【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及陶瓷產品粗糙度檢測技術，更具體地說，它涉及一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置及方法。
技術介紹
1、硅的等離子體干法刻蝕是硅片制造中的一項關鍵工藝技術，主要作用為制作mos柵結構、器件隔離和dram?電容結構中的單晶硅槽。多晶硅柵的結構對刻蝕要求很高，接觸孔和通孔結構的制作需要刻蝕介質，從而在ild中刻蝕出窗口。多晶柵刻蝕通常采用氟基氣體。噴射氟基氣體需要用到耐腐蝕的噴嘴，即陶瓷噴嘴。由于硅片極其容易受到其他物質的污染，陶瓷噴嘴為陶瓷研磨加工，表面極易產生顆粒脫落，所以對于噴嘴表面的粗糙度值管控較高，粗糙度要求為ra0.2。一臺刻蝕設備腔體內通常要使用20-30枚陶瓷噴嘴，更換周期短。國內普遍的陶瓷噴嘴的表面粗糙度的檢測方法為人工檢測，噴嘴粗糙度檢測面較多，檢測時需要一直調換噴嘴的位置，且對于噴嘴的位置無法進行同步，受多種因素影響。綜上所述，現有的檢測粗糙度的方法很難批量檢測，無法保證陶瓷噴嘴檢測粗糙度的穩定性、同步性和正確性。
技術實現思路
1、為了克服上述不足，本專利技術提供了一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置及方法，它能實現對陶瓷噴嘴表面粗糙度的高效率、高合格率的批量檢測，人工作業少、穩定性好。
2、為了解決上述技術問題，本專利技術采用以下技術方案：一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，包括：
3、轉臺，轉臺上設置若干定位治具；
4、機械手，抓取陶瓷噴嘴轉移到定位治具上；若干定位治具實現陶瓷噴嘴的多個角度
5、粗糙度檢測儀，對若干定位治具上的陶瓷噴嘴進行多個角度位置的粗糙度檢測。
6、陶瓷噴嘴表面進行粗糙度檢測時，通過機械手實現陶瓷噴嘴的移動，將待檢測的陶瓷噴嘴轉運到轉臺上的定位治具上進行裝夾，隨著轉臺的轉動，使陶瓷噴嘴移動到粗糙度檢測儀的下方，然后粗糙度檢測儀工作對陶瓷噴嘴表面進行粗糙度檢測。最后機械手將完成檢測的陶瓷噴嘴從定位治具上取下轉運到其它地方。轉臺上設置的若干定位治具實現陶瓷噴嘴的多個角度位置的安裝，從實現陶瓷噴嘴多個角度位置的粗糙度檢測。實現了對陶瓷噴嘴表面粗糙度的高效率、高合格率的批量檢測，人工作業少、穩定性好。
7、作為優選，機械手對應設置有載料臺，載料臺上設置若干定位柱，陶瓷噴嘴套裝在定位柱上進行定位。
8、載料臺方便了陶瓷噴嘴的裝載，陶瓷噴嘴套裝到定位柱上，裝載平穩可靠，不會傾倒。待檢測的陶瓷噴嘴和檢測合格的陶瓷噴嘴均裝載在載料臺上。
9、作為優選，載料臺包括固定板和活動板，活動板可拆卸安裝在固定板上，定位柱設置在活動板上，活動板上設置托板，陶瓷噴嘴支撐在托板上。
10、陶瓷噴嘴裝載時支撐在托板上，托板對陶瓷噴嘴起到了保護作用。載料臺上的陶瓷噴嘴檢測完成后，將活動板從固定板上拆下，整個活動板直接從固定板上轉移走，將下一裝滿陶瓷噴嘴的活動板安裝到固定板上。便于實現批量作業，提高工作效率。
11、作為優選，機械手對應設置有中轉臺，中轉臺上安裝調姿電機，調姿電機輸出軸連接中轉夾爪，中轉夾爪裝夾陶瓷噴嘴后調姿電機轉動調整陶瓷噴嘴的姿態。
12、由于轉臺上的若干個定位治具實現陶瓷噴嘴的多個角度位置的安裝，因此陶瓷噴嘴裝入到定位治具的角度有所區別，而僅僅通過機械手的自身調節不能達到所需的姿態，中轉臺的設置實現了對陶瓷噴嘴姿態的調整，通過機械手將陶瓷噴嘴裝夾到中轉夾爪上，調姿電機轉動實現陶瓷噴嘴的360度旋轉，轉動到所需的姿態，然后機械手將中轉夾爪上的陶瓷噴嘴抓取轉移到定位治具上裝夾。
13、作為優選，定位治具上設置負壓吸附孔，轉臺上安裝真空罐，負壓吸附孔和真空罐通過管道連通，負壓吸附孔對定位治具上的陶瓷噴嘴負壓吸附定位。
14、陶瓷噴嘴裝夾到定位治具后，通過負壓吸附孔對定位治具上的陶瓷噴嘴負壓吸附定位，保證陶瓷噴嘴裝夾穩定可靠。
15、作為優選，機械手對應設置有緩存臺，緩存臺上設置若干裝載柱，粗糙度檢測不合格的陶瓷噴嘴套裝在裝載柱上進行緩存。
16、粗糙度檢測不合格的陶瓷噴嘴通過機械手抓取裝載到緩存臺上，陶瓷噴嘴套裝在緩存臺上的裝載柱，穩定可靠。
17、作為優選，緩存臺包括底板和移動板，移動板可拆卸連接在底板上，裝載柱設置在移動板上，移動板上安裝支撐板，粗糙度檢測不合格的陶瓷噴嘴支撐在支撐板上。
18、移動板上裝滿粗糙度檢測不合格的陶瓷噴嘴后，將整個移動板轉移到其它地方，并換上空置的移動板到底板上，有利于批量作業，提高工作效率。
19、作為優選，轉臺上安裝標定塊。
20、標定塊便于粗糙度檢測儀對陶瓷噴嘴檢測之前的校準。
21、作為優選，粗糙度檢測儀包括底座、檢測組件，底座能橫向移動，底座上設置立柱，檢測組件安裝在立柱上，檢測組件能豎向移動，檢測組件上設置檢測觸桿。
22、粗糙度檢測儀對陶瓷噴嘴進行粗糙度檢測時，底座橫向移動，檢測組件豎向移動，便于檢測操作。
23、一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測方法，利用刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置進行檢測，包括以下步驟：
24、s1，機械手抓取陶瓷噴嘴，將陶瓷噴嘴轉運到轉臺上的定位治具上；
25、s2，轉臺轉動，使定位治具上的陶瓷噴嘴經過粗糙度檢測儀下方，粗糙度檢測儀對經過的陶瓷噴嘴進行表面粗糙度檢測；
26、s3，機械手抓取檢測完成的陶瓷噴嘴并轉運到其它位置。
27、通過機械手實現陶瓷噴嘴的移動，將待檢測的陶瓷噴嘴轉運到轉臺上的定位治具上進行裝夾，隨著轉臺的轉動，使陶瓷噴嘴移動到粗糙度檢測儀的下方，然后粗糙度檢測儀工作對陶瓷噴嘴表面進行粗糙度檢測。轉臺上設置的若干定位治具實現陶瓷噴嘴的多個角度位置的安裝，從實現陶瓷噴嘴多個角度位置的粗糙度檢測。實現了對陶瓷噴嘴表面粗糙度的高效率、高合格率的批量檢測，人工作業少、穩定性好。
28、與現有技術相比，本專利技術的有益效果是：（1）本專利技術的技術方案實現了對陶瓷噴嘴表面粗糙度的高效率、高合格率的批量檢測，人工作業少、穩定性好；（2）轉臺上設置的若干定位治具實現陶瓷噴嘴的多個角度位置的安裝，從實現陶瓷噴嘴多個角度位置的粗糙度檢測。
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1.一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，包括：
2.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，機械手對應設置有載料臺，載料臺上設置若干定位柱，陶瓷噴嘴套裝在定位柱上進行定位。
3.根據權利要求2所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，載料臺包括固定板和活動板，活動板可拆卸安裝在固定板上，定位柱設置在活動板上，活動板上設置托板，陶瓷噴嘴支撐在托板上。
4.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，機械手對應設置有中轉臺，中轉臺上安裝調姿電機，調姿電機輸出軸連接中轉夾爪，中轉夾爪裝夾陶瓷噴嘴后調姿電機轉動調整陶瓷噴嘴的姿態。
5.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，定位治具上設置負壓吸附孔，轉臺上安裝真空罐，負壓吸附孔和真空罐通過管道連通，負壓吸附孔對定位治具上的陶瓷噴嘴負壓吸附定位。
6.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，機械手對應設置有緩存臺，
7.根據權利要求6所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，緩存臺包括底板和移動板，移動板可拆卸連接在底板上，裝載柱設置在移動板上，移動板上安裝支撐板，粗糙度檢測不合格的陶瓷噴嘴支撐在支撐板上。
8.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，轉臺上安裝標定塊。
9.根據權利要求1至8任意一項所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，粗糙度檢測儀包括底座、檢測組件，底座能橫向移動，底座上設置立柱，檢測組件安裝在立柱上，檢測組件能豎向移動，檢測組件上設置檢測觸桿。
10.一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測方法，其特征是，利用權利要求1至9任意一項所述的刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置進行檢測，包括以下步驟：
...【技術特征摘要】
1.一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，包括：
2.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，機械手對應設置有載料臺，載料臺上設置若干定位柱，陶瓷噴嘴套裝在定位柱上進行定位。
3.根據權利要求2所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，載料臺包括固定板和活動板，活動板可拆卸安裝在固定板上，定位柱設置在活動板上，活動板上設置托板，陶瓷噴嘴支撐在托板上。
4.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，機械手對應設置有中轉臺，中轉臺上安裝調姿電機，調姿電機輸出軸連接中轉夾爪，中轉夾爪裝夾陶瓷噴嘴后調姿電機轉動調整陶瓷噴嘴的姿態。
5.根據權利要求1所述的一種刻蝕設備用陶瓷噴嘴的表面粗糙度檢測裝置，其特征是，定位治具上設置負壓吸附孔，轉臺上安裝真空罐，負壓吸附孔和真空罐通過管道連通，負壓吸附孔對定位治具上的陶瓷噴嘴負壓吸附定位。
6.根據權利...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王軼軍，馬玉琦，閔文遠，
申請(專利權)人：杭州大和江東新材料科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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