【技術實現步驟摘要】
本技術涉及承載裝置，具體為一種晶圓吹掃用承載盒。
技術介紹
1、晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時加工1片或多片晶圓，隨著半導體特征尺寸越來越小，加工及測量設備越來越先進，使得晶圓加工出現了新的數據特點，同時，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時，空氣中的顆粒數對晶圓加工后質量及可靠性的影響增大，當硅晶圓經過加工、制造形成硅太陽能電池后，由于pn結和費米能級的差異，導致載流子分離形成電壓，進而有飽和電流、填充因子和光電轉化效率等電性能參數直觀反映并影響太陽能電池伏安特性，載流子壽命是反映材料和器件缺陷濃度的重要參數，也是衡量器件開關速度、電流增益、電壓等特性的重要指標，同時對半導體激光器、光電探測器以及太陽能電池等光電子器件的電光和光電轉化效率起到重要作用；
2、目前在晶圓加工完成后，需要對其進行吹掃清理，在其吹掃的過程中，需要將晶圓進行固定，但是其固定元件容易對晶圓表面造成劃傷，對后續的加工造成不便，且在對吹掃完成或待加工的晶圓進行放取時較為不便。
3、鑒于此，我們提出一種晶圓吹掃用承載盒。
技術實現思路
1、為了彌補以上不足，本技術提供了一種晶圓吹掃用承載盒。
2、本技術的技術方案是：
3、一種晶圓吹掃用承載盒，包括晶圓吹掃用承載盒主體，所述晶圓吹掃用承載盒主體的內部安裝有承載組件，所述承載組件的上方固定安裝有工作臺，所述工作臺的上方安裝有過濾板，所述過濾板的上方右側固定安裝有第二固定器，所
4、作為優選的技術方案，所述工作臺的側面開設有安裝孔，所述安裝孔的外側安裝有防護組件。
5、作為優選的技術方案，所述防護組件的下方安裝有安裝框，所述安裝框的下方安裝有安裝帶，所述安裝帶的內部開設有調節槽，所述調節槽的內部安裝有第一調節柱，所述第一調節柱的前端安裝有推出槽。
6、作為優選的技術方案，所述推出槽的內部安裝有擋塵板，所述擋塵板的上方安裝有安裝板，所述安裝板的上方開設有觀察板。
7、作為優選的技術方案，所述觀察板的下方固定安裝有第一防護板，所述第一防護板的下方固定安裝有安裝座。
8、作為優選的技術方案，所述安裝座的上方開設有第一連接孔，所述第一連接孔的上方開設有第一吹掃連接孔。
9、作為優選的技術方案，所述第一吹掃連接孔的側面安裝有第二防護板，所述第二防護板的側面開設有第二吹掃連接孔，所述第二吹掃連接孔的下方開設有底板。
10、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
11、1、本技術通過在承載組件的上方固定安裝有工作臺，工作臺的上方安裝有過濾板，過濾板的上方右側固定安裝有第二固定器，第二固定器的左側安裝有第一固定器，第一固定器的下方固定安裝有伸縮柱，伸縮柱的末端開設有橡膠固定板，通過工作臺對過濾板進行安裝，將吹掃的雜物及粉塵進行收集，同時第一固定器及第二固定器對下方放置晶圓及晶圓放置板進行固定，其內部伸縮柱帶動橡膠固定板進行擠壓對晶圓進行擠壓固定，不易對其晶圓表面造成劃傷，以便于對晶圓進行吹掃清理。
12、2、本技術通過在防護組件的下方安裝有安裝框，安裝框的下方安裝有安裝帶，安裝帶的內部開設有調節槽，調節槽的內部安裝有第一調節柱，第一調節柱的前端安裝有推出槽，推出槽的內部安裝有擋塵板，通過第一調節柱與工作臺側面安裝孔進行連接，帶動第一調節柱于安裝框下方調節槽內部向右側進行移動，帶動工作臺于側面推出槽進行推出，以便于對晶圓進行取放。
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1.一種晶圓吹掃用承載盒，包括晶圓吹掃用承載盒主體（1），其特征在于：所述晶圓吹掃用承載盒主體（1）的內部安裝有承載組件（2），所述承載組件（2）的上方固定安裝有工作臺（21），所述工作臺（21）的上方安裝有過濾板（26），所述過濾板（26）的上方右側固定安裝有第二固定器（25），所述第二固定器（25）的左側安裝有第一固定器（22），所述第一固定器（22）的下方固定安裝有伸縮柱（23），所述伸縮柱（23）的末端開設有橡膠固定板（24）。
2.如權利要求1所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述工作臺（21）的側面開設有安裝孔（27），所述安裝孔（27）的外側安裝有防護組件（3）。
3.如權利要求2所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述防護組件（3）的下方安裝有安裝框（33），所述安裝框（33）的下方安裝有安裝帶（34），所述安裝帶（34）的內部開設有調節槽（32），所述調節槽（32）的內部安裝有第一調節柱（31），所述第一調節柱（31）的前端安裝有推出槽（35）。
4.如權利要求3所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述推出槽（3
5.如權利要求4所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述觀察板（12）的下方固定安裝有第一防護板（15），所述第一防護板（15）的下方固定安裝有安裝座（13）。
6.如權利要求5所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述安裝座（13）的上方開設有第一連接孔（14），所述第一連接孔（14）的上方開設有第一吹掃連接孔（16）。
7.如權利要求6所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述第一吹掃連接孔（16）的側面安裝有第二防護板（17），所述第二防護板（17）的側面開設有第二吹掃連接孔（18），所述第二吹掃連接孔（18）的下方開設有底板（19）。
...【技術特征摘要】
1.一種晶圓吹掃用承載盒，包括晶圓吹掃用承載盒主體（1），其特征在于：所述晶圓吹掃用承載盒主體（1）的內部安裝有承載組件（2），所述承載組件（2）的上方固定安裝有工作臺（21），所述工作臺（21）的上方安裝有過濾板（26），所述過濾板（26）的上方右側固定安裝有第二固定器（25），所述第二固定器（25）的左側安裝有第一固定器（22），所述第一固定器（22）的下方固定安裝有伸縮柱（23），所述伸縮柱（23）的末端開設有橡膠固定板（24）。
2.如權利要求1所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述工作臺（21）的側面開設有安裝孔（27），所述安裝孔（27）的外側安裝有防護組件（3）。
3.如權利要求2所述的一種晶圓吹掃用承載盒，其特征在于：所述防護組件（3）的下方安裝有安裝框（33），所述安裝框（33）的下方安裝有安裝帶（34），所述安裝帶（34）的內部開設有調節槽（32），所述調節槽（32）的內部安裝有第一調節柱（31...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陸先鋒，
申請(專利權)人：無錫頌林達科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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