【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及晶圓加工領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓加工的磨邊機(jī)。
技術(shù)介紹
1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。在對圓晶的加工時，需要使用磨邊機(jī)對圓晶的側(cè)邊進(jìn)行打磨。
2、經(jīng)檢索，申請?zhí)枮椤?02222234131.9”，提供了一種用于半導(dǎo)體晶圓加工的磨邊機(jī)，最后水泵通過抽水管開始從水槽里抽水，從水管噴向磨邊的半導(dǎo)體晶圓上，達(dá)到降溫除屑的效果，落下的水重新回到水槽，循環(huán)使用，節(jié)約環(huán)保，最后磨邊結(jié)束后第一伸縮桿繼續(xù)帶動第一吸盤及半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)動到進(jìn)料臺中，磨邊過程結(jié)束。
3、上述通過排出的水流對圓晶的降溫，并時碎屑落入到水槽中，但這種結(jié)構(gòu)在對圓晶進(jìn)行磨邊時，生產(chǎn)的碎屑會向四周飛濺，部分會被水流沖落下來，飛濺的碎屑容易打到工作人員身上，危害工作人員的身心健康，存在安全隱患。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)中對圓晶磨邊時產(chǎn)生的碎屑，飛濺出來容易損傷到工作人員身心健康的不足，本技術(shù)的目的之一在于提供一種晶圓加工的磨邊機(jī)。
2、本技術(shù)的目的之一采用如下技術(shù)方案實現(xiàn)：一種晶圓加工的磨邊機(jī)，包括底板：所述底板右端的上側(cè)固定連接有防護(hù)罩，所述防護(hù)罩的左側(cè)為敞口設(shè)置，所述防護(hù)罩的右側(cè)固定連接有電機(jī)一，所述電機(jī)一的輸出端固定連接有磨邊盤，所述底板的上側(cè)開設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動連接有螺桿，所述底板的上側(cè)設(shè)置有放置單元；
3、所述放置單元包括滑板，所述滑板滑動連接在滑槽
4、根據(jù)所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，所述支撐板的上側(cè)開設(shè)有圓孔，所述固定架的上側(cè)固定連接有水泵，所述水泵的輸出端固定連接還有出水管。便于出水管對水對圓晶與磨邊盤進(jìn)行降溫。
5、根據(jù)所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，所述出水槽的前側(cè)固定連接有排水管。便于將水槽中的水排出。
6、根據(jù)所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，所述螺桿與滑板螺紋連接，所述底板的左側(cè)固定連接有電機(jī)二，所述電機(jī)二的輸出端與螺桿的外端固定連接。便于控制螺桿轉(zhuǎn)動。
7、根據(jù)所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，所述防護(hù)罩的前側(cè)設(shè)置有觀察窗。
8、根據(jù)所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，所述蓋板與防護(hù)罩的左側(cè)敞口適配。
9、有益效果：
10、通過設(shè)置有滑槽、滑板、水槽、支撐板、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)盤、吸盤一、吸盤二與防護(hù)罩，便于對磨邊盤對圓晶進(jìn)行磨邊時，通過防護(hù)罩與蓋板，對磨邊產(chǎn)生的碎屑被阻擋住，避免碎屑飛濺出來危害工作人員的身心健康。
11、本技術(shù)的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本技術(shù)的實踐了解到。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，包括底板(1)：所述底板(1)右端的上側(cè)固定連接有防護(hù)罩(2)，所述防護(hù)罩(2)的左側(cè)為敞口設(shè)置，所述防護(hù)罩(2)的右側(cè)固定連接有電機(jī)一(3)，所述電機(jī)一(3)的輸出端固定連接有磨邊盤(4)，所述底板(1)的上側(cè)開設(shè)有滑槽(5)，所述滑槽(5)的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動連接有螺桿(8)，所述底板(1)的上側(cè)設(shè)置有放置單元(7)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，所述支撐板(703)的上側(cè)開設(shè)有圓孔，所述固定架(709)的上側(cè)固定連接有水泵(714)，所述水泵(714)的輸出端固定連接還有出水管(715)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，所述水槽(702)的前側(cè)固定連接有排水管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，所述螺桿(8)與滑板(701)螺紋連接，所述底板(1)的左側(cè)固定連接有電機(jī)二(6)，所述電機(jī)二(6)的輸出端與螺桿(8)的外端固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，所述防護(hù)罩(2)的前側(cè)設(shè)置有觀
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，所述蓋板(708)與防護(hù)罩(2)的左側(cè)敞口適配。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，包括底板(1)：所述底板(1)右端的上側(cè)固定連接有防護(hù)罩(2)，所述防護(hù)罩(2)的左側(cè)為敞口設(shè)置，所述防護(hù)罩(2)的右側(cè)固定連接有電機(jī)一(3)，所述電機(jī)一(3)的輸出端固定連接有磨邊盤(4)，所述底板(1)的上側(cè)開設(shè)有滑槽(5)，所述滑槽(5)的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動連接有螺桿(8)，所述底板(1)的上側(cè)設(shè)置有放置單元(7)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工的磨邊機(jī)，其特征在于，所述支撐板(703)的上側(cè)開設(shè)有圓孔，所述固定架(709)的上側(cè)固定連接有水泵(714)，所述水泵(714)的輸出端固定連接還有出水管(...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳亮，金玉鑫，孫宇，
申請(專利權(quán))人：陳亮，
類型：新型
國別省市：
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