【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及多晶硅生產設備，尤其涉及一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置及方法。
技術介紹
1、多晶硅，是單質硅的一種形態。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅。多晶硅的生產技術主要為改良西門子法和硅烷法。
2、在上述多晶硅生產工藝中，在反應過程中，因反應物的量、反應條件或其它因素難以嚴格控制，使得工業硅粉難以完全反應，混合在反應廢氣中一起被排出，因此在凈化廢氣之前需要先對廢氣中的硅粉進行過濾回收操作：
3、例如申請號為cn202111069899.9，專利名稱為一種低燃型多晶硅生產用廢氣凈化裝置，其公開了在對廢氣中硅粉進行過濾操作的過程中，通過出氣管不僅對凈化后的廢氣進行導出，同時，承受著廢氣導出時的氣流沖擊，實現出氣管帶動空心濾球進行旋轉，一方面，位于定板下側的空心濾球的下半球面對廢氣進行凈化作用，另一方面，凈化后的廢氣進入空心濾球內部，繼而對空心濾球的上半球面進行氣流沖擊，將空心濾球外表面過濾的硅粉吹起，使其粘附在粘附毛板上。
4、但是現有得對硅粉得過濾裝置使用時容易存在堵塞得情況，需要工人經常得手動進行清理，致使對硅粉得回收難以達到要求得效率，并且如果對硅粉過濾不徹底還會造成資源得浪費，目前得對硅粉得過濾清理有部分設備采用脈沖設備反吹，但是由于硅粉顆粒度較小，倒置僅采用反吹難以達到良好的清理效果，長時間使用之后還是存在堵塞情況，同時由于過濾的硅粉會堆積在底部，反吹過程中還會造成硅粉飛揚，二次
技術實現思路
1、針對上述情況，為克服現有技術之缺陷，本專利技術之目的就是提供一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置及方法，能夠有效的對多晶硅生產過程的尾氣中含有的硅粉過濾并收集，降低成本，且過濾結構具有自清潔的功能，避免了需要工人手動清理，降低人工成本同時提高過濾的效率。
2、為實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案：一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置及方法，包括處理罐，所述處理罐內部設有過濾組件和反吹風機，所述過濾組件包括圓筒形的過濾網和上密封板與下密封板，所述過濾網和上密封板與下密封板組成過濾腔，所述過濾腔安裝在處理罐內部，所述處理罐上設有進氣口和出氣管，所述出氣管與過濾腔之間連通，所述處理罐的底部設有集粉腔，所述反吹風機安裝在出氣管的中部，還包括清理組件，所述清理組還包括可對過濾網外部進行清理的清理刷，所述清理刷沿過濾網軸線圓周運動，還包括可驅動組件，所述驅動組件可驅動清理刷運動，還包括隔離組件，所述隔離組件可將集粉腔和處理罐隔開。
3、作為本專利技術的一種優選技術方案，上密封板上設有出氣口，且出氣管與出氣口之間通過波紋管連通，所述上密封板上安裝有至少兩個彈簧，且所述的多個彈簧另一端均固定安裝在處理罐的頂部，
4、作為本專利技術的一種優選技術方案，驅動組件包括轉動安裝在下密封板上的轉桿，且轉桿伸入出氣管的一端上安裝有渦輪，所述轉桿伸出過濾腔的一端與清理刷之間固定連接。
5、作為本專利技術的一種優選技術方案，轉軸位于過濾腔外部的一端上安裝有第一連桿，且第一連桿的端部安裝有偏心配重塊。
6、作為本專利技術的一種優選技術方案，清理組件包括至少一個安裝在處理罐內部且可與轉動的偏心配重塊接觸的震動凸起。
7、作為本專利技術的一種優選技術方案，隔離組件包括轉動安裝在集粉腔內部的轉軸，且轉軸上固定安裝有隔離板，所述隔離板位于初始位置時實現處理罐與集粉腔的密封隔離，所述轉軸位于集粉腔外部的一端安裝有第二連桿，所述第二連桿上安裝有隔離配重塊。
8、作為本專利技術的一種優選技術方案，隔離板傾斜設置，且第二連桿垂直與隔離板設置。
9、作為本專利技術的一種優選技術方案，隔離組件包括安裝在處理罐上的活塞筒，且活塞筒內部滑動安裝有活塞，所述活塞上固定有活塞桿，所述活塞桿上套有驅動活塞向背離活塞桿的一側移動的頂簧，所述活塞筒上連通有軟管，且軟管另一端與出氣管之間連通。
10、一種生產多晶硅用廢氣凈化方法，包括以下步驟：
11、1)將多晶硅生產過程中的廢氣通入處理罐內部，通過處理罐內部的過濾結構將尾氣中的硅粉過濾；
12、2)步驟一中所述的過濾結構的孔徑為30～50nm；
13、3)步驟一中過濾的硅粉進入到到處理罐底部的集粉腔內部，實現對硅粉的收集；
14、4)通過反吹電機可對步驟一中所述的過濾結構進行清理，避免造成堵塞。
15、與現有技術相比，本專利技術的有益效果是：
16、提供了兩種過濾機構的應用，均可適用于對尾氣中硅粉的過濾，可將尾氣中的硅粉徹底的過濾，并對其收集加以重新利用，降低企業生產的成本。
17、采用反吹電機反吹的功能對過濾機構上吸附的硅粉進行清理，避免吸附較多的硅粉導致其過濾效果變差，確保其過濾效率。
18、清理結構均是采用通過反吹電機反吹的氣流產生工作，因此不需要單獨增加驅動裝置，降低了制造和使用的成本，且只有在需要清理的時候自動開始工作，提高了其使用壽命。
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1.一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，包括處理罐(1)，所述處理罐(1)內部設有過濾組件和反吹風機(21)，其特征在于；
2.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述上密封板(6)上設有出氣口(12)，且出氣管(3)與出氣口(12)之間通過波紋管(11)連通，所述上密封板(6)上安裝有至少兩個彈簧(10)，且所述的多個彈簧(10)另一端均固定安裝在處理罐(1)的頂部。
3.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述驅動組件包括轉動安裝在下密封板(9)上的轉桿(19)，且轉桿(19)伸入出氣管(3)的一端上安裝有渦輪(20)，所述轉桿(19)伸出過濾腔的一端與清理刷(14)之間固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述轉軸(18)位于過濾腔外部的一端上安裝有第一連桿(15)，且第一連桿(15)的端部安裝有偏心配重塊(13)。
5.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述清理組件包括至少一個安裝在處理罐(1)內部且可與轉動的偏
6.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述隔離組件包括轉動安裝在集粉腔(5)內部的轉軸(18)，且轉軸(18)上固定安裝有隔離板(17)，所述隔離板(17)位于初始位置時實現處理罐(1)與集粉腔(5)的密封隔離，所述轉軸(18)位于集粉腔(5)外部的一端安裝有第二連桿(6)，所述第二連桿(6)上安裝有隔離配重塊(22)。
7.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述隔離板(17)傾斜設置，且第二連桿(6)垂直與隔離板(17)設置。
8.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述隔離組件包括安裝在處理罐(1)上的活塞筒(23)，且活塞筒(23)內部滑動安裝有活塞(26)，所述活塞(26)上固定有活塞桿(24)，所述活塞桿(24)上套有驅動活塞(26)向背離活塞桿(24)的一側移動的頂簧(25)，所述活塞筒(23)上連通有軟管(4)，且軟管(4)另一端與出氣管(3)之間連通。
9.根據權利要求1-8任一項所述的生產多晶硅用廢氣凈化方法，其特征在于，包括以下步驟：
...【技術特征摘要】
1.一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，包括處理罐(1)，所述處理罐(1)內部設有過濾組件和反吹風機(21)，其特征在于；
2.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述上密封板(6)上設有出氣口(12)，且出氣管(3)與出氣口(12)之間通過波紋管(11)連通，所述上密封板(6)上安裝有至少兩個彈簧(10)，且所述的多個彈簧(10)另一端均固定安裝在處理罐(1)的頂部。
3.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述驅動組件包括轉動安裝在下密封板(9)上的轉桿(19)，且轉桿(19)伸入出氣管(3)的一端上安裝有渦輪(20)，所述轉桿(19)伸出過濾腔的一端與清理刷(14)之間固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述轉軸(18)位于過濾腔外部的一端上安裝有第一連桿(15)，且第一連桿(15)的端部安裝有偏心配重塊(13)。
5.根據權利要求1所述的一種生產多晶硅用廢氣凈化裝置，其特征在于，所述清理組件包括至少一個安裝在處理罐(1)內部且可與轉動的偏心配重塊(13)接觸的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳紅飚，謝強，
申請(專利權)人：四川久源機械制造有限公司，
類型：發明
國別省市：
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