【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及金屬掩膜板測量上下料，具體涉及一種新型測量儀上下料裝置及方法。
技術介紹
1、掩膜板是一種在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構，在掩膜板生產完成后，需要對掩膜板進行測量，因此就有掩膜板測量裝置。
2、現有技術中對于金屬掩膜板測量裝置有iproi?i&ipro4套準測量儀，在利用iproii&ipro4套準測量儀進行測量時，需要先將金屬掩膜板放置在金屬掩膜板載物臺托盤上，然后經過傳輸手臂把金屬掩膜板載物臺運送到量測平臺進行測量，在運送的過程中，采用的傳輸手臂為現有技術中的機械手臂，價格不僅昂貴，且需要經過兩次手臂傳輸，傳輸過程中傳輸位置越多，位移偏差越大，不利于測量，為此設立一種新型測量儀上下料裝置。
技術實現思路
1、本專利技術解決技術問題采用的技術方案是：一種新型測量儀上下料裝置及方法，包括底板和萬向輪，所述底板上表面一側固定連接立柱，所述立柱上方固定連接放置平臺，所述放置平臺一側，位于底板上設有控制箱體，所述控制箱體上固定設有第一傳輸手臂，所述第一傳輸手臂遠離放置平臺的一側，位于底板通過立柱固定設有定位平臺，所述定位平臺上設有定位柱，所述定位柱上套結金屬掩膜板載物托盤，所述定位平臺遠離第一傳輸手臂的一側，位于底板上固定設有第二傳輸手臂；
2、所述第二傳輸手臂包括伸縮氣缸，所述伸縮氣缸的伸縮端固定連接工作面板，所述工作面板一側固定設有三相異步電機，所述三相異步電機的
3、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述第一傳輸手臂包括第一步進電機，所述第一步進電機的輸出端固定連接電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的伸縮端固定連接水平伸縮氣缸，所述水平伸縮氣缸的伸縮端固定連接限位殼體，所述限位殼體上表面固定設有第二步進電機，所述第二步進電機的輸出端貫穿限位殼體上表面固定連接轉動齒輪柱，所述轉動齒輪柱兩側嚙合連接夾持手臂。
4、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述控制箱體內部設有upc控制中心和電源，所述upc控制中心電性連接第一傳輸手臂和第二傳輸手臂。
5、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述移動水平板底面為齒狀，所述移動水平板底面與齒輪嚙合連接，所述齒輪的位置與兩個移動水平板一一對應。
6、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述定位柱呈三角分布，其中位于同一水平線上的定位柱高度大于頂角上的定位柱，所述金屬掩膜板載物托盤上設有與同一水平線上的定位柱相對應的貫穿孔。
7、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述金屬掩膜板載物托盤上設有金屬掩膜板槽，所述金屬掩膜板槽四周邊緣處設有托塊，所述金屬掩膜板載物托盤面向第二傳輸手臂的側面具有空隙，且空隙與移動水平板相對應。
8、作為本專利技術的一種優選技術方案，一種新型測量儀上下料的方法，其具體步驟如下：t1、將儲存金屬掩膜板的腔體放置在放置平臺上，啟動控制箱體內部的電源和cpu控制中心；
9、t2、第一傳輸手臂上的夾持手臂夾持住儲存金屬掩膜板的腔體內部的金屬掩膜板，然后旋轉放置在已經提前放置好的金屬掩膜板載物托盤上；
10、t3、第二傳輸手臂利用移動水平板水平托起金屬掩膜板載物托盤，沿著水平方向將金屬掩膜板載物托盤放置在外設的金屬掩膜板量測平臺。
11、本專利技術具有以下優點：通過第一傳輸手臂和第二傳輸手臂上的移動水平板水平移動金屬掩膜板載物托盤，使金屬掩膜板載物托盤的移動保持恒定，減少傳輸轉動次數，使金屬掩膜板只需要在同一水平線上運動，即可完成從放置平臺到量測平臺上的位移，且整體裝置成本低，便于推廣。
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1.一種新型測量儀上下料裝置，包括底板(1)和萬向輪(9)，其特征在于，所述底板(1)上表面一側固定連接立柱(2)，所述立柱(2)上方固定連接放置平臺(3)，所述放置平臺(3)一側，位于底板(1)上設有控制箱體(4)，所述控制箱體(4)上固定設有第一傳輸手臂(5)，所述第一傳輸手臂(5)遠離放置平臺(3)的一側，位于底板(1)通過立柱(2)固定設有定位平臺(6)，所述定位平臺(6)上設有定位柱(7)，所述定位柱(7)上套結金屬掩膜板載物托盤(8)，所述定位平臺(6)遠離第一傳輸手臂(5)的一側，位于底板(1)上固定設有第二傳輸手臂(10)；
2.如權利要求1所述的一種新型測量儀上下料裝置，其特征在于，所述第一傳輸手臂(5)包括第一步進電機(51)，所述第一步進電機(51)的輸出端固定連接電動伸縮桿(52)，所述電動伸縮桿(52)的伸縮端固定連接水平伸縮氣缸(53)，所述水平伸縮氣缸(53)的伸縮端固定連接限位殼體(54)，所述限位殼體(54)上表面固定設有第二步進電機(55)，所述第二步進電機(55)的輸出端貫穿限位殼體(54)上表面固定連接轉動齒輪柱(56)，所述轉
3.如權利要求1所述的一種新型測量儀上下料裝置，其特征在于，所述控制箱體(4)內部設有UPC控制中心和電源，所述UPC控制中心電性連接第一傳輸手臂(5)和第二傳輸手臂(10)。
4.如權利要求1所述的一種新型測量儀上下料裝置，其特征在于，所述移動水平板(106)底面為齒狀，所述移動水平板(106)底面與齒輪(105)嚙合連接，所述齒輪(105)的位置與兩個移動水平板(106)一一對應。
5.如權利要求1所述的一種新型測量儀上下料裝置，其特征在于，所述定位柱(7)呈三角分布，其中位于同一水平線上的定位柱(7)高度大于頂角上的定位柱(7)，所述金屬掩膜板載物托盤(8)上設有與同一水平線上的定位柱(7)相對應的貫穿孔。
6.如權利要求1所述的一種新型測量儀上下料裝置，其特征在于，所述金屬掩膜板載物托盤(8)上設有金屬掩膜板槽，所述金屬掩膜板槽四周邊緣處設有托塊，所述金屬掩膜板載物托盤(8)面向第二傳輸手臂(10)的側面具有空隙，且空隙與移動水平板(106)相對應。
7.一種新型測量儀上下料的方法，采用權利1所述的一種新型測量儀上下料裝置，其具體步驟如下：
...【技術特征摘要】
1.一種新型測量儀上下料裝置，包括底板(1)和萬向輪(9)，其特征在于，所述底板(1)上表面一側固定連接立柱(2)，所述立柱(2)上方固定連接放置平臺(3)，所述放置平臺(3)一側，位于底板(1)上設有控制箱體(4)，所述控制箱體(4)上固定設有第一傳輸手臂(5)，所述第一傳輸手臂(5)遠離放置平臺(3)的一側，位于底板(1)通過立柱(2)固定設有定位平臺(6)，所述定位平臺(6)上設有定位柱(7)，所述定位柱(7)上套結金屬掩膜板載物托盤(8)，所述定位平臺(6)遠離第一傳輸手臂(5)的一側，位于底板(1)上固定設有第二傳輸手臂(10)；
2.如權利要求1所述的一種新型測量儀上下料裝置，其特征在于，所述第一傳輸手臂(5)包括第一步進電機(51)，所述第一步進電機(51)的輸出端固定連接電動伸縮桿(52)，所述電動伸縮桿(52)的伸縮端固定連接水平伸縮氣缸(53)，所述水平伸縮氣缸(53)的伸縮端固定連接限位殼體(54)，所述限位殼體(54)上表面固定設有第二步進電機(55)，所述第二步進電機(55)的輸出端貫穿限位殼體(54)上表面固定連接轉動齒輪柱(56)，所述轉動齒輪柱(56)兩側嚙合連接夾持手臂(...
【專利技術屬性】
技術研發人員：薛文卿，顧夢星，
申請(專利權)人：無錫中微掩模電子有限公司，
類型：發明
國別省市：
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