【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及切割裝置，具體為一種碳化硅晶片切割裝置。
技術(shù)介紹
1、碳化硅材料作為外延的襯底材料需要一系列的加工流程，其中機械減薄在碳化硅工藝流程中被大量使用，而機械減薄需要晶片的表面有足夠的平整度，通常會對晶片進行薄膜樹脂填充化處理，即對晶片進行貼片，然而貼片后的晶片薄膜尺寸殘余較大，不利于樹脂與晶片的充分包裹，需要切割多余部分薄膜，以增加薄膜與晶片的包裹。
2、碳化硅晶片切割裝置使用時容易出現(xiàn)以下問題，一是碳化硅晶片放在切割臺上切割完成后需要人工取下，但是碳化硅晶片較薄，工作人員取下較為困難，浪費工作人員的時間，使得下個碳化硅晶片切割時需要較長等待時間，進而降低碳化硅晶片的切割效率，二是碳化硅晶片切割時會產(chǎn)生部分碳化硅粉末飄在空氣中，對操作環(huán)境造成污染，操作人員容易吸進肺部對身體造成危害，并且碳化硅晶體片切割時產(chǎn)生的碎屑堆積在操作臺上，碳化硅晶片需要移動位置時，碎屑容易導(dǎo)致碳化硅晶片表面磨損，影響碳化硅晶片加工質(zhì)量，使得碳化硅晶片的報廢率提高，因此，針對上述問題我們提出了一種碳化硅晶片切割裝置。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的在于提供一種碳化硅晶片切割裝置，以解決一是碳化硅晶片放在切割臺上切割完成后需要人工取下，但是碳化硅晶片較薄，工作人員取下較為困難，浪費工作人員的時間，使得下個碳化硅晶片切割時需要較長等待時間，進而降低碳化硅晶片的切割效率，二是碳化硅晶片切割時會產(chǎn)生部分碳化硅粉末飄在空氣中，對操作環(huán)境造成污染，操作人員容易吸進肺部對身體造成危害，并且碳化硅晶體片切
2、為實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供如下技術(shù)方案：
3、一種碳化硅晶片切割裝置，包括裝置外殼、電動伸縮桿和切割組件，所述裝置外殼上端固定連接有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿右端固定連接有連接件，所述連接件下端開設(shè)有收集槽，所述收集槽內(nèi)側(cè)設(shè)有清潔墊，所述連接件右端固定連接有切割臺，所述切割臺上端內(nèi)側(cè)開設(shè)吸附孔，所述裝置外殼下端內(nèi)側(cè)開設(shè)有放置槽，所述放置槽下端固定連接有吸風(fēng)機，所述吸風(fēng)機右端固定連接有吸風(fēng)管，所述吸風(fēng)管右端固定連接有吸風(fēng)軟管，所述吸風(fēng)軟管上端固定連接有第一連通管，所述第一連通管右端固定連接有第二連通管，所述連接件左端開設(shè)有吸塵孔，所述切割臺下端固定連接有限位板，所述裝置外殼正上端設(shè)有切割組件。
4、優(yōu)選的，所述裝置外殼外形為“凹”字形，所述裝置外殼內(nèi)部中空，所述電動伸縮桿數(shù)量為四個，所述連接件數(shù)量為四個。
5、優(yōu)選的，所述收集槽數(shù)量為四個，所述收集槽外形為“l(fā)”形，所述清潔墊數(shù)量為四個，所述切割臺數(shù)量為四個。
6、優(yōu)選的，所述吸附孔數(shù)量為若干，所述吸附孔下端固定連接有第一連通管，所述吸風(fēng)管數(shù)量為四個，所述吸風(fēng)軟管數(shù)量為四個。
7、優(yōu)選的，所述第一連通管數(shù)量為四個，所述第二連通管數(shù)量為四個，所述第二連通管外形為“l(fā)”形，所述第二連通管上端位于連接件內(nèi)部，所述吸塵孔右端固定連接有第二連通管，所述限位板數(shù)量為四個。
8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果是：
9、本技術(shù)中，通過設(shè)置電動伸縮桿、連接件和切割臺，電動伸縮桿帶動連接件向外移動，連接件帶動切割臺向外移動，使得四個切割臺之間出現(xiàn)縫隙，進而方便工作人員將切割好的碳化硅晶片取下，節(jié)約工作人員的時間，使得下個碳化硅切割時無需等待較長時間，進而提高碳化硅晶片的切割效率，通過設(shè)置吸風(fēng)機、吸風(fēng)管、吸風(fēng)軟管、第一連通管、第二連通管、吸塵孔和收集槽，吸塵孔將碳化硅晶片切割時產(chǎn)生的碳化硅粉末進行吸附清除，減少對操作環(huán)境的污染，進而降低操作人員將碳化硅粉末吸進肺部對身體造成危害，保護操作人員的生命安全，吸塵孔將碳化硅晶片切割時產(chǎn)生的碎屑從切割臺吸附到收集槽內(nèi)，使得碳化硅晶片需要移動位置時，減少碎屑對碳化硅表面造成磨損，進而提高碳化硅晶片的加工質(zhì)量。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護點】
1.一種碳化硅晶片切割裝置，包括裝置外殼(1)、電動伸縮桿(2)和切割組件(16)，其特征在于：所述裝置外殼(1)上端固定連接有電動伸縮桿(2)，所述電動伸縮桿(2)右端固定連接有連接件(3)，所述連接件(3)下端開設(shè)有收集槽(4)，所述收集槽(4)內(nèi)側(cè)設(shè)有清潔墊(5)，所述連接件(3)右端固定連接有切割臺(6)，所述切割臺(6)上端內(nèi)側(cè)開設(shè)吸附孔(7)，所述裝置外殼(1)下端內(nèi)側(cè)開設(shè)有放置槽(8)，所述放置槽(8)下端固定連接有吸風(fēng)機(9)，所述吸風(fēng)機(9)右端固定連接有吸風(fēng)管(10)，所述吸風(fēng)管(10)右端固定連接有吸風(fēng)軟管(11)，所述吸風(fēng)軟管(11)上端固定連接有第一連通管(12)，所述第一連通管(12)右端固定連接有第二連通管(13)，所述連接件(3)左端開設(shè)有吸塵孔(14)，所述切割臺(6)下端固定連接有限位板(15)，所述裝置外殼(1)正上端設(shè)有切割組件(16)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶片切割裝置，其特征在于：所述裝置外殼(1)外形為“凹”字形，所述裝置外殼(1)內(nèi)部中空，所述電動伸縮桿(2)數(shù)量為四個，所述連接件(3)數(shù)量為四個。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種碳化硅晶片切割裝置，包括裝置外殼(1)、電動伸縮桿(2)和切割組件(16)，其特征在于：所述裝置外殼(1)上端固定連接有電動伸縮桿(2)，所述電動伸縮桿(2)右端固定連接有連接件(3)，所述連接件(3)下端開設(shè)有收集槽(4)，所述收集槽(4)內(nèi)側(cè)設(shè)有清潔墊(5)，所述連接件(3)右端固定連接有切割臺(6)，所述切割臺(6)上端內(nèi)側(cè)開設(shè)吸附孔(7)，所述裝置外殼(1)下端內(nèi)側(cè)開設(shè)有放置槽(8)，所述放置槽(8)下端固定連接有吸風(fēng)機(9)，所述吸風(fēng)機(9)右端固定連接有吸風(fēng)管(10)，所述吸風(fēng)管(10)右端固定連接有吸風(fēng)軟管(11)，所述吸風(fēng)軟管(11)上端固定連接有第一連通管(12)，所述第一連通管(12)右端固定連接有第二連通管(13)，所述連接件(3)左端開設(shè)有吸塵孔(14)，所述切割臺(6)下端固定連接有限位板(15)，所述裝置外殼(1)正上端設(shè)有切割組件(16)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶片切割裝置，...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄧?yán)?/a>，楊明晨，
申請(專利權(quán))人：滕州市富晶新材料有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。