【技術實現步驟摘要】
本公開涉及基板處理裝置。
技術介紹
1、已知有以下技術：在批量式的基板處理裝置中，利用石英制的壓板和金屬制的基板保持件承接臺來夾持對基板進行保持的基板保持件的底板，從而防止基板保持件的傾倒(例如，參照專利文獻1)。
2、現有技術文獻
3、專利文獻
4、專利文獻1：日本特開2009－99608號公報
技術實現思路
1、專利技術要解決的問題
2、本公開提供能夠提高抗震性的技術。
3、用于解決問題的方案
4、本公開的一技術方案的基板處理裝置具備：旋轉臺，其固定于旋轉軸；基板保持件，其載置在所述旋轉臺上，將基板以水平姿勢保持為多層；以及第1緊固構件，其將所述基板保持件固定在所述旋轉臺上，所述基板保持件具有載置在所述旋轉臺上的底板，所述第1緊固構件從上下方向夾著所述旋轉臺和所述底板，而將所述基板保持件固定在所述旋轉臺上。
5、專利技術的效果
6、根據本公開，能夠提高抗震性。
【技術保護點】
1.一種基板處理裝置，其中，
2.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其中，
3.根據權利要求2所述的基板處理裝置，其中，
4.根據權利要求3所述的基板處理裝置，其中，
5.根據權利要求2～4中任一項所述的基板處理裝置，其中，
6.根據權利要求2～4中任一項所述的基板處理裝置，其中，
7.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其中，
8.根據權利要求2所述的基板處理裝置，其中，
9.根據權利要求8所述的基板處理裝置，其中，
10.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其中，
11.根據權利要求2所述的基板處理裝置，其中，
【技術特征摘要】
1.一種基板處理裝置，其中，
2.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其中，
3.根據權利要求2所述的基板處理裝置，其中，
4.根據權利要求3所述的基板處理裝置，其中，
5.根據權利要求2～4中任一項所述的基板處理裝置，其中，
6.根據權利要求2～4中任一項所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：永田朋幸，
申請(專利權)人：東京毅力科創株式會社，
類型：發明
國別省市：
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