【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，屬于半導體加工輔助治具。
技術(shù)介紹
1、隨著半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，越來越的企業(yè)擴產(chǎn)或加入到芯片制造行業(yè)。因此對于芯片外延生產(chǎn)過程中的石墨治具需求量，也是越來越大；而一種穩(wěn)定且使用壽命長的外延石墨治具，對于外延的產(chǎn)量有極大的影響。晶圓置于石墨托盤上，石墨托盤和底座采用定位軸來限位，當前的定位軸在使用過程中會影響托盤的平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，在維護過程中容易卡住斷裂。為進一步改進石墨治具的結(jié)構(gòu)，提高石墨托盤和定位軸的使用壽命，避免磨損帶來的掉粉污染晶圓表面。本專利技術(shù)針對定位軸和石墨托盤定位安裝結(jié)構(gòu)提出了新的設計方案。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本技術(shù)提供一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，具體技術(shù)方案如下。
2、一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，包括定位軸和石墨托盤，所述定位軸位于所述石墨托盤的下方且定位于所述石墨托盤的中心，其特征在于，所述定位軸的頂端為弧頂結(jié)構(gòu)，所述石墨托盤下表面的中心具有與所述弧頂結(jié)構(gòu)相配合的凹槽。
3、進一步地，所述弧頂結(jié)構(gòu)具有球形表面或者橢球形表面，所述凹槽也具有相應的球形表面或者橢球形表面。優(yōu)選地，所述弧頂結(jié)構(gòu)的球面直徑小于所述凹槽的球面直徑。
4、進一步地，所述定位軸的下端固定于底座，所述底座內(nèi)設置有若干導氣通道，若干所述導氣通道的出氣口位于所述底座的上表面，且若干所述出氣口圍繞所述定位軸設置。
5、優(yōu)選地，所述導氣通道相對于所述定位軸傾斜設置。
6、進一步地，所述石墨托盤的
7、進一步地，所述定位軸采用石墨制成。
8、采用本技術(shù)的技術(shù)方案，石墨托盤采用氣浮驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，導氣通道內(nèi)吹出的氣流使得石墨托盤保持一定的速度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)的石墨托盤被定位軸支撐于中心，大致處于單點支撐狀態(tài)，由于定位軸位于石墨托盤的中心，根據(jù)平衡的原則，旋轉(zhuǎn)的石墨托盤會保持水平狀態(tài)。另外，球面光潔且石墨具備自潤滑作用，摩擦摩擦系數(shù)小，定位軸和石墨托盤的凹槽不容易出現(xiàn)磨損掉粉，避免或減少對晶圓表面產(chǎn)生污染；假如定位軸和石墨托盤之間產(chǎn)生少量摩擦掉粉，因為定位軸的頂端是球面，石墨粉塵也不會滯留進一步破壞定位軸和石墨托盤的配合面。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護點】
1.一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，包括定位軸(1)和石墨托盤(2)，所述定位軸(1)位于所述石墨托盤(2)的下方且定位于所述石墨托盤(2)的中心，其特征在于，所述定位軸(1)的頂端為弧頂結(jié)構(gòu)，所述石墨托盤(2)下表面的中心具有與所述弧頂結(jié)構(gòu)相配合的凹槽(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述弧頂結(jié)構(gòu)具有球形表面或者橢球形表面，所述凹槽(3)也具有相應的球形表面或者橢球形表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述弧頂結(jié)構(gòu)的球面直徑小于所述凹槽(3)的球面直徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定位軸(1)的下端固定于底座(4)，所述底座(4)內(nèi)設置有若干導氣通道(5)，若干所述導氣通道(5)的出氣口(6)位于所述底座(4)的上表面，且若干所述出氣口(6)圍繞所述定位軸(1)設置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導氣通道(5)相對于所述定位軸(1)傾斜設置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延治具的安裝結(jié)
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定位軸(1)采用石墨制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述底座(4)和所述石墨托盤(2)之間的間隙為1mm-2mm。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，包括定位軸(1)和石墨托盤(2)，所述定位軸(1)位于所述石墨托盤(2)的下方且定位于所述石墨托盤(2)的中心，其特征在于，所述定位軸(1)的頂端為弧頂結(jié)構(gòu)，所述石墨托盤(2)下表面的中心具有與所述弧頂結(jié)構(gòu)相配合的凹槽(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述弧頂結(jié)構(gòu)具有球形表面或者橢球形表面，所述凹槽(3)也具有相應的球形表面或者橢球形表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述弧頂結(jié)構(gòu)的球面直徑小于所述凹槽(3)的球面直徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延治具的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定位軸(1)的下端固定于底座(4)，所述底座(4...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉灘，王良均，吳承晚，
申請(專利權(quán))人：湖南聯(lián)合半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。