【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光伏，尤其涉及一種太陽能電池的制造方法。
技術介紹
1、在實際制造太陽能電池的過程中，在基底上形成半導體薄膜后通常需要依賴高溫來實現該半導體薄膜的充分反應和結晶，以此減少半導體薄膜中的電子缺陷，降低太陽能電池處于工作狀態下半導體薄膜中的載流子復合速率，提高太陽能電池的光電轉換效率。
2、但是，上述高溫條件對基底材料的高溫耐受性提出了較大的挑戰，限制了上述半導體薄膜的應用范圍、以及基底的選擇，不利于提升太陽能電池的光電轉換效率。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種太陽能電池的制造方法，用于對光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理，使各區域充分反應和結晶的前提下，防止對基底造成高溫損傷，擴大基底的選擇范圍的同時，利于提升太陽能電池的光電轉換效率。
2、為了實現上述目的，本專利技術提供了一種太陽能電池的制造方法，該太陽能電池的制造方法包括：首先，在基底上形成第一載流子傳輸層。接下來，在第一載流子傳輸層上形成光吸收層。光吸收層的最小吸收系數大于等于1×104cm-1。光吸收層的厚度與光吸收層的帶邊吸收系數對應的吸收深度大致相等。接著，僅對光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理。激光退火處理采用的處理激光的光子能量大于等于光吸收層的材料帶隙。然后，在光吸收層上形成第二載流子傳輸層。第二載流子傳輸層和第一載流子傳輸層的導電類型相反。
3、采用上述技術方案的情況下，在基底上形成用于收集相應類型載流子的第一載流子傳輸層后
4、作為一種可能的實現方案，上述光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的材料和/或功能不同。在此情況下，本專利技術提供的太陽能電池的制造方法能夠實現對沿自身厚度方向的不同區域具有不同材料和/或功能的光吸收層進行激光退火處理，分別滿足對光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的結晶質量要求，具有較高的限域加熱精度，提高所制造的太陽能電池的良率。
5、作為一種可能的實現方案，上述僅對光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理包括：基于光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的深度范圍，確定光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光波長范圍。接下來，采用在相應激光波長范圍的處理激光分別對光吸收層沿自身厚度方向的每個區域進行激光退火處理。
6、采用上述技術方案的情況下，可以根據光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的深度范圍，確定與每個區域相對應的激光波長范圍；并采用在相應激光波長范圍的處理激光分別對光吸收層沿自身厚度方向的每個區域進行激光退火處理，確保光吸收層沿自身厚度方向的每個區域均能夠被充分加熱，提高光吸收層厚度方向限域加熱精度，在提高所制造的太陽能電池的良率的同時，還能夠確保高溫結晶不會對基底造成損傷。
7、作為一種可能的實現方案，上述基于光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的深度范圍，確定光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光波長范圍包括：基于光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的深度范圍，依次確定光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的吸收深度范圍和吸收系數范圍。接著，根據光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的吸收系數范圍，確定光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光處理波長范圍。
8、采用上述技術方案的情況下，基于光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的實際的深度范圍，確定光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的吸收深度范圍。而吸收深度與吸收系數成反比例關系，因此基于光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的吸收深度范圍可以確定光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的吸收系數范圍。并且，吸收系數與激光處理波長為函數關系，因此基于光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的吸收系數范圍，能夠確定光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的激光處理波長范圍，確保在相應激光處理波長范圍內處理光吸收層沿自身厚度方向相應區域時具有較高的限域加熱精度，以滿足光吸收層不同深度區域的不同結晶質量要求，提高所制造太陽能電池的良率。
9、作為一種可能的實現方案，上述僅對光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理包括：基于光吸收層沿自身厚度方向的底部區域的深度范圍，確定激光退火處理所采用的處理激光的激光波長范圍。接下來，基于光吸收層沿自身厚度方向的每個區域的深度范圍，確定光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光傾斜角度。接著，采用在同一激光波長范圍的處理激光，并在相應激光傾斜角度下分別對光吸收層沿自身厚度方向的每個區域進行激光退火處理。
10、采用上述技術方案的情況下，除了前文所述的在不同激光波長范圍內實現對光吸收層沿自身厚度方向不同區域進行激光退火處理的方式之外，還可以通過采用同一激光波長范圍的處理激光并以不同激光傾斜角度，對光吸收層沿自身厚度方向的不同區域進行照射的方式，實現對上述不同區域進行限域加熱，為本專利技術提供的太陽能電池的制造方法提供了另一種可能的實現方式，提高本專利技術提供的制造方法在不同的應用場景下的適用性。另外，光吸收層沿自身厚度方向的底部區域的深度范圍最大；并且激光退火處理所采用的處理激光的激光波長范圍是基于光吸收層沿自身厚度方向的底部區域的深度范圍所確定，可以在確保光吸收層沿自身厚度方向的每個區域均能夠得到激光處理的同時，防止處理激光透過光吸收層而照射至基底，防止基底受到高溫損傷。再者，只需要一個激光處理設備就可以實現對光吸收層沿厚度方向的不同區域進行激光退火處理，無須本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種太陽能電池的制造方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的材料和/或功能不同。
3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述僅對所述光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理包括：
4.根據權利要求3所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述基于所述光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的深度范圍，確定所述光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光波長范圍包括：
5.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述僅對所述光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理包括：
6.根據權利要求5所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述基于所述光吸收層沿自身厚度方向的每個區域的深度范圍，確定所述光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光傾斜角度，包括：
7.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述光吸收層的材料包括：銅銦鎵硫、銀銅銦鎵硫、銅鋁銦鎵硫、銅銦硫、銅鎵硫、
8.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述光吸收層沿自身厚度方向的不同區域對應的激光退火處理參數不同；所述激光退火處理參數包括處理功率、處理脈寬和處理時間中的至少一個。
9.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述激光退火處理對所述光吸收層背離所述基底一側的加熱溫度大于所述激光退火處理對所述光吸收層靠近所述基底一側的加熱溫度；和/或，
10.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述太陽能電池為疊層太陽能電池；所述疊層太陽能電池包括底電池、以及位于所述底電池上的頂電池；所述底電池為所述基底，所述頂電池包括所述第一載流子傳輸層、所述光吸收層和所述第二載流子傳輸層。
...【技術特征摘要】
1.一種太陽能電池的制造方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的材料和/或功能不同。
3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述僅對所述光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理包括：
4.根據權利要求3所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述基于所述光吸收層沿自身厚度方向的不同區域的深度范圍，確定所述光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光波長范圍包括：
5.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述僅對所述光吸收層沿自身厚度方向的各區域進行激光退火處理包括：
6.根據權利要求5所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述基于所述光吸收層沿自身厚度方向的每個區域的深度范圍，確定所述光吸收層沿自身厚度方向的每個區域對應的激光傾斜角度，包括：
7.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述光吸收層的材料包括：銅銦鎵硫、...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李建軍，何博，徐希翔，
申請(專利權)人：隆基綠能科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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