【技術實現步驟摘要】
本公開涉及半導體加工，具體涉及一種測溫設備。
技術介紹
1、在半導體制造過程中，擴散設備是確保產品質量和性能穩定的關鍵設備。常見的擴散設備，如臥式爐和立式爐，通過精確控制加熱過程來滿足不同工藝要求。然而，隨著設備的使用和多次工藝過程的進行，加熱均勻性問題逐漸凸顯，這直接影響到工藝產品的優良率。為了確保擴散設備的加熱均勻性，需要對設備的多個爐管的恒溫區及恒溫區的多個分段進行精確的溫度測量和校準。這就需要通過手工搬運或通過設備移動的方式調整測溫件的位置。
2、然而，目前在實際操作中，用于測溫件移動的設備通常移動和收納所占用的空間較大，使用不夠方便。
技術實現思路
1、有鑒于此，本公開實施例提供了一種測溫設備，解決了相關技術中用于測溫件移動的設備通常移動和收納占用空間較大的問題。
2、第一方面，本公開的實施例提供了一種測溫設備，應用于擴散設備，所述擴散設備具有恒溫區；其中，所述測溫設備包括：測溫件，被配置為能夠插入所述恒溫區；移動機構，與所述測溫件連接，所述移動機構被配置為驅動所述測溫件往復移動，以進入或離開所述恒溫區；升降機構，被配置為驅動所述移動機構升降；旋轉機構，連接所述移動機構和所述升降機構，所述旋轉機構被配置為使所述移動機構能夠在第一位置和第二位置之間旋轉；其中，在所述第一位置，所述移動機構沿第一方向延伸，所述第一方向與豎直方向交叉，在所述第二位置，所述移動機構沿豎直方向延伸；其中，在所述測溫件執行測溫作業的情況下，所述移動機構位于所述第一位置；在所述測
3、在一些實施例中，所述旋轉機構包括：轉軸結構，與所述升降機構的活動端連接，所述轉軸結構的軸線水平；轉動座，與所述轉軸結構轉動連接，并與所述移動機構固定連接；限位組件，所述限位組件被配置為能夠在所述移動機構處于所述第一位置或所述第二位置的情況下對所述移動機構進行定位。
4、在一些實施例中，所述轉動座設置有導向槽，所述導向槽為弧形槽；所述限位組件包括：限位銷，與所述弧形槽可滑動地插接配合，并與所述升降機構的活動端固定連接，所述限位銷被配置為：在所述移動機構處于所述第一位置的情況下與所述弧形槽的一端的內壁抵接，在所述移動機構處于所述第二位置的情況下與所述弧形槽的另一端的內壁抵接。
5、在一些實施例中，還包括：限位支撐件，與所述升降機構的活動端可拆卸連接；在所述移動機構處于所述第一位置，且所述限位支撐件與所述升降機構的活動端連接的情況下，所述限位支撐件對所述移動機構進行支撐限位。
6、在一些實施例中，所述移動機構包括：滑座，與所述升降機構連接；移動滑塊，與所述滑座滑動連接，并與所述測溫件連接；移動驅動組件，連接所述移動滑塊，所述移動驅動組件被配置為驅動所述移動滑塊沿所述滑座往復滑動。
7、在一些實施例中，所述擴散設備還包括氣柜平臺，所述移動機構還包括：固定座，分別與所述升降機構和所述滑座固定連接；至少兩個側向限位件，與所述氣柜平臺固定連接，分置于所述固定座的兩側，并與所述固定座可滑動地接觸配合；端部限位件，位于所述側向限位件靠近所述恒溫區的一側，所述端部限位件分別與至少兩個所述側向限位件固定連接或與所述氣柜平臺固定連接。
8、在一些實施例中，至少兩個所述側向限位件朝向所述固定座的一側設置有滾動件，所述滾動件與所述固定座滾動接觸。
9、在一些實施例中，所述升降機構包括：支撐組件；連接件，與所述支撐組件滑動連接，并與所述移動機構連接；升降驅動組件，與所述連接件連接，所述升降驅動組件被配置為驅動所述連接件沿豎直方向運動，以帶動所述移動機構沿豎直方向運動。
10、在一些實施例中，所述升降驅動組件包括：第一同步帶組件，豎向設置于所述支撐組件，所述第一同步帶組件包括第一帶體，所述第一帶體與所述連接件固定連接；驅動源，連接所述第一同步帶組件，用于驅動所述第一同步帶組件運行。
11、在一些實施例中，所述驅動源包括：手動輪，可轉動地設置于所述支撐組件，并與所述第一同步帶組件連接；或者，所述驅動源包括：旋轉電機，與所述支撐組件固定連接，所述旋轉電機的輸出軸與所述第一同步帶組件連接。
12、在一些實施例中，所述升降驅動組件還包括：第二同步帶組件，所述第二同步帶組件分別與所述驅動源和所述第一同步帶組件連接。
13、在一些實施例中，所述升降機構還包括：張緊組件，設置于所述支撐組件，所述張緊組件被配置為能夠調節所述第一同步帶組件和所述第二同步帶組件中的至少一者的張緊度。
14、在一些實施例中，所述升降機構還包括：配重組件，設置于所述支撐組件，與所述連接件或所述升降驅動組件連接，所述配重組件被配置為向所述連接件提供向上的拉力。
15、在一些實施例中，所述配重組件包括：配重件；導輪，與所述支撐組件轉動連接，所述導輪位于所述連接件和所述配重件的上方；牽引索，分別與所述配重件和所述連接件連接，所述牽引索位于所述配重件和所述連接件之間的部分與所述導輪的上側搭接配合，或者，所述牽引索分別與所述配重件和所述升降驅動組件連接，所述牽引索位于所述配重件和所述升降驅動組件之間的部分與所述導輪的上側搭接配合。
16、本公開的實施例提供的一種測溫設備，可以實現測溫件的移動和升降，滿足擴散設備的測溫需求，通過測溫設備替代手動操作，不僅有助于降低操作難度，提高生產效率，還利于提高溫度數據的準確性，優化半導體擴散設備的加熱均勻性，提升工藝產品的優良率，并且，由于移動機構與升降機構之間轉接配合，在需要移動或收納測溫設備時，可以將移動機構調整至沿豎直方向，減小空間占用，使移動或收納操作更方便。
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1.一種測溫設備，其特征在于，應用于擴散設備，所述擴散設備具有恒溫區；
2.根據權利要求1所述的測溫設備，其特征在于，所述旋轉機構包括：
3.根據權利要求2所述的測溫設備，其特征在于，所述轉動座設置有導向槽，所述導向槽為弧形槽；
4.根據權利要求2或3所述的測溫設備，其特征在于，還包括：
5.根據權利要求1至3任一項所述的測溫設備，其特征在于，所述移動機構包括：
6.根據權利要求5所述的測溫設備，其特征在于，所述擴散設備還包括氣柜平臺，所述移動機構還包括：
7.根據權利要求6所述的測溫設備，其特征在于，至少兩個所述側向限位件朝向所述固定座的一側設置有滾動件，所述滾動件與所述固定座滾動接觸。
8.根據權利要求1至3任一項所述的測溫設備，其特征在于，所述升降機構包括：
9.根據權利要求8所述的測溫設備，其特征在于，所述升降驅動組件包括：
10.根據權利要求9所述的測溫設備，其特征在于，
11.根據權利要求9所述的測溫設備，其特征在于，所述升降驅動組件還包括：
...【技術特征摘要】
1.一種測溫設備，其特征在于，應用于擴散設備，所述擴散設備具有恒溫區；
2.根據權利要求1所述的測溫設備，其特征在于，所述旋轉機構包括：
3.根據權利要求2所述的測溫設備，其特征在于，所述轉動座設置有導向槽，所述導向槽為弧形槽；
4.根據權利要求2或3所述的測溫設備，其特征在于，還包括：
5.根據權利要求1至3任一項所述的測溫設備，其特征在于，所述移動機構包括：
6.根據權利要求5所述的測溫設備，其特征在于，所述擴散設備還包括氣柜平臺，所述移動機構還包括：
7.根據權利要求6所述的測溫設備，其特征在于，至少兩個所述側向限位件朝向所述固定座的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：龍占勇，李東林，張健寧，
申請(專利權)人：拉普拉斯廣州半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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