【技術實現步驟摘要】
本技術涉及吹掃裝置，具體為一種間歇式晶圓吹掃裝置。
技術介紹
1、晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，硅晶圓和硅太陽能電池分別是半導體材料和半導體器件的典型代表，半導體特性參數衡量和表征材料及其器件的性能，由于載流子是半導體材料及器件的功能載體，載流子移動形成電流及電場，同時載流子具有發光、熱輻射等特性，因此載流子參數是表征半導體材料及器件載流子輸運特性的基礎，即載流子參數是硅晶圓和硅太陽能電池特性參數的重要組成部分，當硅晶圓經過加工、制造形成硅太陽能電池后，由于pn結和費米能級的差異，導致載流子分離形成電壓，進而有飽和電流、填充因子和光電轉化效率等電性能參數直觀反映并影響太陽能電池伏安特性，綜上分析，硅晶圓的主要特性參數包括載流子參數；
2、目前的晶圓吹掃裝置在對加工后的晶圓進行清理時，由于晶圓加工后導致表面附著較多粉塵及雜物，吹掃裝置通常持續對元件上方進行吹掃清理，在持續的工程中會造成粉塵在空中漂浮待吹掃停止后再次掉落附著于工件上方，造成吹掃清理效率較低，同時對其能源消耗較大。
3、鑒于此，我們提出一種間歇式晶圓吹掃裝置。
技術實現思路
1、為了彌補以上不足，本技術提供了一種間歇式晶圓吹掃裝置。
2、本技術的技術方案是：
3、一種間歇式晶圓吹掃裝置，包括間歇式晶圓吹掃裝置主體，所述間歇式晶圓吹掃裝置主體的前端固定安裝有吹掃組件，所述吹掃組件的后端固定安裝有風機，所述風機的輸出端固定安裝有第一吹掃器，所述第一吹掃器的外側安裝有安裝
4、作為優選的技術方案，所述間歇控制器的下方安裝有安裝組件，所述安裝組件的側面安裝有電機。
5、作為優選的技術方案，所述電機的側面安裝限位側板，所述限位側板的內側安裝有傳送帶，所述傳送帶的上方開設有傳送帶，所述傳送帶的上方安裝有第一晶圓安裝槽，所述第一晶圓安裝槽的右側安裝有第二晶圓安裝槽。
6、作為優選的技術方案，所述第二晶圓安裝槽的下方安裝有運輸板，所述運輸板的外側固定安裝有前防護板，所述前防護板的下方開設有安裝座。
7、作為優選的技術方案，所述安裝座的側面安裝有擋塵板，所述擋塵板的后端開設有第一安裝槽。
8、作為優選的技術方案，所述第一安裝槽的下方安裝有支撐架，所述支撐架的側面開設有連接板。
9、作為優選的技術方案，所述支撐架的下方固定安裝有第一墊塊，所述第一墊塊的側面開設有第二墊塊。
10、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
11、1、本技術通過在吹掃組件的后端固定安裝有風機，風機的輸出端固定安裝有第一吹掃器，第一吹掃器的外側安裝有安裝板，安裝板的下方安裝有吹掃清理區，吹掃清理區的前端安裝有第二吹掃器，第二吹掃器的輸入端開設有間歇控制器，通過風機供給風力由連接管道傳輸至第一吹掃器及第二吹掃器，對吹掃清理區下方的晶圓進行清理，在清理的過程中間歇控制器控制吹掃器進行間歇式吹掃，使其在吹掃的過程中更加節能，且在間歇后的吹掃力度更大，更高效，以便于粉塵有掉落時間，避免粉塵漂浮造成清理效率較低。
12、2、本技術通過在安裝組件，安裝組件的側面安裝有電機，電機的側面安裝限位側板，限位側板的內側安裝有傳送帶，傳送帶的上方開設有傳送帶，傳送帶的上方安裝有第一晶圓安裝槽，第一晶圓安裝槽的右側安裝有第二晶圓安裝槽，通過電機帶動傳送帶進行移動，將第一晶圓安裝槽及第二晶圓安裝槽上方安裝的晶圓帶動至吹掃清理區進行清理，待清理完成后將其帶動至收納區，以便于進行下料，同時限位側板避免晶圓掉落。
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1.一種間歇式晶圓吹掃裝置，包括間歇式晶圓吹掃裝置主體（1），其特征在于：所述間歇式晶圓吹掃裝置主體（1）的前端固定安裝有吹掃組件（2），所述吹掃組件（2）的后端固定安裝有風機（26），所述風機（26）的輸出端固定安裝有第一吹掃器（21），所述第一吹掃器（21）的外側安裝有安裝板（22），所述安裝板（22）的下方安裝有吹掃清理區（25），所述吹掃清理區（25）的前端安裝有第二吹掃器（24），所述第二吹掃器（24）的輸入端開設有間歇控制器（23）。
2.如權利要求1所述的一種間歇式晶圓吹掃裝置，其特征在于：所述間歇控制器（23）的下方安裝有安裝組件（3），所述安裝組件（3）的側面安裝有電機（31）。
3.如權利要求2所述的一種間歇式晶圓吹掃裝置，其特征在于：所述電機（31）的側面安裝限位側板（33），所述限位側板（33）的內側安裝有傳送帶（35），所述傳送帶（35）的上方開設有傳送帶（35），所述傳送帶（35）的上方安裝有第一晶圓安裝槽（34），所述第一晶圓安裝槽（34）的右側安裝有第二晶圓安裝槽（36）。
4.如權利要求3所述的一種間歇式晶圓吹
5.如權利要求4所述的一種間歇式晶圓吹掃裝置，其特征在于：所述安裝座（13）的側面安裝有擋塵板（14），所述擋塵板（14）的后端開設有第一安裝槽（11）。
6.如權利要求5所述的一種間歇式晶圓吹掃裝置，其特征在于：所述第一安裝槽（11）的下方安裝有支撐架（15），所述支撐架（15）的側面開設有連接板（18）。
7.如權利要求6所述的一種間歇式晶圓吹掃裝置，其特征在于：所述支撐架（15）的下方固定安裝有第一墊塊（16），所述第一墊塊（16）的側面開設有第二墊塊（17）。
...【技術特征摘要】
1.一種間歇式晶圓吹掃裝置，包括間歇式晶圓吹掃裝置主體（1），其特征在于：所述間歇式晶圓吹掃裝置主體（1）的前端固定安裝有吹掃組件（2），所述吹掃組件（2）的后端固定安裝有風機（26），所述風機（26）的輸出端固定安裝有第一吹掃器（21），所述第一吹掃器（21）的外側安裝有安裝板（22），所述安裝板（22）的下方安裝有吹掃清理區（25），所述吹掃清理區（25）的前端安裝有第二吹掃器（24），所述第二吹掃器（24）的輸入端開設有間歇控制器（23）。
2.如權利要求1所述的一種間歇式晶圓吹掃裝置，其特征在于：所述間歇控制器（23）的下方安裝有安裝組件（3），所述安裝組件（3）的側面安裝有電機（31）。
3.如權利要求2所述的一種間歇式晶圓吹掃裝置，其特征在于：所述電機（31）的側面安裝限位側板（33），所述限位側板（33）的內側安裝有傳送帶（35），所述傳送帶（35）的上方開設有傳送帶（35），所述傳送帶（3...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陸先鋒，
申請(專利權)人：無錫頌林達科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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