【技術實現步驟摘要】
本技術涉及晶圓清潔，具體為一種晶圓表面干燥吹掃設備。
技術介紹
1、晶圓其實就是硅，是半導體集成電路制作中最關鍵的原料，因為其外形為圓形，故稱之為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能之ic產品，被廣泛應用于半導體行業。
2、經檢所專利公開號為cn214099588u公開了晶圓表面干燥吹掃設備，包括機架、干燥架、氮氣供應裝置、清洗箱以及夾持塊，所述機架內置工作空腔，工作空腔前端設置密封門，所述機架頂端設置驅動電機，所述驅動電機輸出端設置旋轉桿，所述旋轉桿遠離驅動電機一端穿過機架側壁伸入工作空腔內，所述旋轉桿遠離驅動電機一端設置干燥架，所述干燥架矩形框架，所述干燥架左右兩側內壁設置第一液壓桿，干燥架上下兩側側壁設置第二液壓桿，所述第一液壓桿以及第二液壓桿輸出端設置夾持塊，所述夾持塊遠離干燥架側壁一端設置凹槽，所述工作空腔左側底端設置氮氣供應裝置，所述工作空腔位于干燥架左側設置氮氣噴嘴，所述氮氣供應裝置輸出端與氮氣噴嘴之間設置輸送管道。
3、然而該專利尚有不足，該種晶圓表面干燥吹掃設備在使用過程中需要將晶圓放入夾持塊內進行固定，然后工作人員等待晶圓的清洗以及烘干，最后再將晶圓拆下放入其他未清潔的晶圓進行清潔處理，清潔處理過程中需要耗費大量的等待時間，清理工作整體用時較長，清理工作效率較低，因此有必要對其進行改進。
4、為此，我們提出了一種晶圓表面干燥吹掃設備。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種晶圓表面干燥吹掃設備
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種晶圓表面干燥吹掃設備，包括底板，所述底板上固定安裝有安裝架，所述安裝架內轉動連接有連接軸，所述連接軸的外側套設有旋轉架，所述旋轉架上位于連接軸的外側設置有多個放置槽，多個所述放置槽內均插接有卡件，多個所述卡件靠近連接軸一側均設置有限位槽，多個所述卡件內遠離限位槽的一側均設置有安裝槽，每個所述安裝槽內均滑動連接有兩個滑片，兩個所述滑片相互遠離一側均固定安裝有卡銷，多個所述放置槽內對應卡銷處均預留有卡槽，兩個所述卡銷遠離滑片一側分別延伸至對應的卡槽內，且兩個所述滑片之間固定安裝有彈簧。
3、可選的，每個所述卡件的外側均套設有兩個拉桿，兩個所述拉桿均設置為u型，且每個所述拉桿的兩個輸出端均分別固定安裝在對應的滑片上，通過此種設計有利于本設備的使用。
4、可選的，多個所述滑片均設置為中字型，通過此種設計有利于本設備的使用。
5、可選的，所述安裝架的前端固定安裝有電機，所述電機的輸出端固定安裝在連接軸上，通過電機帶動連接軸轉動有利于本設備的使用。
6、可選的，所述安裝架內位于旋轉架的前后端均固定安裝有風嘴，兩個所述風嘴相互遠離一側均固定安裝有風管，通過風嘴能夠噴出氣體對晶圓表面進行清掃烘干。
7、可選的，所述安裝架的右側固定安裝有支架，所述支架內位于旋轉架的前后端均固定安裝有清洗噴嘴，兩個所述清洗噴嘴相互遠離一側均固定安裝有連接管，通過清洗噴嘴能夠噴灑清洗液對晶圓進行清洗。
8、可選的，所述支架內右側固定安裝有plc控制器，通過plc控制器便于控制本設備進行工作。
9、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
10、通過電機、連接軸、旋轉架、放置槽、卡件、限位槽、安裝槽、滑片、卡銷、拉桿、彈簧和卡槽的相互配合，能夠合理利用晶圓清洗和清掃過程中的等待時間，用于拆裝其他晶圓，縮短整體加工處理的時長，從而進一步提高了加工效率，同時晶圓的拆裝方便快捷，適用于大批量晶圓加工處理的使用。
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1.一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，包括底板（1），所述底板（1）上固定安裝有安裝架（2），所述安裝架（2）內轉動連接有連接軸（20），所述連接軸（20）的外側套設有旋轉架（19），所述旋轉架（19）上位于連接軸（20）的外側設置有多個放置槽（10），多個所述放置槽（10）內均插接有卡件（11），多個所述卡件（11）靠近連接軸（20）一側均設置有限位槽（12），多個所述卡件（11）內遠離限位槽（12）的一側均設置有安裝槽（13），每個所述安裝槽（13）內均滑動連接有兩個滑片（14），兩個所述滑片（14）相互遠離一側均固定安裝有卡銷（15），多個所述放置槽（10）內對應卡銷（15）處均預留有卡槽（18），兩個所述卡銷（15）遠離滑片（14）一側分別延伸至對應的卡槽（18）內，且兩個所述滑片（14）之間固定安裝有彈簧（17）。
2.根據權利要求1所述的一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，每個所述卡件（11）的外側均套設有兩個拉桿（16），兩個所述拉桿（16）均設置為U型，且每個所述拉桿（16）的兩個輸出端均分別固定安裝在對應的滑片（14）上。
3.根據
4.根據權利要求1所述的一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，所述安裝架（2）的前端固定安裝有電機（5），所述電機（5）的輸出端固定安裝在連接軸（20）上。
5.根據權利要求1所述的一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，所述安裝架（2）內位于旋轉架（19）的前后端均固定安裝有風嘴（7），兩個所述風嘴（7）相互遠離一側均固定安裝有風管（8）。
6.根據權利要求1所述的一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，所述安裝架（2）的右側固定安裝有支架（3），所述支架（3）內位于旋轉架（19）的前后端均固定安裝有清洗噴嘴（6），兩個所述清洗噴嘴（6）相互遠離一側均固定安裝有連接管（9）。
7.根據權利要求6所述的一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，所述支架（3）內右側固定安裝有PLC控制器（4）。
...【技術特征摘要】
1.一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，包括底板（1），所述底板（1）上固定安裝有安裝架（2），所述安裝架（2）內轉動連接有連接軸（20），所述連接軸（20）的外側套設有旋轉架（19），所述旋轉架（19）上位于連接軸（20）的外側設置有多個放置槽（10），多個所述放置槽（10）內均插接有卡件（11），多個所述卡件（11）靠近連接軸（20）一側均設置有限位槽（12），多個所述卡件（11）內遠離限位槽（12）的一側均設置有安裝槽（13），每個所述安裝槽（13）內均滑動連接有兩個滑片（14），兩個所述滑片（14）相互遠離一側均固定安裝有卡銷（15），多個所述放置槽（10）內對應卡銷（15）處均預留有卡槽（18），兩個所述卡銷（15）遠離滑片（14）一側分別延伸至對應的卡槽（18）內，且兩個所述滑片（14）之間固定安裝有彈簧（17）。
2.根據權利要求1所述的一種晶圓表面干燥吹掃設備，其特征在于，每個所述卡件（11）的外側均套設有兩個拉桿（16），兩個所述拉桿（16）均設置為u型，且每個所述拉桿...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陸先鋒，
申請(專利權)人：無錫頌林達科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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