【技術實現步驟摘要】
本技術涉及機臺溫度監控領域，特別涉及一種用于機臺的紅外測溫系統及機臺。
技術介紹
1、18bcd芯片量產時，wat(晶圓接受測試)參數beta_npn(晶體管的電流放大系數)對植入時溫度較敏感，若發生晶圓冷卻異常，且機臺無報警機制時，再進行波束植入會導致晶圓異常升溫，從而wat出現異常。
2、現有技術中，機臺進行冷卻試驗，懷疑晶圓的溫度出現異常時，利用溫度試紙對晶圓的溫度進行檢測，再進行冷卻試驗，但以上操作并不能實時監控晶圓溫度。對機臺溫度的監測若不及時，會造成溫度異常而未及時停機導致公司巨大損失，因此需要完善機臺監測機制，達到異常發生時有對應停機報警功能，避免后續類似異常發生，避免對產品造成影響。
3、因此如何實時監控植入全過程晶圓的溫度并設計一款能夠實現溫度監測并及時報警的監測系統就成為了急需解決的問題。
技術實現思路
1、當機臺進行植入時，為了實現利用紅外測溫系統實時監控晶圓溫度，當出現溫度高于預設值時，暫停傳送，停止后續產品植入，避免損失擴大的目的，本技術提出了一種用于機臺的紅外測溫系統及機臺，本申請在機臺上加裝紅外測溫系統通過設定溫度的上限值實現當晶圓溫度異常時，停止后續產品植入，發出異常警報，并通過警報系統發出提示，這樣就能及時處理機臺異常情況，從而提升產品的品質。
2、根據本技術的一個方面，提供一種用于機臺的紅外測溫系統，其包括：
3、監測模塊，所述監測模塊由紅外溫度傳感器、信號處理器和警報模塊組成，所述紅外溫度傳感器設
4、控制模塊，所述控制模塊與所述監測模塊通信連接，并設置為用于實時監測晶圓溫度，當晶圓溫度大于預設值時，控制機臺停止產品植入。
5、根據本技術的一個實施例，所述監測模塊實時監測晶圓溫度是否大于預設值，若是，則控制所述機臺停止產品植入。
6、根據本技術的一個實施例，所述預設值為30℃。
7、根據本技術的一個實施例，所述紅外溫度傳感器工作范圍在-120～100℃，分度值為0.1℃。
8、根據本技術的一個實施例，所述紅外溫度傳感器設置于所述傳送觀察窗的中部。
9、根據本技術的一個實施例，對所述傳送觀察窗的中部進行測漏，漏率＜2e-9。
10、根據本技術的一個實施例，所述警報模塊包括報警器，當所述警報模塊收到所述信號處理器傳輸來的觸發信號時，控制所述報警器發出報警信號。
11、根據本技術的一個實施例，所述報警信號是燈光信號和/或聲音信號和/或機臺顯示信號。
12、根據本技術的一個實施例，所述溫度監測預警系統包括數顯屏幕，用于顯示晶圓的實時溫度。
13、根據本技術的另一個方面，提供一種機臺，其包括上述技術方案任一項所述的用于機臺的紅外測溫系統。
14、由于采用以上技術方案，本技術與現有技術相比具有如下優點：本申請利用紅外測溫系統實時監控晶圓溫度，當出現溫度高于預設值時，暫停傳送，停止后續產品植入，收值并實現spc管控，避免損失擴大，從而實現了實時檢測晶圓溫度，更好的掌控植入進度，進而使產品質量得到提升，溫度高于預設值時停止植入，避免擴大損失。本申請的結構簡單易實現，不會增加過多的成本，經濟效益高。
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1.一種用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述監測模塊實時監測晶圓溫度是否大于預設值，若是，則控制所述機臺停止產品植入。
3.根據權利要求2所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述預設值為30℃。
4.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述紅外溫度傳感器工作范圍在-120~100℃，分度值為0.1℃。
5.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述紅外溫度傳感器設置于所述傳送觀察窗的中部。
6.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，對所述傳送觀察窗的中部進行測漏，漏率＜2E-9。
7.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述警報模塊包括報警器，當所述警報模塊收到所述信號處理器傳輸來的觸發信號時，控制所述報警器發出報警信號。
8.根據權利要求7所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述報警信號是燈光信號和/或聲音信號和/或機臺顯示信號。
...【技術特征摘要】
1.一種用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述監測模塊實時監測晶圓溫度是否大于預設值，若是，則控制所述機臺停止產品植入。
3.根據權利要求2所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述預設值為30℃。
4.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述紅外溫度傳感器工作范圍在-120~100℃，分度值為0.1℃。
5.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外測溫系統，其特征在于，所述紅外溫度傳感器設置于所述傳送觀察窗的中部。
6.根據權利要求1所述的用于機臺的紅外...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉以志，張建圣，吳建璋，張磊，
申請(專利權)人：和艦芯片制造蘇州股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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