【技術實現步驟摘要】
本技術涉及坩堝，特別涉及了一種快速冷卻的石墨坩堝。
技術介紹
1、石墨坩堝具有良好的熱導性和耐高溫性，在高溫使用過程中，因其熱膨脹系數小，對急冷急熱有一定的抗應變性能，并且具有優良的化學穩定性，可廣泛應用于各種工業部門，石墨坩堝是熔融和盛裝有色金屬以及新材料的高溫器皿，并且也可使用于有色金屬和新材料的精煉和提純。
2、目前石墨坩堝一般都是在中頻線圈的作用下，被加熱到高溫狀態，以便用來熔融其盛裝的有色金屬碳化硅等，并且單次生產完畢后需要在真空狀態下自然冷卻石墨坩堝，所以就無法做到最快時間內加料生產，大大降低了生產效率。
3、本申請所要解決的技術問題為：設計一款能夠快速降溫冷卻從而能夠提高生產效率的石墨坩堝。
技術實現思路
1、為了克服現有技術的不足，本技術的目的在于提供一種能夠快速降溫冷卻從而能夠提高生產效率的石墨坩堝。
2、本技術所采用的技術方案為：一種快速冷卻的石墨坩堝，包括真空腔體和設于真空腔體內的石墨坩堝，石墨坩堝包括鍋體和設于鍋體外圈用于固定鍋體的石墨碳氈，石墨碳氈內壁盤繞設有走線槽，走線槽內設有與之限位配合用于鍋體降溫冷卻的冷卻管，冷卻管繞設于鍋體外壁，冷卻管兩端分別設有與之連通的進氣管和排氣管。
3、在一些實施方式中，石墨碳氈內還分別設有用于進氣管走線的第一限位槽和用于排氣管走線的第二限位槽，第一限位槽和第二限位槽分別與走線槽的兩端連通，第一限位槽的另一端還與第二限位槽的另一端連通。
4、在一些實施方式中，進氣
5、在一些實施方式中，進氣管設有一端與之連通的進氣輸送管，進氣輸送管的另一端與外界用于供氣的氣泵連通，進氣輸送管上設有用于控制進氣流量的氣動角閥。
6、在一些實施方式中，進氣輸送管上還設有用于控制整個進氣輸送管通斷的氣動截止閥。
7、在一些實施方式中，進氣輸送管上還設有用于檢測進氣輸送管壓力值的壓力表。
8、在一些實施方式中，包括控制中心和與控制中心信號連接的測溫儀，氣動角閥和氣動截止閥均與控制中心信號連接，測溫儀用于檢測鍋體溫度。
9、在一些實施方式中，控制中心和測溫儀均設于真空腔體外。
10、在一些實施方式中，石墨碳氈為中空圓柱形從而中間形成安裝腔，鍋體與安裝腔限位固定安裝。
11、本技術具有如下技術效果：通過在走線槽內設有與之限位配合的冷卻管，使冷卻管繞設于鍋體外壁，并且在冷卻管的兩端分別設有與之連通的進氣管和排氣管，當鍋體需要冷卻時，利用進氣管向冷卻管內輸送氮氣或氬氣等壓縮氣體，使該壓縮氣體通過冷卻管壁與鍋體外壁和石墨碳氈內壁進行熱交換，從而將吸收的熱量通過排氣管排出，進而達到將整個石墨坩堝冷卻的效果，因此也從而提高生產效率。
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1.一種快速冷卻的石墨坩堝，包括真空腔體(1)和設于真空腔體(1)內的石墨坩堝(2)，其特征在于，所述石墨坩堝(2)包括鍋體(201)和設于鍋體(201)外圈用于固定鍋體(201)的石墨碳氈(202)，所述石墨碳氈(202)內壁盤繞設有走線槽(203)，所述走線槽(203)內設有與之限位配合用于鍋體(201)降溫冷卻的冷卻管(204)，所述冷卻管(204)繞設于鍋體(201)外壁，所述冷卻管(204)兩端分別設有與之連通的進氣管(205)和排氣管(206)。
2.根據權利要求1所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述石墨碳氈(202)內還分別設有用于進氣管(205)走線的第一限位槽(207)和用于排氣管(206)走線的第二限位槽(208)，所述第一限位槽(207)和第二限位槽(208)分別與走線槽(203)的兩端連通，所述第一限位槽(207)的另一端還與第二限位槽(208)的另一端連通。
3.根據權利要求1所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述進氣管(205)與冷卻管(204)連接處位于鍋體(201)下端，所述排氣管(206)與冷卻管(204)連接處
4.根據權利要求1所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述進氣管(205)設有一端與之連通的進氣輸送管(301)，所述進氣輸送管(301)的另一端與外界用于供氣的氣泵連通，所述進氣輸送管(301)上設有用于控制進氣流量的氣動角閥(302)。
5.根據權利要求4所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述進氣輸送管(301)上還設有用于控制整個進氣輸送管(301)通斷的氣動截止閥(303)。
6.根據權利要求4所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述進氣輸送管(301)上還設有用于檢測進氣輸送管(301)壓力值的壓力表(304)。
7.根據權利要求5所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，包括控制中心(305)和與控制中心(305)信號連接的測溫儀，所述氣動角閥(302)和氣動截止閥(303)均與控制中心(305)信號連接，所述測溫儀(306)用于檢測鍋體(201)溫度。
8.根據權利要求7所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述控制中心(305)和測溫儀(306)均設于真空腔體(1)外。
9.根據權利要求1所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述石墨碳氈(202)為中空圓柱形從而中間形成安裝腔(209)，所述鍋體(201)與安裝腔(209)限位固定安裝。
...【技術特征摘要】
1.一種快速冷卻的石墨坩堝，包括真空腔體(1)和設于真空腔體(1)內的石墨坩堝(2)，其特征在于，所述石墨坩堝(2)包括鍋體(201)和設于鍋體(201)外圈用于固定鍋體(201)的石墨碳氈(202)，所述石墨碳氈(202)內壁盤繞設有走線槽(203)，所述走線槽(203)內設有與之限位配合用于鍋體(201)降溫冷卻的冷卻管(204)，所述冷卻管(204)繞設于鍋體(201)外壁，所述冷卻管(204)兩端分別設有與之連通的進氣管(205)和排氣管(206)。
2.根據權利要求1所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述石墨碳氈(202)內還分別設有用于進氣管(205)走線的第一限位槽(207)和用于排氣管(206)走線的第二限位槽(208)，所述第一限位槽(207)和第二限位槽(208)分別與走線槽(203)的兩端連通，所述第一限位槽(207)的另一端還與第二限位槽(208)的另一端連通。
3.根據權利要求1所述的快速冷卻的石墨坩堝，其特征在于，所述進氣管(205)與冷卻管(204)連接處位于鍋體(201)下端，所述排氣管(206)與冷卻管(204)連接處位于鍋體(201)上端，所述進氣管(205)的進氣口和排氣管(206)的出氣口均設于真空腔體(1)外。
4.根據權利...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王全林，
申請(專利權)人：廣州粵升半導體設備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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