【技術實現步驟摘要】
【】本專利技術專利申請主張2023年09月05日提出申請的編號為63/536，603名稱是”inspection?system?for?centralbeam?in?foup”的美國專利臨時申請案的國際優先權，前述案件的內容通過引用并入本文，并且成為說明書的一部分。本專利技術涉及一種支撐中柱的檢測系統及檢測方法，尤其涉及一種適用于基板載具中的支撐中柱的檢測系統及支撐中柱的檢測方法。
技術介紹
0、
技術介紹
1、在半導體制造相關
中，由于半導體基板具有輸送需求，例如業界現有使用前開式晶圓傳送盒(frontopening?unified?pod，foup)的大型基板載具，用來容置并輸送多個半導體基板。在這樣的基板載具中，在兩側的內部側墻上等間距地設置有多個支撐片，用來支撐基板。然而隨著基板尺寸的增加，僅由兩側支撐基板的方式已經無法承擔荷重的需求條件，因此在基板載具中增加了中柱結構，用來提供更好的支撐性。
2、中柱結構包括多個等間隔設置的碳棒作為支撐件，用來分別支撐半導體基板。實際應用上，將此種大型基板容器用于容置半導體基板前，需要對碳棒進行量測，以判斷碳棒是否發生傾斜偏移。一種已知的量測碳棒的方法，是使用量測工具來量測一根或多根碳棒相對于中心線的偏移。然而，這種量測方法存在一些缺點。在實際使用量測工具進行量測前，需要對量測工具本身和探頭進行校正，校正過程需要耗費相當時間。此外，完成校正后，需要將校正工具從平臺上移除，以便使用量測工具和探頭針對基板載具產品進行檢測。測量工具組裝完成后，將其安裝在三維量
技術實現思路
0、
技術實現思路
1、本專利技術提供一種支撐中柱檢測系統及支撐中柱檢測方法，可以快速取得支撐中柱的偏移量，簡化了檢測步驟，進而得以提升檢測效率。
2、本專利技術的支撐中柱檢測系統，適用于檢測基板載具的至少一支撐中柱，所述支撐中柱檢測系統，其特征在于，包括：推移件、動力模塊，以及偏移傳感器。推移件用于施加預設的推力至支撐中柱。動力模塊連接于推移件，用以帶動推移件朝支撐中柱移動，藉以使推移件施加推力于支撐中柱。偏移傳感器位于支撐中柱的一側，用以于支撐中柱受推力時，檢測支撐中柱的偏移量。
3、本專利技術的支撐中柱檢測方法，其特征在于，包括：于平行設置的多個支撐中柱的其中一個作為偏移量的基準點；朝移動方向依序施加預設的推力至支撐中柱；檢測受推力的支撐中柱的偏移量；及，以基準點來計算偏移量，并取得檢測結果。
4、本專利技術的支撐中柱檢測系統及支撐中柱檢測方法具有以下有益的效果：
5、支撐中柱檢測系統及支撐中柱檢測方法，推移件施加預設的推力于第一支撐中柱，并由偏移檢測器檢測第一支撐中柱的第一偏移量，如此可簡化檢測步驟，進而提升檢測效率。于一些實施例中，可以移動至第二支撐中柱旁進行檢測，藉由系統依序量測多個支撐中柱，免除繁瑣的檢測步驟，更有助于提升檢測效率。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種支撐中柱檢測系統，適用于檢測基板載具的至少一支撐中柱，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于，包括：升降模塊，連接于基座，所述推移件、所述動力模塊及所述偏移傳感器設置于所述基座上，所述升降模塊用以帶動所述基座垂直移動。
3.如權利要求2所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于：所述支撐中柱的數量為多個且呈平行設置，所述升降模塊藉由移動所述基座，朝移動方向依序檢測所述多個支撐中柱，以取得對應檢測的所述偏移量。
4.如權利要求1所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于，包括：控制模塊，訊號連接于所述動力模塊與所述偏移傳感器，用以控制所述動力模塊與所述偏移傳感器的運作，所述支撐中柱的數量為多個且呈平行設置，所述控制模塊以所述多個支撐中柱中最底層或最頂層的所述支撐中柱的側壁平面為所述偏移量的基準點，所述基準點作為其他層的所述支撐中柱的偏移檢測標準。
5.如權利要求4所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于：所述動力模塊帶動所述推移件施加所述推力于所述支撐中柱后，經所述偏移傳感器檢測受所述推力的所述支撐中柱的所述偏移量，
6.如權利要求1所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于：所述支撐中柱具有連接于龍骨的連接端、中間部及相對于所述連接端的懸置端，所述偏移傳感器鄰近于所述連接端、所述中間部或所述懸置端。
7.一種支撐中柱檢測方法，其特征在于，包括：
8.如權利要求7所述的支撐中柱檢測方法，其特征在于，包括：
9.如權利要求8所述的支撐中柱檢測方法，其特征在于，包括：由升降模塊控制所述動力模塊與所述偏移傳感器朝移動方向于平行設置的多個支撐中柱中移動。
10.如權利要求8所述的支撐中柱檢測方法，其特征在于：包括：所述偏移傳感器的數量為多個，分布于所述支撐中柱的連接端、中間部及相對于所述連接端的懸置端的位置，或所述支撐中柱的任意位置。
...【技術特征摘要】
1.一種支撐中柱檢測系統，適用于檢測基板載具的至少一支撐中柱，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于，包括：升降模塊，連接于基座，所述推移件、所述動力模塊及所述偏移傳感器設置于所述基座上，所述升降模塊用以帶動所述基座垂直移動。
3.如權利要求2所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于：所述支撐中柱的數量為多個且呈平行設置，所述升降模塊藉由移動所述基座，朝移動方向依序檢測所述多個支撐中柱，以取得對應檢測的所述偏移量。
4.如權利要求1所述的支撐中柱檢測系統，其特征在于，包括：控制模塊，訊號連接于所述動力模塊與所述偏移傳感器，用以控制所述動力模塊與所述偏移傳感器的運作，所述支撐中柱的數量為多個且呈平行設置，所述控制模塊以所述多個支撐中柱中最底層或最頂層的所述支撐中柱的側壁平面為所述偏移量的基準點，所述基準點作為其他層的所述支撐中柱的偏移檢測標準。
5.如權利要求4所述的支撐中柱檢測系統，其特...
【專利技術屬性】
技術研發人員：邱銘干，潘詠晉，吳孟諴，黃子寧，
申請(專利權)人：家登精密工業股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。