【技術實現步驟摘要】
本技術涉及硅片生產，尤其是涉及一種硅片緩存系統。
技術介紹
1、硅片生產制造過程包括多個工序，例如線切、脫膠、酸蝕和清洗等，各個工序之間存在有硅片的轉運。
2、在硅片制造過程中常有上、下游工序出現瞬時產能差過大，導致其中一工序被逼停止下料、無法釋放產能而停機的現象。比如線切工序和脫膠工序，現有技術中晶棒經線切機切割完成后，機械臂進行下料操作，下料完成后硅片儲存在料框中經輸送帶周轉，排隊進入脫膠機中進行脫膠操作；而在實際生產中，通常多臺線切機對應一臺脫膠機，線切工序下料無法做到均勻下料，存在集中下料的情況，當出現集中下料時，線切工序瞬時產出遠大于脫膠工序的產能，導致輸送帶上的儲存位存滿，倒逼下料機械臂停止下料，線切工序無法及時釋放產能而停機。此外，現有技術中輸送帶輸送硅片時，硅片暴露在空氣中，時間長了會導致臟花等異常，影響產品質量，這也直接導致不能通過直接延長輸送帶、并增加輸送帶上的儲存位來解決上述問題。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種硅片緩存系統，以解決上述背景中的問題。
2、本技術的第一目的是提供一種硅片緩存系統，循環運行于具有產能差的生產工序之間，其包括：承載裝置；識別裝置，用以識別所述承載裝置的屬性信息；緩存單元，用以轉運所述承載裝置；控制裝置，用以接收并分析所述屬性信息，控制所述承載裝置的轉運方向。
3、在一些可行的技術方案中，所述緩存單元包括：輸送線，可向生產工序一和/或生產工序二轉運所述承載裝置；緩存庫，其中設有n(n≥2
4、在一些可行的技術方案中，所述輸送線包括：第一輸送線，可向遠離所述生產工序一的方向轉運所述承載裝置；第二輸送線，可向遠離所述生產工序二的方向轉運所述承載裝置。
5、在一些可行的技術方案中，所述第一輸送線上設有出口一和出口二，所述承載裝置由所述出口一輸出至所述生產工序二或所述第二輸送線，或者由所述出口二輸出至所述緩存庫。
6、在一些可行的技術方案中，所述移載裝置a和所述移載裝置b分別包括提升機、堆垛機、機械臂和agv車中的任意一種或幾種。
7、在一些可行的技術方案中，所述控制裝置中設有mes控制終端，其中配置有wms系統，還配置有plc控制系統和agv控制系統中的至少一種。
8、在一些可行的技術方案中，所述識別裝置包括：信息標識，其設置于所述承載裝置上；讀取器，其設置于所述緩存單元中，用于讀取所述信息標識。
9、在一些可行的技術方案中，所述信息標識為二維碼標志、條形碼標志或電子芯片，所述讀取器為條碼讀取器或芯片識別器。
10、在一些可行的技術方案中，所述承載裝置中配置有硅片保護介質。
11、本技術的另一目的是提供一種基于上述的硅片緩存系統所實現的硅片緩存方法，其步驟包括：啟動位于具有產能差的生產工序一和生產工序二之間的緩存單元，以轉運無料的承載裝置；識別裝置識別承載裝置的屬性信息，并傳遞至控制裝置；控制裝置分析生產工序一和生產工序二的運行狀態以及所述屬性信息，調控緩存單元對承載裝置的轉運方向。
12、在一些可行的技術方案中，其中的控制裝置：依據生產工序一的下料信號和/或承載裝置的屬性信息，判斷承載裝置中是否有料及儲料時長；依據生產工序二的上、下料信號及生產工序二的機位總數，判斷生產工序二是否有空閑機位及忙位的剩余耗時；依據緩存單元對承載裝置的轉運方向及緩存庫中的庫位總數，判斷緩存庫中空閑庫位的數量。
13、在一些可行的技術方案中，若生產工序二有空閑機位，緩存庫中不存在有料的承載裝置，則有料的承載裝置被轉運至生產工序二。
14、在一些可行的技術方案中，緩存庫中存在有料的承載裝置且有空閑庫位，則有料的承載裝置被轉運至緩存庫。
15、在一些可行的技術方案中，若生產工序二無空閑機位，緩存庫中無空閑庫位，則有料的承載裝置在輸送線和移載裝置a上循環轉運。
16、在一些可行的技術方案中，控制裝置依據承載裝置的儲料時長及指定的上限時長，判斷是否將其優先轉運至生產工序二。
17、本技術具有的有益效果是：利用盛有硅片保護介質的承載裝置對硅片進行儲存，并根據生產工序二的閑忙狀態，有序轉運承載裝置，通過承載裝置運送路徑或存放時間，來平衡線生產工序一和生產工序二之間的產能差，使生產順行并提高生產效率，同時避免非計劃性停機帶來的損失。
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1.一種硅片緩存系統，循環運行于具有產能差的生產工序之間，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種硅片緩存系統，其中，所述輸送線包括：
3.根據權利要求2所述的一種硅片緩存系統，其中，所述第一輸送線上設有出口一和出口二，所述承載裝置由所述出口一輸出至所述生產工序二或所述第二輸送線，或者由所述出口二輸出至所述緩存庫。
4.根據權利要求1-3任一項所述的一種硅片緩存系統，其中，所述移載裝置A和所述移載裝置B分別包括提升機、堆垛機、機械臂和AGV車中的任意一種或幾種。
5.根據權利要求4所述的一種硅片緩存系統，其中，所述控制裝置中設有MES控制終端，其中配置有WMS系統，還配置有PLC控制系統和AGV控制系統中的至少一種。
6.根據權利要求1-3、5任一項所述的一種硅片緩存系統，其中，所述識別裝置包括：
7.根據權利要求6所述的一種硅片緩存系統，其中，所述信息標識為二維碼標志、條形碼標志或電子芯片，所述讀取器為條碼讀取器或芯片識別器。
8.根據權利要求1-3、5、7任一項所述的一種硅片緩存系統，
...【技術特征摘要】
1.一種硅片緩存系統，循環運行于具有產能差的生產工序之間，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種硅片緩存系統，其中，所述輸送線包括：
3.根據權利要求2所述的一種硅片緩存系統，其中，所述第一輸送線上設有出口一和出口二，所述承載裝置由所述出口一輸出至所述生產工序二或所述第二輸送線，或者由所述出口二輸出至所述緩存庫。
4.根據權利要求1-3任一項所述的一種硅片緩存系統，其中，所述移載裝置a和所述移載裝置b分別包括提升機、堆垛機、機械臂和agv車中的任意一種或幾種。
...【專利技術屬性】
技術研發人員：王陽，林萬全，韓松，茍佳琳，劉玉鑫，
申請(專利權)人：天津市環智新能源技術有限公司，
類型：新型
國別省市：
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