一種MPCVD真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)制造技術(shù)

本技術(shù)涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，一種MPCVD真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，用于安裝在真空腔體上，所述真空腔體上具有對(duì)接插口，包括鋼鋁焊接件，其為管狀，鋼鋁焊接件分為相互焊接連接的鋼段和鋁段，其中鋁段焊接在所述真空腔體的插口上；刀口法蘭，通過刀口覆蓋在鋼鋁焊接件的鋼段的端部，且刀口法蘭與所述鋼鋁焊接件的鋼段的端部四周連接處焊接密封；刀口法蘭和所述鋼鋁焊接件的鋼段的端部之間具有金屬密封墊。該MPCVD真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，其可以保證氣密性，同時(shí)不需要更換橡膠密封墊。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備，特別是一種mpcvd真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)。

技術(shù)介紹

1、現(xiàn)有mpcvd腔體大多采用不銹鋼材質(zhì)，部分采用鋁件材質(zhì)，因?yàn)樵谖⒉▊鬏斨?，鋁的傳輸效果和效率更好；但是目前鋁件腔體的觀察窗大部分使用膠圈密封，膠圈密封相對(duì)金屬墊片刀口密封密封性較差，會(huì)影響設(shè)備整體密封性，降低漏率，同時(shí)會(huì)影響對(duì)沉積物的品質(zhì)；同時(shí)膠圈密封在長時(shí)間下會(huì)老化，可靠性不好。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述問題，本技術(shù)提出一種mpcvd真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，其可以保證氣密性，同時(shí)不需要更換橡膠密封墊。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)采用的技術(shù)方案是：

3、一種mpcvd真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，用于安裝在真空腔體上，所述真空腔體上具有對(duì)接插口，包括

4、鋼鋁焊接件，其為管狀，鋼鋁焊接件分為相互焊接連接的鋼段和鋁段，其中鋁段焊接在所述真空腔體的插口上；

5、刀口法蘭，通過刀口覆蓋在鋼鋁焊接件的鋼段的端部，且刀口法蘭與所述鋼鋁焊接件的鋼段的端部四周連接處焊接密封；

6、作為優(yōu)選的，所述刀口法蘭和所述鋼鋁焊接件的鋼段的端部之間具有金屬密封墊。

7、作為優(yōu)選的，所述刀口法蘭的刀口槽的外環(huán)面與所述刀口槽的底面的過渡處具有內(nèi)倒角。

8、作為優(yōu)選的，所述插口的開口處具有倒角結(jié)構(gòu)。

9、作為優(yōu)選的，所述所述鋼鋁焊接件的鋼段的端部具有環(huán)形的臺(tái)階結(jié)構(gòu)，所述臺(tái)階結(jié)構(gòu)的凸起部插裝在刀口法蘭的刀口中。

10、使用本技術(shù)的有益效果是：

11、本技術(shù)通過特殊工藝制成的管狀的鋼鋁焊接件，其鋁材端焊接在真空腔體(鋁件)，鋼材端與刀口法蘭焊接連接，可保證密封性，同時(shí)可以防止金屬墊片變形，進(jìn)一步保證密封。

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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種MPCVD真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，用于安裝在真空腔體上，所述真空腔體上具有對(duì)接插口，其特征在于：包括

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MPCVD真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述刀口法蘭的刀口槽的外環(huán)面與所述刀口槽的底面的過渡處具有內(nèi)倒角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MPCVD真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述插口的開口處具有倒角結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MPCVD真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述鋼鋁焊接件的鋼段的端部具有環(huán)形的臺(tái)階結(jié)構(gòu)，所述臺(tái)階結(jié)構(gòu)的凸起部插裝在刀口法蘭的刀口中。

【技術(shù)特征摘要】

1.一種mpcvd真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，用于安裝在真空腔體上，所述真空腔體上具有對(duì)接插口，其特征在于：包括

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的mpcvd真空腔體觀察窗結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述刀口法蘭的刀口槽的外環(huán)面與所述刀口槽的底面的過渡處具有內(nèi)倒角。

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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄧易洺，徐彬城，吳健偉，賀敏豪，胡向陽，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：先材深圳半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：