本發明專利技術公開一種可調點測位置的探針裝置及其固定探針、活動探針，可調點測位置的探針裝置包括有具有第一邊與第二邊的固定探針、第一活動探針及第二活動探針。固定探針具有第一針芯、第一介電層及第一外導體層的第一同軸結構。第一活動探針設置在固定探針的第一邊，包括有接地針芯及第一延伸結構，其具有第一平面結構、第一上表面及第一下表面，第一活動探針經由第一位移運動使第一平面結構與固定探針電性接觸。第二活動探針設置在固定探針的第二邊，包括有第二針芯、第二介電層及第二外導體層的第二同軸結構，以及第二延伸結構，其具有第二平面結構、第二上表面及第二下表面，第二活動探針經由第二位移運動使第二平面結構與固定探針電性接觸。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術是有關于一種探針裝置，特別是指一種具有固定探針與活動探針組合以根據待測物的電性結構的接點間距(pitch)而自動調整探針相對位置的一種固定探針與可動探針以及使用該固定探針與可動探針的可調點測位置的探針裝置。
技術介紹
1、由于電子元件的小型化，在半導體制程之后需要通過測試的方式測試信號傳輸是否有問題，以確定電子元件的質量。一般而言，要測試電子產品中各個電子元件之間的電性連接是否確實，或者是信號傳輸是否有問題，通常利用具有探針的設備對待測物進行信號傳輸以及電性信號分析。
2、現有技術的檢測設備，包括有探針裝置和信號測試機，來對待測物進行電性檢測，探針裝置主要包含有復數用以點觸印刷電路板的導電接點的探針，對于高頻阻抗測試，其中探針采用包含有針芯及與針芯絕緣地圍繞針芯的接地導體的同軸針，并經由同軸信號線而與測試機電性連接。一般來說，現有技術的探針配置是兩個探針構成一組，以固定間距的方式設置，使得同一組的兩個探針的針尖非常鄰近且其接地導體相互導通。
3、然而，印刷電路板的空間布局或者電性考慮，印刷電路板的接點間距或者角度變化性多，印刷電路板阻抗測試所需的探針間距及角度有很多的變化，因此需要多個不同的探針裝置來因應多樣化的測試需求，亦即，當印刷電路板阻抗測試所需的探針間距及角度不同時，則需更換不同的探針裝置，如此的測試設備的成本較高。
4、為了解決這樣的問題，現有技術中，如圖1a所示，為固定探針10以及一對活動探針11與12。固定探針10為具有同軸架構的信號探針。活動探針11與12其中之一為具有同軸架構的信號探針，另一為接地探針。其中，固定探針10具有導體架100、針體101以及接地導體102a與102b。導體架100為實心的金屬現有技術的探針裝置示意圖。在現有技術的探針裝置1中，包括有固定探針導體，導體架100具有一靠近待測物的待測物側100a。導體架100位于待測物側100a的側邊上，位于針體101的兩側設置有接地導體102a與102b。針體101突出于導體架100的待測物側，以與待測物90的電路基材90c上的電性結構一端的接點90a電性接觸。活動探針11的針尖111與待測物90的電路基材90c上的電性結構一端的另一接點90b電性接觸。活動探針11、12可以通過第一位移運動使針尖111、121朝待測電性結構接點方向靠近或者遠離。活動探針11與12更設置有接地導體110與120，其中接地導體110于檢測時與導體架100上的接地導體102a電性接觸，使得活動探針11與固定探針10構成檢測回路，活動探針12則避免與固定探針10電性接觸；接地導體120于檢測時與導體架100上的接地導體102b電性接觸，使得活動探針12與固定探針10構成檢測回路，活動探針11則避免與固定探針10電性接觸，為了符合印刷電路板測試規范，固定探針10與活動探針11(或12)之間有多種不同的接點間距(開闔間距)，如圖1a所示，檢測設備移動活動探針11或12的位置，以改變活動探針11或12與針體101的開闔間距對應接點間距，進一步地，通過導電架100朝針體101的兩側延伸，活動探針11或12的接地部分可以與導電架100接觸，以形成信號回路。在圖1a的現有技術中，由于固定探針10的導體架100為實心的金屬導體，具有相當的重量，固定探針10的重量比活動探針11、12重量重，造成在下針與接點90a接觸時，因為動量產生的慣性力會對接點90a造成嚴重的針痕深刻在接點90a的表面，進而導致針尖101的磨損加劇，使用壽命變短，而且固定探針10與活動探針11、12的重量不同，造成接點90a的針痕不一致，進一步會導致固定探針10與活動探針11、12點測接點90a時會有高低差，活動探針11、12的位置會上下飄動，使得測試結果的不穩定。此外，圖1a的架構也會導致導體架100與活動探針11或者12之間形成多個信號回路，導致信號回路之間的干擾，影響測試的結果。
5、為了解決上述問題，現有技術中，如圖1b所示，為現有技術的探針裝置示意圖。導體架100上開設有通孔103a與103b，以減輕導線架100的重量，但固定探針10的重量依舊比活動探針11、12的重量重許多，因此在給同樣的力讓活動探針11、12和待測物相對靠近，結果就會是固定探針10接觸的接點90a針痕較深，活動探針11接觸的接點90b的針痕較淺，使得接點90a的針痕與接點90b的針痕不一致的差異明顯，還是會有針尖101使用壽命變短的問題存在。在圖1b所示的架構中，雖然活動探針可以根據接點90a與90b的間距動態調整，但是也有信號干擾的問題。例如：在圖1b中，固定探針10輸出測試信號給接點90a，而活動探針11代表接地探針與接點90b電性接觸。于檢測的過程中，測試信號在固定探針10、活動探針11、導體架100的通孔103a周圍的導電結構以及接點90a與90b之間形成了信號回路l1。不過由于導體架100的通孔103b周圍也是導體所構成，因此，測試信號在固定探針10、活動探針11、導體架100的通孔103b周圍的導電結構以及線路及接點90a與90b之間形成了信號回路l2。信號回路l2會干擾信號回路l1，影響測試的結果。反之，如果另一活動探針12代表信號探針上的接地結構120與導體架100上的接地結構102b上電性接觸而進行測試時，通孔103a周圍的導體同樣也會產生干擾的信號回路l1，如圖1c所示。
6、綜合上述，如何在印刷電路板開闔間距的條件下符合印刷電路板的測試規范，因此需要一種可調點測位置的探針裝置來解決現有技術所產生的問題。
技術實現思路
1、為了解決上述問題，本專利技術想到一種可調點測位置的探針裝置，以在印刷電路板開闔間距的條件下符合印刷電路板的測試規范。如圖2a所示，將導體架100大部分的區域去除，例如去除導電架100遠離針尖的區域。這種方式，雖然減輕了固定探針導體架100的重量，而改善了固定探針10與兩個活動探針11、12對于待測物接點產生針痕不一致的問題，但是仍然沒有辦法完全消除掉干擾信號的問題。例如，在圖2a中，使用固定探針10與活動探針12進行測試時，還是會產生干擾信號回路l2。因此，在解決上述問題的一種方式中，如圖2b所示，本專利技術進一步想到將支撐接地導體102a與102b的部分導體架結構去除，只剩下接地導體102a與102b。這樣的方案，確實可以解決干擾信號的問題，不過卻會導致接地導體102a與102b的強度減弱而產生結構變形的問題，使得測試結果的不穩定。
2、基于前述的歷程，本專利技術的目的是在于提供一種可調點測位置的探針裝置及其固定探針、活動探針，其可以解決現有技術的針痕不一致問題，以及消除干擾信號與固定探針10上的接地導體強度的問題。
3、在解決前述問題的一實施例中，本專利技術提供一種可調點測位置的探針裝置，包括有固定探針、第一活動探針以及第二活動探針。固定探針包括有第一同軸結構，第一同軸結構包括有由其中心軸延伸的第一針芯、同軸的第一介電層及第一外導體層，固定探針的同軸結構包括有相對于中心軸的一第一邊及一第二邊。第一活動探針本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種可調點測位置的探針裝置，其特征在于，包括有：
2.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第二針芯在該中心軸向的另一端部為一針尾，該第二延伸結構設置在該第二同軸結構上具有一端面，其中，該端面到該第二針芯針尖的距離小于該端面到該第二針芯針尾的距離。
3.如權利要求2所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第二活動探針具有一第二絕緣殼體，該第二絕緣殼體包覆該第二外導體層，該第二絕緣殼體具有一部分漸縮段，該部分漸縮段在該第二針芯針尖及第二針芯針尾之間，該第二延伸結構設置在該部分漸縮段及該第二針芯針尖之間。
4.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第一活動探針具有一金屬塊，該接地針芯與該金屬塊電性連接，該金屬塊的一側邊延伸出該第一延伸結構。
5.如權利要求4所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，在該接地針芯的中心軸，該金屬塊的一端部為該接地針芯的針尖，該金屬塊包括一部分漸縮段，該部分漸縮段在該金屬塊的另一端部及該接地針芯的針尖之間，該第一延伸結構從該部分漸縮段的一側邊延伸凸出。
>6.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針包括有導體結構固定部，該導體結構固定部設置于該第一外導體層，以與該第一外導體層電性連接，該導體結構固定部具有一斜坡面及一上端部及一下端部，該斜坡面在該上端部及下端部之間，該第一針芯的一端部為一針尖，該下端部比上端部靠近該第一針芯的針尖，在該下端部上該第一外導體層到該斜坡面具有一第一距離，在該上端部上該第一外導體層到該斜坡面具有一第二距離，該第二距離大于該第一距離。7.如權利要求6所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針還包括一固定探針導體結構，該第一活動探針還包括一第一導體結構，該固定探針導體結構設置在該斜坡面，該第一導體結構設置在該第一平面結構，在該固定探針導體結構與該第一導體結構電性連接時，該固定探針導體結構與該第一導體結構電性呈點接觸。
8.如權利要求6所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針還包括一固定探針導體結構，該第二活動探針還包括一第二導體結構，該固定探針導體結構設置在該斜坡面，該第二導體結構設置在該第二平面結構，在該固定探針導體結構與該第二導體結構電性連接時，該固定探針導體結構與該第二導體結構電性呈點接觸。
9.如權利要求7所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針導體結構為一圓柱棒狀導體結構或者呈線形排列的多點顆粒狀凸出導體結構。
10.如權利要求7所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第一導體結構為一圓柱棒狀導體結構或者呈線形排列的多點顆粒狀凸出導體結構。
11.如權利要求8所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第二導體結構，為一圓柱棒狀導體結構或者呈線形排列的多點顆粒狀凸出導體結構。
12.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針本體包括有一第一絕緣殼體，該第二探針本體包括一第二絕緣殼體，該第一絕緣殼體包覆該第一外導體層，該第二絕緣殼體包覆該第二外導體層。
13.如權利要求12所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第一絕緣殼體與該第一外導體層之間還包括一第一補強結構，該第二絕緣殼體與第二外導體層之間還包括有一第二補強結構。
14.一種可調點測位置的探針裝置的固定探針，其特征在于，該可調點測位置的探針裝置還具有一活動探針，該活動探針經由一位移運動調整該活動探針及該固定探針之間的間距，該活動探針具有一由中心軸向延伸的一針芯及一延伸結構，該延伸結構由該針芯朝一方向凸伸，該固定探針包括有：
15.如權利要求14所述的可調點測位置的探針裝置的固定探針，其特征在于，在該活動探針經由該位移運動調整該活動探針及該固定探針之間的間距之后，該第一外導體層用于電性接觸該活動探針的該延伸結構。
16.如權利要求14所述的可調點測位置的探針裝置的固定探針，其特征在于，還包括有導體結構固定部，該導體結構固定部設置于該第一外導體層以與該第一外導體層電性連接，該導體結構固定部具有一斜坡面及一上端部及一下端部，該斜坡面在該上端部及下端部之間，在該活動探針經由該位移運動調整該活動探針及該固定探針之間的間距之后，該斜坡面用于電性接觸該活動探針的該延伸結構，該第一針芯的一端部為一針尖，該下端部比上端部靠近該第一針芯的針尖，在該下端部上該第一外導體層到該斜坡面具有一第一距離，在該上端部上該第一外導體層到該斜坡面具有一第二距離，該第二距離大于該第一距離。
17.如權利要求16所述的可調點測位置...
【技術特征摘要】
1.一種可調點測位置的探針裝置，其特征在于，包括有：
2.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第二針芯在該中心軸向的另一端部為一針尾，該第二延伸結構設置在該第二同軸結構上具有一端面，其中，該端面到該第二針芯針尖的距離小于該端面到該第二針芯針尾的距離。
3.如權利要求2所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第二活動探針具有一第二絕緣殼體，該第二絕緣殼體包覆該第二外導體層，該第二絕緣殼體具有一部分漸縮段，該部分漸縮段在該第二針芯針尖及第二針芯針尾之間，該第二延伸結構設置在該部分漸縮段及該第二針芯針尖之間。
4.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第一活動探針具有一金屬塊，該接地針芯與該金屬塊電性連接，該金屬塊的一側邊延伸出該第一延伸結構。
5.如權利要求4所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，在該接地針芯的中心軸，該金屬塊的一端部為該接地針芯的針尖，該金屬塊包括一部分漸縮段，該部分漸縮段在該金屬塊的另一端部及該接地針芯的針尖之間，該第一延伸結構從該部分漸縮段的一側邊延伸凸出。
6.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針包括有導體結構固定部，該導體結構固定部設置于該第一外導體層，以與該第一外導體層電性連接，該導體結構固定部具有一斜坡面及一上端部及一下端部，該斜坡面在該上端部及下端部之間，該第一針芯的一端部為一針尖，該下端部比上端部靠近該第一針芯的針尖，在該下端部上該第一外導體層到該斜坡面具有一第一距離，在該上端部上該第一外導體層到該斜坡面具有一第二距離，該第二距離大于該第一距離。
7.如權利要求6所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針還包括一固定探針導體結構，該第一活動探針還包括一第一導體結構，該固定探針導體結構設置在該斜坡面，該第一導體結構設置在該第一平面結構，在該固定探針導體結構與該第一導體結構電性連接時，該固定探針導體結構與該第一導體結構電性呈點接觸。
8.如權利要求6所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針還包括一固定探針導體結構，該第二活動探針還包括一第二導體結構，該固定探針導體結構設置在該斜坡面，該第二導體結構設置在該第二平面結構，在該固定探針導體結構與該第二導體結構電性連接時，該固定探針導體結構與該第二導體結構電性呈點接觸。
9.如權利要求7所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針導體結構為一圓柱棒狀導體結構或者呈線形排列的多點顆粒狀凸出導體結構。
10.如權利要求7所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第一導體結構為一圓柱棒狀導體結構或者呈線形排列的多點顆粒狀凸出導體結構。
11.如權利要求8所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第二導體結構，為一圓柱棒狀導體結構或者呈線形排列的多點顆粒狀凸出導體結構。
12.如權利要求1所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該固定探針本體包括有一第一絕緣殼體，該第二探針本體包括一第二絕緣殼體，該第一絕緣殼體包覆該第一外導體層，該第二絕緣殼體包覆該第二外導體層。
13.如權利要求12所述的可調點測位置的探針裝置，其特征在于，該第一絕緣殼體與該第一外導體層之間還包括一第一補強結構，該第二絕緣殼體與第二外導體層之間還包括有一第二補強結構。
14.一種可調點測位置的探針裝置的固定探針，其特征在于，該可調點測位置的探針裝置還具有一活動探針，該活動探針經由一位移運動調整該活動探針及該固定探針之間的間距，該活動探針具有一由中心軸向延伸的一針芯及一延伸結構，該延伸結構由該針芯朝一方向凸伸，該固定探針包括有...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周嘉南，黃崇燕，楊文欽，羅文宏，葉為綸，何志浩，
申請(專利權)人：旺矽科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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