【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及微光機(jī)電，尤其是涉及一種振鏡裝置及mems振鏡集成產(chǎn)品。
技術(shù)介紹
1、微機(jī)電系統(tǒng)(micro?electro?mechanical?system，mems)振鏡是一種采用mems技術(shù)制造的，在驅(qū)動(dòng)器作用下反射鏡按照一定規(guī)律偏轉(zhuǎn)的器件。目前，mems振鏡在許多領(lǐng)域中均得到廣泛應(yīng)用，如光通信、激光投影、三維成像、激光雷達(dá)等。
2、現(xiàn)有的振鏡裝置，反射鏡的偏轉(zhuǎn)角度檢測(cè)通常采用壓阻傳感器進(jìn)行測(cè)試，壓阻傳感器是通過mems工藝集成在扭轉(zhuǎn)軸附近，振鏡工作時(shí)，扭轉(zhuǎn)軸上應(yīng)力發(fā)生相應(yīng)變化，壓阻傳感器檢測(cè)到應(yīng)力變化，獲得振鏡工作角度。但是，由于在振鏡封裝時(shí)，封裝材料通常與芯片材料不同，其熱膨脹系數(shù)存在差異，會(huì)導(dǎo)致熱膨脹系數(shù)不匹配引起熱應(yīng)力，會(huì)影響壓阻傳感器性能，導(dǎo)致反射鏡的偏轉(zhuǎn)角度檢測(cè)不準(zhǔn)確，進(jìn)而會(huì)影響到振鏡裝置的整體工作性能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決現(xiàn)有存在的技術(shù)問題，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N反射鏡偏轉(zhuǎn)的檢測(cè)和控制更加精準(zhǔn)、工作性能提升的振鏡裝置及mems振鏡集成產(chǎn)品。
2、第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N振鏡裝置，包括：
3、框架，包括固定結(jié)構(gòu)及通過慢轉(zhuǎn)軸梁與所述固定結(jié)構(gòu)連接的可動(dòng)框架；
4、反射鏡，通過快轉(zhuǎn)軸梁與所述可動(dòng)框架連接；
5、傳感組件，包括對(duì)應(yīng)所述慢轉(zhuǎn)軸梁設(shè)置的第一傳感元件、和/或?qū)?yīng)所述快轉(zhuǎn)軸梁設(shè)置的第二傳感元件；
6、應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)，包括設(shè)于所述慢轉(zhuǎn)軸梁外側(cè)的應(yīng)力隔離槽，用于隔離垂直于所述應(yīng)力隔離槽延伸方向上的應(yīng)力傳
7、第二方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环Nmems振鏡集成產(chǎn)品，包括本申請(qǐng)任一實(shí)施例所述的振鏡裝置；
8、所述mems振鏡集成產(chǎn)品為如下之一：光通信系統(tǒng)、激光雷達(dá)系統(tǒng)、激光投影系統(tǒng)、三維成像系統(tǒng)。
9、上述實(shí)施例所提供的振鏡裝置，通過于慢轉(zhuǎn)軸梁外側(cè)設(shè)置應(yīng)力隔離槽，用于隔離垂直于應(yīng)力隔離槽延伸方向上的應(yīng)力傳遞，從而減小或消除由于振鏡裝置封裝材料與芯片材料不同導(dǎo)致熱膨脹系數(shù)不匹配而引起的熱應(yīng)力對(duì)于傳感組件檢測(cè)反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的精度影響，獲得高精度的反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的檢測(cè)信號(hào)，反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的檢測(cè)更加精準(zhǔn)，進(jìn)而對(duì)反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的控制也可以更加精準(zhǔn)，由此可以提升振鏡裝置的整體工作性能。
10、上述實(shí)施例中，mems振鏡集成產(chǎn)品與對(duì)應(yīng)的振鏡裝置實(shí)施例屬于同一構(gòu)思，從而與各個(gè)振鏡裝置實(shí)施例具有相同的技術(shù)效果，在此不再贅述。
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1.一種振鏡裝置，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡裝置，其特征在于，所述慢轉(zhuǎn)軸梁包括與可動(dòng)框架連接的第一連接端、從所述第一連接端向內(nèi)彎折延伸形成包含多個(gè)平行的直線段的主梁部及將所述主梁部與固定結(jié)構(gòu)連接的第二連接端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振鏡裝置，其特征在于，所述慢轉(zhuǎn)軸梁中，與固定結(jié)構(gòu)連接處對(duì)齊的直線段位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振鏡裝置，其特征在于，所述第一連接端和所述第二連接端分別位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線的相對(duì)兩側(cè)，所述第一傳感元件設(shè)于所述第二連接端的端部，且位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振鏡裝置，其特征在于，所述應(yīng)力隔離槽包括第一方向隔離槽，用于減小垂直于所述第一方向的第二方向上的軸應(yīng)力；
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振鏡裝置，其特征在于，所述應(yīng)力隔離槽還包括第二方向隔離槽，用于減小垂直于所述第二方向的第一方向上的軸應(yīng)力；
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡裝置，其特征在于，所述應(yīng)力隔離槽包括設(shè)于所述慢轉(zhuǎn)軸梁遠(yuǎn)離與可動(dòng)框架連接的一端外側(cè)的橫向整體槽，所
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡裝置，其特征在于，所述快轉(zhuǎn)軸梁包括梁部主體及與反射鏡連接的過渡連接端；
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振鏡裝置，其特征在于，所述中心梁的寬度大于所述擴(kuò)展梁的寬度；和/或，
10.一種MEMS振鏡集成產(chǎn)品，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的振鏡裝置；
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種振鏡裝置，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡裝置，其特征在于，所述慢轉(zhuǎn)軸梁包括與可動(dòng)框架連接的第一連接端、從所述第一連接端向內(nèi)彎折延伸形成包含多個(gè)平行的直線段的主梁部及將所述主梁部與固定結(jié)構(gòu)連接的第二連接端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振鏡裝置，其特征在于，所述慢轉(zhuǎn)軸梁中，與固定結(jié)構(gòu)連接處對(duì)齊的直線段位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振鏡裝置，其特征在于，所述第一連接端和所述第二連接端分別位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線的相對(duì)兩側(cè)，所述第一傳感元件設(shè)于所述第二連接端的端部，且位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振鏡裝置，其特征在于，所述應(yīng)力隔離槽包括第一方向隔離槽，用于減小垂直于所述第一方向的第二方向上的軸應(yīng)力...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：熊筆鋒，倪偉鑒，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：覺芯電子無錫有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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