【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及清洗，具體涉及藍寶石部件的清洗方法。
技術(shù)介紹
1、光譜分析中常用比色皿進行定量分析和檢測，而在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，由于流通的藥液常為強腐蝕性液體，對比色皿的化學(xué)穩(wěn)定性提出了更高的要求。藍寶石的組成為al2o3，由于具有很寬的光學(xué)穿透帶，從近紫外光到中紅外線都具有很高的透光性，同時也因為其具有高聲速，耐高溫抗腐蝕，高硬度，高透光行，熔點高等特點，因此被大量用在光學(xué)元件、紅外裝置、高強度鐳射鏡片材料及光學(xué)材料上。目前市面上主要采用機械磨削，化學(xué)拋光的方式加工藍寶石光學(xué)元件，會對藍寶石表面存在一定厚度的表面損傷層，使得不斷有微量元素析出，嚴(yán)重干擾檢測準(zhǔn)確性，因此研發(fā)藍寶石清洗方法和原理具有十分重要的意義。
2、目前藍寶石行業(yè)的清洗方式以濕法清洗為主。公開號為cn103111434的中國專利，公開了一種藍寶石加工件的濕法清洗工藝，依次使用異丙醇，乙醇，純水，氨水，純水，磷酸，純水，氫氟酸，純水進行超聲及加熱清洗，可有效去除藍寶石表面污染物。但目前的研究主要針對藍寶石的表層污染，對于運行過程中的金屬離子長時間析出的問題，尚未有解決方案。
3、因此，開發(fā)一種清潔程度高，程序簡易的新型濕法清洗工藝，對改進藍寶石的離子析出問題具有重要的意義。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本專利技術(shù)提供一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，已解決上述至少一個技術(shù)問題。
2、本專利技術(shù)的技術(shù)方案是：一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于，包括如下步
3、步驟一、異丙醇浸泡；
4、將藍寶石部件放置于潔凈的塑料袋中，加入異丙醇溶液，常溫浸泡，浸泡時間為30-60m?in；
5、步驟二、氫氧化鉀加熱浸泡；
6、將藍寶石部件放置于潔凈的塑料袋中，加入氫氧化鉀水溶液，水浴加熱至50-70℃，浸泡時間為2-4h；
7、步驟三、氫氧化鉀常溫浸泡；
8、自然降溫至常溫，繼續(xù)浸泡12-20h；
9、步驟四，鹽酸常溫浸泡；
10、將藍寶石部件放置于潔凈的塑料袋中，加入鹽酸水溶液，在超聲槽中進行超聲波清洗，超聲頻率為4-10w/in，超聲時間為1-2h；
11、步驟五，硝氟酸常溫浸泡；
12、將藍寶石部件放置于潔凈的塑料袋中，加入適量硝氟酸水溶液，在超聲槽中進行超聲波清洗，超聲頻率為4-10w/in，超聲時間為1-2h；
13、步驟六，超聲波清洗；
14、將藍寶石部件搬運至100級無塵室進行超聲波清洗，超聲頻率為4-10w/in，超聲時間為15-30min，最后用氮氣吹干進行無塵包裝。
15、優(yōu)選的，步驟一中，塑料袋為潔凈室用高純塑料袋。優(yōu)選為尼龍復(fù)合材質(zhì)，ldpe，mdpe，hdpe中的一種或多種。
16、優(yōu)選的，所述步驟一中的異丙醇溶液為高純異丙醇。優(yōu)選為g2,g3,g4,g5等級中的一種或多種。
17、優(yōu)選的，所述步驟二中，氫氧化鉀水溶液為5-20％體積百分比濃度的氫氧化鉀溶液。優(yōu)選為5％，10％，15％體積百分比濃度的一種或多種。
18、優(yōu)選的，所述步驟三中，常溫為15-25℃。
19、優(yōu)選的，所述步驟四中，鹽酸水溶液為5-20％體積百分比濃度的鹽酸溶液，優(yōu)選為5％，10％，15％，20％體積百分比濃度的一種或多種。
20、優(yōu)選的，所述步驟四中，超聲槽純水溫度為25-40℃。
21、優(yōu)選的，所述步驟五中，硝氟酸水溶液為硝酸，氫氟酸和水的混合溶液。硝酸，氫氟酸和水的體積比優(yōu)選為1：1：1，1：1：10，1：5：50中的一種。
22、優(yōu)選的，所述步驟六中，超聲槽純水溢流量大于250l/h，純水電阻大于2mω，超聲槽純水溫度為25-40℃。
23、有益效果在于：
24、本專利技術(shù)通過化學(xué)清洗的方法，可有效減少藍寶石部件在強腐蝕性藥液中有機臟污，金屬離子析出情況，達到semi?f57標(biāo)準(zhǔn)，且不損傷部件本體，從而提高部件的使用壽命。操作簡便，成本較低，適合推廣使用。
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1.一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：步驟一中，塑料袋為潔凈室用高純塑料袋。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟一中的異丙醇溶液為G2,G3,G4,G5等級中的一種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟二中，氫氧化鉀水溶液為5-20％體積百分比濃度的氫氧化鉀溶液。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟三中，常溫為15-25℃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟四中，鹽酸水溶液為5-20％體積百分比濃度的鹽酸溶液。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟四中，超聲槽純水溫度為25-40℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：硝酸，氫氟酸和水的體積比為1：1：1，1：1：10，1：5：50中的一種。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟六中，超聲槽純水溢流量大于250L/h，純水電阻大于2MΩ，超聲槽純水溫度為25-40℃。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：步驟一中，塑料袋為潔凈室用高純塑料袋。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟一中的異丙醇溶液為g2,g3,g4,g5等級中的一種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟二中，氫氧化鉀水溶液為5-20％體積百分比濃度的氫氧化鉀溶液。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝，其特征在于：所述步驟三中，常溫為15-25℃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)檢測藍寶石部件的濕法清洗工藝...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：徐憶濛，賀賢漢，陳凱旋，楊煒，蔣立峰，王成明，
申請(專利權(quán))人：上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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