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    一種基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng)技術(shù)方案

    技術(shù)編號:42343214 閱讀:16 留言:0更新日期:2024-08-16 14:29
    一種基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),包括照明模塊、輔助定位模塊、切換模塊、分析模塊以及物鏡,照明模塊用于進(jìn)行明場成像;輔助定位模塊包括焦點輔助激光器、相機和反射鏡組,反射鏡組用于將焦點輔助激光器發(fā)出的激光反射到樣品上、以及收集樣品反射的光到相機上成像;切換模塊包括可以進(jìn)行互相切換的成像檔位和分析檔位,成像檔位用于輔助定位模塊進(jìn)行成像;分析模塊包括脈沖激光器以及光譜儀,用于在切換模塊為分析檔位時,根據(jù)輔助定位模塊以及照明模塊的成像對樣品進(jìn)行光譜分析;物鏡用于設(shè)置在樣品前。本申請?zhí)峁┑南到y(tǒng),通過輔助定位模塊進(jìn)行精準(zhǔn)定位和調(diào)焦,具有定位準(zhǔn)確度高,對焦精度高等優(yōu)勢。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    【】本申請涉及樣品檢測領(lǐng)域,特別涉及一種基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng)。


    技術(shù)介紹

    0、
    技術(shù)介紹

    1、激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)(laser?induced?breakdown?spectroscopy,libs)是一種通過脈沖激光與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生等離子體,并通過分析等離子體中的光譜來實現(xiàn)對待測物質(zhì)進(jìn)行定性和定量分析的方法。libs技術(shù)目前正處于快速發(fā)展階段,相較于其他物質(zhì)判別技術(shù),它具有快速、無接觸測量的優(yōu)點,因此其應(yīng)用領(lǐng)域也在逐步擴(kuò)大。但是現(xiàn)有的libs設(shè)備中,沒有采用光學(xué)準(zhǔn)確定位方法,無法做到單點識別所需要識別待測物質(zhì)位置,其次,如果待檢測樣品的表面凹凸不平,沒有光學(xué)準(zhǔn)確的定位方法的情況時,對樣品調(diào)焦精度也不夠高,無法對樣品進(jìn)行更加準(zhǔn)確的分析。

    2、因此,有必要對現(xiàn)有技術(shù)予以改良以克服現(xiàn)有技術(shù)中的所述缺陷。


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    0、
    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、本申請的目的在于提供一種基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),通過輔助定位模塊進(jìn)行精準(zhǔn)定位和調(diào)焦,具有定位準(zhǔn)確度高,對焦精度高等優(yōu)勢。

    2、本申請的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):一種基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),包括:照明模塊,用于進(jìn)行明場成像;

    3、輔助定位模塊,包括焦點輔助激光器、相機和反射鏡組,所述反射鏡組用于將所述焦點輔助激光器發(fā)出的激光反射到樣品上、以及收集樣品反射的光到相機上成像;

    4、切換模塊,包括可以進(jìn)行互相切換的成像檔位和分析檔位,所述成像檔位用于輔助定位模塊進(jìn)行成像;

    5、分析模塊,包括脈沖激光器以及光譜儀,用于在切換模塊為所述分析檔位時,根據(jù)輔助定位模塊以及照明模塊的成像對樣品進(jìn)行光譜分析;以及,

    6、物鏡,用于設(shè)置在樣品前。

    7、進(jìn)一步地,所述切換模塊包括可活動設(shè)置的第一反射鏡,所述第一反射鏡具有位于成像檔位的第一位置和分析檔位的第二位置;

    8、其中,在所述第一反射鏡位于所述第二位置時用于反射樣品反射的光至分析模塊。

    9、進(jìn)一步地,所述切換模塊還包括底座和推拉機構(gòu),所述第一反射鏡在所述底座上可移動設(shè)置,所述推拉結(jié)構(gòu)與所述第一反射鏡連接,所述推拉結(jié)構(gòu)推動所述第一反射鏡在所述第一位置和所述第二位置之間來回移動。

    10、進(jìn)一步地,所述分析模塊包括:

    11、透鏡組,用于將所述脈沖激光器中射出的平行激光擴(kuò)束并且準(zhǔn)直;

    12、第四反射鏡,用于反射所述透鏡組射出的光;以及,

    13、濾光片,設(shè)置為反射所述第四反射鏡射出的光以及濾掉所述第一反射鏡反射的光。

    14、進(jìn)一步地,所述透鏡組設(shè)置為使所述脈沖激光器發(fā)出的激光擴(kuò)束至與所述物鏡的入瞳直徑相同。

    15、進(jìn)一步地,所述透鏡組包括同軸設(shè)置的第一透鏡和第二透鏡。

    16、進(jìn)一步地,所述分析模塊還包括耦合透鏡,所述耦合透鏡用于通過所述濾光片的光耦合進(jìn)所述光譜儀的光纖中。

    17、進(jìn)一步地,所述耦合透鏡的焦距為50-100mm。

    18、進(jìn)一步地,所述輔助定位模塊還包括管鏡,所述管鏡設(shè)置在所述相機的平行光路上。

    19、進(jìn)一步地,所述照明模塊包括落射式照明模塊。

    20、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本申請具有如下有益效果:當(dāng)需要對待測物品進(jìn)行光學(xué)檢測時,照明模塊和輔助定位模塊同時進(jìn)行工作,通過焦點輔助激光器發(fā)射的激光、反射鏡組和物鏡在樣品上找到待測點,樣品反射的光反射到相機上成像,此時切換模塊處于成像檔位,幫助輔助定位模塊找到待測點和調(diào)焦,當(dāng)焦點輔助激光器發(fā)出的激光焦點在相機上成像最小時,即為樣品的焦面位置。然后切換模塊切換至分析檔位,分析模塊開始工作,脈沖激光器將激光發(fā)射至通過輔助定位模塊和照明模塊找到的樣品焦面位置,然后通過樣品表面激發(fā)的等離子體發(fā)射光譜至光譜儀中進(jìn)行光學(xué)分析。本申請?zhí)岢龅南到y(tǒng),能夠隨意選擇待測點位置進(jìn)行單點識別,同時具有更高的定位準(zhǔn)確度和對焦精度。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點】

    1.一種基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,包括:

    2.如權(quán)利要求1所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述切換模塊包括可活動設(shè)置的第一反射鏡,所述第一反射鏡具有位于成像檔位的第一位置和分析檔位的第二位置;

    3.如權(quán)利要求2所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述切換模塊還包括底座和推拉結(jié)構(gòu),所述第一反射鏡在所述底座上可移動設(shè)置,所述推拉結(jié)構(gòu)與所述第一反射鏡連接,所述推拉結(jié)構(gòu)推動所述第一反射鏡在所述第一位置和所述第二位置之間來回移動。

    4.如權(quán)利要求2所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述分析模塊包括:

    5.如權(quán)利要求4所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述透鏡組設(shè)置為使所述脈沖激光器發(fā)出的激光擴(kuò)束至與所述物鏡的入瞳直徑相同。

    6.如權(quán)利要求5所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述透鏡組包括同軸設(shè)置的第一透鏡和第二透鏡。

    7.如權(quán)利要求4所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述分析模塊還包括耦合透鏡,所述耦合透鏡用于通過所述濾光片的光耦合進(jìn)所述光譜儀的光纖中。

    8.如權(quán)利要求7所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述耦合透鏡的焦距為50-100mm。

    9.如權(quán)利要求2所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述輔助定位模塊還包括管鏡,所述管鏡設(shè)置在所述相機的平行光路上。

    10.如權(quán)利要求1所述的基于LIBS的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述照明模塊包括落射式照明模塊。

    ...

    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,包括:

    2.如權(quán)利要求1所述的基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述切換模塊包括可活動設(shè)置的第一反射鏡,所述第一反射鏡具有位于成像檔位的第一位置和分析檔位的第二位置;

    3.如權(quán)利要求2所述的基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述切換模塊還包括底座和推拉結(jié)構(gòu),所述第一反射鏡在所述底座上可移動設(shè)置,所述推拉結(jié)構(gòu)與所述第一反射鏡連接,所述推拉結(jié)構(gòu)推動所述第一反射鏡在所述第一位置和所述第二位置之間來回移動。

    4.如權(quán)利要求2所述的基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述分析模塊包括:

    5.如權(quán)利要求4所述的基于libs的激光焦點輔助尋找系統(tǒng),其特征在于,所述透鏡組設(shè)置為使所述脈沖激光器發(fā)...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:蘭璐夏炎張超解圳皓章路平
    申請(專利權(quán))人:振電蘇州醫(yī)療科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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