【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體產品加工設備，尤其涉及一種柔性產品貼膠背膜分離裝置及fof邦定機。
技術介紹
1、軟膜對軟膜（fof）邦定中，一種常見的工藝是將異方性導電膠膜（acf）與覆晶薄膜（cof）貼敷連接。acf由背膜和設于背膜上的專用膠組成。貼敷時，cof置于下壓頭上，acf置于cof上且專用膠朝下，然后通過上壓頭下壓將acf的專用膠貼敷在cof上，隨后通過分離機構將背膜從專用膠上分離。但由于cof柔軟的特性，無法像玻璃一樣保持固定的形狀，所以在分離機構將背膜拔起時，容易連帶cof一同拔起，導致分離失敗，并且也容易導致cof的引線受損。
2、現有技術中，一般在下壓頭上設置負壓孔，希望通過負壓吸附固定cof，但由于分離結構是從邊角處開始撥離acf，而柔性產品建立的負壓區很容易從邊角處被破壞，所以這種方式仍然容易導致cof的連帶拔起。
技術實現思路
1、為克服現有acf背膜分離機構存在的容易將cof連帶拔起的技術缺陷，本專利技術提供了一種柔性產品貼膠背膜分離裝置及fof邦定機。
2、本專利技術提供的柔性產品貼膠背膜分離裝置，包括：
3、機架，其固定設置；
4、下壓頭，其固定于所述機架上，所述下壓頭設有若干延伸至其頂面的吸附孔，所有吸附孔形成帶狀的吸附區，所述吸附區的長度方向沿x向布置，且所述下壓頭的頂面預留有位于所述吸附區y向一側的空區；
5、分離機構，其包括移動塊，所述移動塊安裝在所述機架上且能沿x向滑動，所述移動塊上安裝有y
6、可選的，所有吹氣孔劃分為兩部分，其中一部分吹氣孔設為沿z向布置的直孔，另一部分吹氣孔設為斜孔且所述斜孔的底端向后傾斜。
7、可選的，所有吹氣孔排成沿x向分布的一列，所述直孔設有多個，所述斜孔設有一個且位于多個直孔的前側。
8、可選的，所有吸附孔排成兩列，每列吸附孔皆沿x向分布，兩列吸附孔錯位分布。
9、可選的，所述剝離軸上轉動套接有滾筒，所述滾筒的外圓面上開設有用以容置背膜的環形槽。
10、可選的，所述移動塊還設有導向軸，所述導向軸位于所述剝離軸的前側下方。
11、可選的，所述移動塊包括用于連接機架的連接部，所述剝離軸的一端轉動安裝在所述連接部上，所述剝離軸的前側設有安裝部，所述安裝部遠離所述連接部的一端下部向后延伸形成支撐部，所述剝離軸的另一端搭接在所述支撐部上，所述導向軸的兩端分別連接在所述連接部和支撐部上，所述吹氣孔延伸至所述支撐部的底面。
12、可選的，所述分離機構還包括x向直線驅動副，所述x向直線驅動副的固定部相對所述機架固定，所述x向直線驅動副的移動部與所述移動塊連接。
13、本專利技術提供的柔性產品貼膠背膜分離裝置具有如下優點：
14、本專利技術提供的柔性產品貼膠背膜分離裝置，使用時將cof放置在下壓頭上，并使待貼敷acf的部分對應吸附區且不需貼敷acf的部分對應空區，通過下壓頭上的吸附區能夠在一定程度上將cof對應部分吸附固定，同時在移動塊上設有吹氣孔，吹氣孔向置于空區內的cof對應部分吹氣，能夠進一步使cof貼緊下壓頭。本裝置通過吸附和吹氣兩方面配合，能夠在分離機構剝離背膜時，有效避免背膜被連帶拔起，從而保證分離成功，也避免因cof彎折導致的引線受損。
15、本專利技術提供的fof邦定機，包括前述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，具有前述優點。
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1.一種柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所有吹氣孔（33）劃分為兩部分，其中一部分吹氣孔（33）設為沿Z向布置的直孔（331），另一部分吹氣孔（33）設為斜孔（332）且所述斜孔（332）的底端向后傾斜。
3.根據權利要求2所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所有吹氣孔（33）排成沿X向分布的一列，所述直孔（331）設有多個，所述斜孔（332）設有一個且位于多個直孔（331）的前側。
4.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所有吸附孔排成兩列，每列吸附孔皆沿X向分布，兩列吸附孔錯位分布。
5.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所述剝離軸（32）上轉動套接有滾筒（34），所述滾筒（34）的外圓面上開設有用以容置背膜（600）的環形槽（341）。
6.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所述移動塊（31）還設有導向軸（35），所述導向軸（35）位于所述剝離軸（32）的前側下方
7.根據權利要求6所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所述移動塊（31）包括用于連接機架（1）的連接部（311），所述剝離軸（32）的一端轉動安裝在所述連接部（311）上，所述剝離軸（32）的前側設有安裝部（312），所述安裝部（312）遠離所述連接部（311）的一端下部向后延伸形成支撐部（313），所述剝離軸（32）的另一端搭接在所述支撐部（313）上，所述導向軸（35）的兩端分別連接在所述連接部（311）和支撐部（313）上，所述吹氣孔（33）延伸至所述支撐部（313）的底面。
8.根據權利要求1至7任一項所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所述分離機構（3）還包括X向直線驅動副（36），所述X向直線驅動副（36）的固定部相對所述機架（1）固定，所述X向直線驅動副（36）的移動部與所述移動塊（31）連接。
9.一種FOF邦定機，其特征在于，包括權利要求1至8任一項所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所有吹氣孔（33）劃分為兩部分，其中一部分吹氣孔（33）設為沿z向布置的直孔（331），另一部分吹氣孔（33）設為斜孔（332）且所述斜孔（332）的底端向后傾斜。
3.根據權利要求2所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所有吹氣孔（33）排成沿x向分布的一列，所述直孔（331）設有多個，所述斜孔（332）設有一個且位于多個直孔（331）的前側。
4.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所有吸附孔排成兩列，每列吸附孔皆沿x向分布，兩列吸附孔錯位分布。
5.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所述剝離軸（32）上轉動套接有滾筒（34），所述滾筒（34）的外圓面上開設有用以容置背膜（600）的環形槽（341）。
6.根據權利要求1所述的柔性產品貼膠背膜分離裝置，其特征在于，所述移動塊（31）還設有導...
【專利技術屬性】
技術研發人員：潘強強，任世偉，趙東鈺，李少陽，高小飛，劉玉成，程永勝，趙瑩，郭麗，賈向峰，
申請(專利權)人：中電科風華信息裝備股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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