【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體制造領域，尤其涉及一種供電板卡和半導體傳輸系統。
技術介紹
1、半導體機械手主要適應于集成電路、芯片制造等半導體前段工序，用來搬送晶圓。在磨削、拋光、刻蝕、擴散、沉積、裝配、包裝和測試等的半導體加工步驟中，機械手用于對半導體晶片進行傳輸與定位。
2、在這個過程中，通過傳感器實時感知晶圓的位置和狀態。例如，光學傳感器可以通過檢測晶圓的反射光來確認晶圓是否存在，以及晶圓的位置是否準確。位移傳感器則可以用于測量機械手的移動距離和位置，確保機械手在搬運晶圓時的準確性和穩定性。電磁閥則被用于控制機械手的動作。例如，通過控制電磁閥的開閉，可以控制機械手的氣動系統，從而實現機械手的伸縮、旋轉和升降等動作。
3、目前，半導體機械手的電磁閥和傳感器均通過跳線實現供電以及信號傳輸。然而跳線傳輸電信號穩定性較低，信號傳輸易受干擾且存在意外斷電風險，容易導致半導體機械手在工作時執行錯誤的指令，不利于半導體生產。因此，亟需一種新型的供電板卡和半導體傳輸系統以改善上述問題。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種供電板卡和半導體傳輸系統，該供電板卡用于實現半導體機械手上的傳感器供電與信號傳輸。
2、第一方面，本技術提供一種供電板卡，應用于半導體機械手，包括：設置于同一基板的控制接口和若干執行接口；每個所述執行接口電連接開關單元或傳感單元；每個執行接口均設置有第一信號端子和第一供電端子對；所述控制接口包括第二信號端子和第二供電端子對；所述第一供電端子對電連
3、本技術的方法有益效果為：本技術通過每個所述執行接口電連接開關單元或傳感單元；每個執行接口均設置有第一信號端子和第一供電端子對；實現對開關單元和傳感單元的供電和信號傳輸，無需設置跳線，有利于降低信號傳輸干擾和意外斷電，有利于提升半導體機械手在工作時的精確性。
4、可選的，每對所述第一供電端子對包括第一正極供電端子和第一負極供電端子；所述第二供電端子對包括第二正極供電端子和第二負極供電端子；所述第一正極供電端子與所述第二正極供電端子電連接；所述第一負極供電端子與所述第二負極供電端子電連接。其有益效果在于，便于為每個傳感器獨立供電。
5、可選的，還包括正極互通連線和負極互通連線；每個所述第一正極供電端子和所述第二正極供電端子均通過所述正極互通連線電連接；每個所述第一負極供電端子和所述第二負極供電端子均通過所述負極互通連線電連接。其有益效果在于，便于簡化電路，縮小板卡所需面積。
6、可選的，所述第二正極供電端子的數量設置為n，n為正整數；n個所述第二正極供電端子互相短接；所述第二負極供電端子的數量設置為m，m為正整數；m個所述第二負極供電端子互相短接。
7、可選的，所述第二信號端子的數量等于第一信號端子的數量，第二信號端子與第一信號端子一一對應電連接。
8、可選的，所述基板上設有若干鏤空部，所述控制接口和執行接口均與鏤空部相分離；所述鏤空部內設置有連接件，所述連接件的部分穿過鏤空部固定于半導體機械手的安裝部。
9、可選的，所述基板的尺寸小于或等于所述半導體機械手的安裝部尺寸。
10、可選的，所述開關單元包括電磁閥或電磁開關中的至少一種；所述傳感單元包括光電傳感器、磁性傳感器、壓力傳感器、測距傳感器、位移傳感器和接近傳感器中的至少一種。
11、第二方面，本技術提供一種半導體傳輸系統，包括所述第一方面中任一項所述的供電板卡，還包括半導體機械手、開關單元和傳感單元；所述供電板卡、開關單元和傳感單元均固定于所述半導體機械手；所述開關單元和傳感單元均與所述供電板卡的執行接口電連接；所述供電板卡的控制接口與所述控制單元電連接。
12、可選的，所述傳感單元用于檢測所述半導體機械手的工作狀態，觸發信號通過所述供電板卡發送到所述控制單元；通過所述供電板卡接收到控制信號后，所述開關單元用于調整所述半導體機械手的工作狀態。
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1.一種供電板卡，應用于半導體機械手，其特征在于，包括：設置于同一基板的控制接口和若干執行接口；
2.根據權利要求1所述的供電板卡，其特征在于，每對所述第一供電端子對包括第一正極供電端子和第一負極供電端子；所述第二供電端子對包括第二正極供電端子和第二負極供電端子；
3.根據權利要求2所述的供電板卡，其特征在于，還包括正極互通連線和負極互通連線；
4.根據權利要求2所述的供電板卡，其特征在于，所述第二正極供電端子的數量設置為N，N為正整數；N個所述第二正極供電端子互相短接；
5.根據權利要求1所述的供電板卡，其特征在于，所述第二信號端子的數量等于第一信號端子的數量，第二信號端子與第一信號端子一一對應電連接。
6.根據權利要求1所述的供電板卡，其特征在于，所述基板上設有若干鏤空部，所述控制接口和執行接口均與鏤空部相分離；
7.根據權利要求6所述的供電板卡，其特征在于，所述基板的尺寸小于或等于所述半導體機械手的安裝部尺寸。
8.根據權利要求1所述的供電板卡，其特征在于，所述開關單元包括電磁閥或電磁開關中
9.一種半導體傳輸系統，包括所述權利要求1至8中任一項所述的供電板卡，其特征在于，還包括半導體機械手、開關單元和傳感單元；
10.根據權利要求9所述的系統，其特征在于，所述傳感單元用于檢測所述半導體機械手的工作狀態，觸發信號通過所述供電板卡發送到所述控制單元；
...【技術特征摘要】
1.一種供電板卡，應用于半導體機械手，其特征在于，包括：設置于同一基板的控制接口和若干執行接口；
2.根據權利要求1所述的供電板卡，其特征在于，每對所述第一供電端子對包括第一正極供電端子和第一負極供電端子；所述第二供電端子對包括第二正極供電端子和第二負極供電端子；
3.根據權利要求2所述的供電板卡，其特征在于，還包括正極互通連線和負極互通連線；
4.根據權利要求2所述的供電板卡，其特征在于，所述第二正極供電端子的數量設置為n，n為正整數；n個所述第二正極供電端子互相短接；
5.根據權利要求1所述的供電板卡，其特征在于，所述第二信號端子的數量等于第一信號端子的數量，第二信號端子與第一信號端子一一對應電連接。
6.根據權利要求1所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱玉東，何海龍，齊茂林，羅大微，
申請(專利權)人：中科芯微智能裝備沈陽有限公司，
類型：新型
國別省市：
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