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    一種單晶硅棒上料裝置及切段系統制造方法及圖紙

    技術編號:42144851 閱讀:18 留言:0更新日期:2024-07-27 00:00
    本發明專利技術公開了一種單晶硅棒上料裝置及切段系統,屬于物料運輸設備領域;本發明專利技術上料裝置中通過在輸送線一側設置側定位裝置使得運輸車與輸送線平行,之后通過兩個側鎖定機構卡在運輸車限位件上,限定運輸車的平行位置,避免車體轉動;運輸車平行停靠后,通過懸吊轉移裝置將運輸車上的硅棒吊起并橫向轉移至輸送線上;輸送線上設置線切割裝置,通過線切割裝置將硅棒切段。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及物料運輸設備領域,特別涉及一種單晶硅棒上料裝置及切段系統。


    技術介紹

    1、現有技術中硅片的制備工藝主要包括如下幾個步驟:硅原料的準備,熔爐的準備,熔化、引晶、長單晶硅,冷卻與檢驗,切段、切片、拋光。從熔爐中取出的硅棒溫度較高,需要放置在專門的運輸車上靜置冷卻,之后轉移至切段廠區進行切段、分級入庫。

    2、硅棒切段是指硅棒通過截斷機(也稱作切割機、切斷機等)將其切割成段的工藝過程。該過程中需要將硅棒從運輸車轉移至輸送線上,再通過輸送線將硅棒運輸至切段設備處進行切段作業。硅棒長度一般為3~4米,硅棒從運輸車轉移至輸送線上的過程中,由于運輸車擺放不正,硅棒被懸吊轉移裝置抓取吊起后會擺動,存在安全風險。


    技術實現思路

    1、本專利技術的目的在于提供一種單晶硅棒上料裝置及切段系統,至少解決現有技術中硅棒從運輸車轉移至輸送線上的過程中,由于運輸車擺放不正,硅棒被懸吊轉移裝置抓取吊起后會擺動的問題。

    2、本專利技術采用的技術方案如下:

    3、第一方面,本專利技術提供一種單晶硅棒上料裝置,包括輸送線、運輸車、定位裝置,所述定位裝置包括側定位裝置,所述側定位裝置包括導向板和側鎖定機構;所述導向板設置在第一基座上,并與輸送線平行設置;導向板的背面設有至少一個側鎖定機構;所述側鎖定機構包括鎖頭和第一升降機構,鎖頭向前延伸超過導向板;鎖頭通過第一升降機構驅動進行上下移動,鎖頭用于卡在運輸車側面的限位件上;所述輸送線包括底部的矩形支架,矩形支架底部設置車輪;矩形支架上表面通過立柱支撐兩根平行的橫向支撐桿,兩根橫向支撐桿之間設置多個m型的固定支撐架,固定支撐架中間形成v型槽;矩形支架朝向輸送線的一側突出于立柱,其上表面設有限位件;所述限位件的截面具有第一斜切面,第一斜切面上形成第一凹槽;第一斜切面背向輸送線;所述鎖頭由鎖本體和鎖舌組成,鎖本體上形成對應第一斜切面的倒梯形凸起,倒梯形凸起上形成有朝向輸送線的第二斜切面;鎖頭向下移動,鎖頭下表面的第二斜切面與限位件上的第一斜切接觸并疊壓在一起;鎖本體下表面設置凸出的鎖舌,鎖舌可以伸入限位件的第一凹槽內。

    4、在一種可能的設計中,所述第一升降機構包括第一升降驅動、第一導軌、第一支架;第一升降驅動設置在導向板的背面;第一升降驅動的活塞桿向上延伸,頂部安裝鎖頭;第一支架設置在第一升降驅動的后方;第一支架前側面豎向設置第一導軌,第一導軌上設置第一滑塊,鎖頭的后端與第一滑塊連接。

    5、一種可能的設計中,所述運輸車的矩形支架前側中部設置向前突出的第一導向輪,第一導向輪上方的兩根立柱之間設置定位橫桿。

    6、一種可能的設計中,所述定位裝置還包括端部定位裝置,端部定位裝置包括導向座、第二支架、緩沖器;導向座朝向運輸車的面上形成有v形導向槽;導向座的上方、通過第二支架安裝緩沖器,緩沖器朝向運輸車的立柱。

    7、一種可能的設計中,所述第二支架中間設有前鎖定機構,所述前鎖定機構包括轉動驅動和夾持臂;轉動驅動的驅動軸上安裝夾持臂,夾持臂向上旋轉夾持運輸車上的定位橫桿。

    8、一種可能的設計中,所述運輸車兩根橫向支撐桿之間還設有m型的升降支撐架,升降支撐架通過第二升降驅動升高或降低,升降支撐架與固定支撐架交替支撐硅棒。

    9、一種可能的設計中,所述輸送線的上料側平行設置兩個龍門架,兩個龍門架頂部設置可以橫向移動的移動軌道,移動軌道與輸送線平行設置;移動軌道兩側設置第二驅動電機,第二驅動電機的驅動軸上設置第一齒輪,兩個龍門架的兩個橫梁的相對面上各設置一根第一齒條,第一齒輪和第一齒條構成齒輪齒條機構;兩根橫梁的上表面各設置一根第二導軌,第二導軌上設置第二滑塊,移動軌道的兩端連接在第二滑塊上;移動軌道的底部設有截面為工字型的縱移軌道,縱移軌道上安裝可移動的電葫蘆,電葫蘆的吊鉤上連接硅棒吊運夾具。

    10、一種可能的設計中,所述輸送線采用滾輪輸送線,包括第一機架、滾輪架、滾輪驅動;第一機架上設置滾輪架,滾輪架上對稱設置兩排滾輪,兩排滾輪傾斜設置,兩排滾輪中間形成硅棒放置區;兩排滾輪各自配置滾輪驅動,滾輪驅動帶動每排滾輪中的部分滾輪或全部滾輪同步轉動。

    11、第二方面,本專利技術提供一種切段系統,包括上述任一所述的單晶硅棒上料裝置,還包括線切割裝置,所述線切割裝置包括門型升降架、線切割機,門型升降架內安裝可以上下移動的線切割機,線切割機中央形成有第一通道,線切割機的切割線經過第一通道;所述輸送線垂直穿過第一通道;硅棒通過輸送線輸送經過第一通道,第一通道內的切割線垂直切割輸送線上的硅棒。

    12、一種可能的設計中,所述輸送線末端設置轉運裝置,轉運裝置包括第一承接輸送機、升降旋轉輸送機、第二承接輸送機、回收車;第一承接輸送機安裝在輸送線末端,輸送線上切割后的硅棒首先輸送至第一承接輸送機,第一承接輸送機將硅棒輸送至升降旋轉輸送機上,升降旋轉輸送機升高至高于第一承接輸送機的位置,之后旋轉90°與第二承接輸送機對接,并將其上的硅棒輸送至第二承接輸送機上;第二承接輸送機與第一承接輸送機垂直設置,且第二承接輸送機的輸送面高度高于第一承接輸送機;升降旋轉輸送機的旁邊設置回收車,硅棒切段后頭部和尾部經第一承接輸送機和升降旋轉輸送機直接送回收車內臨時存儲。

    13、本專利技術的有益效果在于:本專利技術提供了一種單晶硅棒上料裝置及切段系統,通過在輸送線一側設置側定位裝置使得運輸車與輸送線平行,之后通過兩個側鎖定機構卡在運輸車限位件上,限定運輸車的平行位置,避免車體轉動;運輸車平行??亢?,通過懸吊轉移裝置將運輸車上的硅棒吊起并橫向轉移至輸送線上;輸送線上設置線切割裝置,通過線切割裝置將硅棒切段。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種單晶硅棒上料裝置,包括輸送線(1)、運輸車(2)、定位裝置,其特征在于,所述定位裝置包括側定位裝置(3),所述側定位裝置(3)包括導向板(301)和側鎖定機構;所述導向板(301)設置在第一基座(316)上,并與輸送線(1)平行設置;導向板(301)的背面設有至少一個側鎖定機構;所述側鎖定機構包括鎖頭(302)和第一升降機構(303),鎖頭(302)向前延伸超過導向板(301);鎖頭(302)通過第一升降機構(303)驅動進行上下移動,鎖頭(302)用于卡在運輸車(2)側面的限位件(206)上;所述輸送線(1)包括底部的矩形支架(201),矩形支架(201)底部設置車輪(204);矩形支架(201)上表面通過立柱(202)支撐兩根平行的橫向支撐桿(203),兩根橫向支撐桿(203)之間設置多個M型的固定支撐架(205),固定支撐架(205)中間形成V型槽;矩形支架(201)朝向輸送線(1)的一側突出于立柱(202),其上表面設有限位件(206);所述限位件(206)的截面具有第一斜切面(207),第一斜切面(207)上形成第一凹槽(208);第一斜切面(207)背向輸送線(1);所述鎖頭(302)由鎖本體(304)和鎖舌(305)組成,鎖本體(304)上形成對應第一斜切面(207)的倒梯形凸起(306),倒梯形凸起(306)上形成有朝向輸送線(1)的第二斜切面(307);鎖頭(302)向下移動,鎖頭(302)下表面的第二斜切面(307)與限位件(206)上的第一斜切接觸并疊壓在一起;鎖本體(304)下表面設置凸出的鎖舌(305),鎖舌(305)可以伸入限位件(206)的第一凹槽(208)內。

    2.根據權利要求1所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述第一升降機構(303)包括第一升降驅動(312)、第一導軌(313)、第一支架(314);第一升降驅動(312)設置在導向板(301)的背面;第一升降驅動(312)的活塞桿向上延伸,頂部安裝鎖頭(302);第一支架(314)設置在第一升降驅動(312)的后方;第一支架(314)前側面豎向設置第一導軌(313),第一導軌(313)上設置第一滑塊(317),鎖頭(302)的后端與第一滑塊(317)連接。

    3.根據權利要求1所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述運輸車(2)的矩形支架(201)前側中部設置向前突出的第一導向輪(209),第一導向輪(209)上方的兩根立柱(202)之間設置定位橫桿(210)。

    4.根據權利要求3所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述定位裝置還包括端部定位裝置(4),端部定位裝置(4)包括導向座(401)、第二支架(403)、緩沖器(404);導向座(401)朝向運輸車(2)的面上形成有V形導向槽(402);導向座(401)的上方、通過第二支架(403)安裝緩沖器(404),緩沖器(404)朝向運輸車(2)的立柱(202)。

    5.根據權利要求4所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述第二支架(403)中間設有前鎖定機構,所述前鎖定機構包括轉動驅動(405)和夾持臂(406);轉動驅動(405)的驅動軸上安裝夾持臂(406),夾持臂(406)向上旋轉夾持運輸車(2)上的定位橫桿(210)。

    6.根據權利要求1所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述運輸車(2)兩根橫向支撐桿(203)之間還設有M型的升降支撐架(211),升降支撐架(211)通過第二升降驅動升高或降低,升降支撐架(211)與固定支撐架(205)交替支撐硅棒。

    7.根據權利要求1所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述輸送線(1)的上料側平行設置兩個龍門架(501),兩個龍門架(501)頂部設置可以橫向移動的移動軌道(502),移動軌道(502)與輸送線(1)平行設置;移動軌道(502)兩側設置第二驅動電機(503),第二驅動電機(503)的驅動軸上設置第一齒輪(504),兩個龍門架(501)的兩個橫梁的相對面上各設置一根第一齒條(505),第一齒輪(504)和第一齒條(505)構成齒輪齒條機構;兩根橫梁的上表面各設置一根第二導軌(506),第二導軌(506)上設置第二滑塊(507),移動軌道(502)的兩端連接在第二滑塊(507)上;移動軌道(502)的底部設有截面為工字型的縱移軌道(508),縱移軌道(508)上安裝可移動的電葫蘆(509),電葫蘆(509)的吊鉤上連接硅棒吊運夾具(6)。

    8.根據權利要求1所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述輸送線(1)采用滾輪輸送線(1),包括第一機架(101)、滾輪架(102)、滾輪驅動;第一機架(101)上設置滾輪架(102),滾輪架(102)上對...

    【技術特征摘要】

    1.一種單晶硅棒上料裝置,包括輸送線(1)、運輸車(2)、定位裝置,其特征在于,所述定位裝置包括側定位裝置(3),所述側定位裝置(3)包括導向板(301)和側鎖定機構;所述導向板(301)設置在第一基座(316)上,并與輸送線(1)平行設置;導向板(301)的背面設有至少一個側鎖定機構;所述側鎖定機構包括鎖頭(302)和第一升降機構(303),鎖頭(302)向前延伸超過導向板(301);鎖頭(302)通過第一升降機構(303)驅動進行上下移動,鎖頭(302)用于卡在運輸車(2)側面的限位件(206)上;所述輸送線(1)包括底部的矩形支架(201),矩形支架(201)底部設置車輪(204);矩形支架(201)上表面通過立柱(202)支撐兩根平行的橫向支撐桿(203),兩根橫向支撐桿(203)之間設置多個m型的固定支撐架(205),固定支撐架(205)中間形成v型槽;矩形支架(201)朝向輸送線(1)的一側突出于立柱(202),其上表面設有限位件(206);所述限位件(206)的截面具有第一斜切面(207),第一斜切面(207)上形成第一凹槽(208);第一斜切面(207)背向輸送線(1);所述鎖頭(302)由鎖本體(304)和鎖舌(305)組成,鎖本體(304)上形成對應第一斜切面(207)的倒梯形凸起(306),倒梯形凸起(306)上形成有朝向輸送線(1)的第二斜切面(307);鎖頭(302)向下移動,鎖頭(302)下表面的第二斜切面(307)與限位件(206)上的第一斜切接觸并疊壓在一起;鎖本體(304)下表面設置凸出的鎖舌(305),鎖舌(305)可以伸入限位件(206)的第一凹槽(208)內。

    2.根據權利要求1所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述第一升降機構(303)包括第一升降驅動(312)、第一導軌(313)、第一支架(314);第一升降驅動(312)設置在導向板(301)的背面;第一升降驅動(312)的活塞桿向上延伸,頂部安裝鎖頭(302);第一支架(314)設置在第一升降驅動(312)的后方;第一支架(314)前側面豎向設置第一導軌(313),第一導軌(313)上設置第一滑塊(317),鎖頭(302)的后端與第一滑塊(317)連接。

    3.根據權利要求1所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述運輸車(2)的矩形支架(201)前側中部設置向前突出的第一導向輪(209),第一導向輪(209)上方的兩根立柱(202)之間設置定位橫桿(210)。

    4.根據權利要求3所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述定位裝置還包括端部定位裝置(4),端部定位裝置(4)包括導向座(401)、第二支架(403)、緩沖器(404);導向座(401)朝向運輸車(2)的面上形成有v形導向槽(402);導向座(401)的上方、通過第二支架(403)安裝緩沖器(404),緩沖器(404)朝向運輸車(2)的立柱(202)。

    5.根據權利要求4所述的單晶硅棒上料裝置,其特征在于,所述第二支架(403)中間設有前鎖定機構,所述前鎖定機構包括轉動驅動(405)和夾持臂(406);轉動驅動(405)的驅動軸上安裝夾持臂(406),夾持臂(40...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:孫鵬程,周琳于永波,楊浩楠,王磊,陳輝戴小康,
    申請(專利權)人:雙良晶硅新材料包頭有限公司,
    類型:發明
    國別省市:

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