)包括推膜輪和被設(shè)置為始終抵緊所述推膜輪的夾緊輪，所述膠膜穿設(shè)于所述夾緊輪與所述推膜輪之間的間隙并由所述推膜機(jī)構(gòu)推動(dòng)以粘接于所述復(fù)合膜卷的表面。
4.如權(quán)利要求3所述的貼膜裝置，其特征在于：所述推膜機(jī)構(gòu)包括擺動(dòng)設(shè)置于所述架體的第一擺桿，在所述架體上設(shè)置有氣缸，所述氣缸的活塞端與所述第一擺桿之間連接有連桿機(jī)構(gòu)；和/或，所述推膜機(jī)構(gòu)還包括擺動(dòng)設(shè)置于所述架體的第二擺桿，所述第二擺桿與所述架體之間連接有彈性件，所述夾緊輪設(shè)置于所述第二擺桿，所述彈性件用于使所述夾緊輪抵緊所述推膜輪。
5.如權(quán)利要求2所述的貼膜裝置，其特征...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：楊善斌，范志平，王宇，蘇玫瑰，袁梓恒，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：廣東思沃先進(jìn)裝備有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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