【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及驅動裝置、光刻裝置、物品制造方法、處理器、計算機可讀存儲介質及檢測方法。
技術介紹
1、作為檢測直動軸承引導件的磨損的方法，有監視從直動軸承引導件產生的振動的強度變化的方法和監視從直動軸承引導件產生的振動的頻率變化的方法。前者的方法記載在日本特開2010-196742號公報中，后者的方法記載在日本特開2009-020090號公報中。
2、在日本特開2010-196742號公報中記載的方法中，需要始終在相同的條件下驅動由磨損檢測對象的直動軸承引導件引導的移動體。因此，日本特開2010-196742號公報中記載的方法是難以應用于驅動條件可能經常變化的直動軸承引導件的磨損檢測方法。這是因為從直動軸承引導件產生的振動的振幅的峰值根據由直動軸承引導件的塊體支承的移動體的驅動速度v而變化。例如，如果移動體(塊體)高速移動，則峰值變大，如果低速移動，則峰值變小。因此，如果不使移動體始終在相同的條件下驅動，則無法進行準確的磨損檢測。
3、在日本特開2009-020090號公報中記載的方法中，由于直動軸承引導件的塊體內部的部件與滾動體的碰撞引起的振動，從直動軸承引導件產生的振動的峰值頻率可能變得不穩定。因此，在該方法中，有可能無法準確地進行磨損檢測。例如，在直動軸承引導件的內部有滾動體循環的路徑，在滾動體在該路徑上循環時，滾動體彼此碰撞。另外，在位于塊體的兩端的端蓋上，有使滾動體折返的返回導向件，該返回導向件與滾動體碰撞。由于這樣的碰撞，無法順暢地進行滾動體的循環，從直動軸承引導件產生的振動的峰值頻率可能變得
技術實現思路
1、本專利技術提供了一種對在減少用于檢測直動軸承引導件的磨損的限制的同時以高精度檢測磨損有利的技術。
2、本專利技術的第一方式涉及一種驅動裝置，所述驅動裝置具備：直動軸承引導件；移動體，由所述直動軸承引導件引導；驅動部，驅動所述移動體；以及檢測部，檢測所述直動軸承引導件的磨損，所述驅動部包括與所述移動體一起移動的第一部件和對所述第一部件施加力的第二部件，所述檢測部基于由所述第一部件和所述第二部件的間隙的變化引起的振動，檢測所述直動軸承引導件的磨損。
3、本專利技術的第二方式涉及一種光刻裝置，所述光刻裝置構成為，具備第一方式涉及的驅動裝置，將圖案轉印到基板上。
4、本專利技術的第三方式涉及一種物品制造方法，所述物品制造方法包括：轉印工序，使用第二方式涉及的光刻裝置將圖案轉印到基板上；以及處理工序，對所述基板進行處理，以從在所述轉印工序中轉印有所述圖案的所述基板得到物品。
5、本專利技術的第四方式涉及一種處理器，對從驅動裝置供給的信息進行處理，所述驅動裝置具備直動軸承引導件、由所述直動軸承引導件引導的移動體、驅動所述移動體的驅動部、和檢測所述驅動裝置中的振動的振動傳感器，所述驅動部包括與所述移動體一起移動的第一部件、和對所述第一部件施加力的第二部件，所述處理器具備運算部，該運算部從所述振動傳感器的輸出抽取由所述第一部件和所述第二部件的間隙的變化引起的振動的成分，并基于所述成分檢測所述直動軸承引導件的磨損。
6、本專利技術的第五方式涉及一種計算機可讀存儲介質，存儲有使計算機動作以處理從驅動裝置供給的信號的程序，所述驅動裝置具備直動軸承引導件、由所述直動軸承引導件引導的移動體、驅動所述移動體的驅動部、和檢測所述驅動裝置中的振動的振動傳感器，所述驅動部包括與所述移動體一起移動的第一部件、和對所述第一部件施加力的第二部件，所述程序使所述計算機動作，以從所述振動傳感器的輸出抽取由所述第一部件和所述第二部件的間隙的變化引起的振動的成分，并基于所述成分檢測所述直動軸承引導件的磨損。
7、本專利技術的第六方式涉及一種檢測方法，檢測具有直動軸承引導件的驅動裝置中的所述直動軸承引導件的磨損，所述驅動裝置具備由所述直動軸承引導件引導的移動體、驅動所述移動體的驅動部、和檢測所述驅動裝置中的振動的振動傳感器，所述驅動部包括與所述移動體一起移動的第一部件、和對所述第一部件施加力的第二部件，所述檢測方法包括從所述振動傳感器的輸出抽取由所述第一部件和所述第二部件的間隙的變化引起的振動的成分，并基于所述成分檢測所述直動軸承引導件的磨損的工序。
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1.一種驅動裝置，其特征在于，
2.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
4.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
5.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
6.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
7.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，
8.根據權利要求7所述的驅動裝置，其特征在于，
9.根據權利要求8所述的驅動裝置，其特征在于，
10.根據權利要求7所述的驅動裝置，其特征在于，
11.根據權利要求10所述的驅動裝置，其特征在于，
12.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，
13.根據權利要求12所述的驅動裝置，其特征在于，
14.根據權利要求12所述的驅動裝置，其特征在于，
15.一種光刻裝置，其特征在于，
16.一種物品制造方法，其特征在于，
17.一種處理器，對從驅動裝置供給的信息進行處理，其特征在
18.一種計算機可讀存儲介質，存儲有使計算機動作以處理從驅動裝置供給的信號的程序，其特征在于，
19.一種檢測方法，檢測具有直動軸承引導件的驅動裝置中的所述直動軸承引導件的磨損，其特征在于，
...【技術特征摘要】
1.一種驅動裝置，其特征在于，
2.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
4.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
5.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
6.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，
7.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，
8.根據權利要求7所述的驅動裝置，其特征在于，
9.根據權利要求8所述的驅動裝置，其特征在于，
10.根據權利要求7所述的驅動裝置，其特征在于，
11.根據權利要求10...
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