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    一種硅棒開方機制造技術

    技術編號:42782874 閱讀:17 留言:0更新日期:2024-09-21 00:42
    本申請公開了一種硅棒開方機,涉及硅棒開方的技術領域,包括兩個端部固定爪設置在框架內并且沿硅棒的長度方向的相對兩端固定硅棒;切割架從硅棒的一端移動至另一端以實現硅棒的開方;設置在框架內的抱臂夾爪并且在硅棒的上方可相對于硅棒沿豎直方向升降運動以下降至抱住硅棒的側壁和上升至脫離硅棒的側壁;當切割架從硅棒的一端向另一端移動過程中經過抱臂夾爪的下方后,控制器控制抱臂夾爪下降至抱住硅棒的側壁。本申請能夠通過在水平加工的開方機兩端固定組件,以及在晶棒的中部設置固定組件用于對邊皮進行固定,大大降低了晶棒加工中底部崩邊的現象,減少了硅料的浪費,提高了生產效率和經濟效益。

    【技術實現步驟摘要】

    本申請涉及晶棒的,具體涉及一種硅棒開方機


    技術介紹

    1、單晶硅在拉制完成后,需要經過截斷、開方、磨倒三個工序加工后得以實現、其中,開方是指把截斷出的不同長度的單晶圓硅棒切成長方體型。在開方工序中,通過利用金剛線將圓棒狀的晶棒切割成長方體型的方棒毛坯,此過程中會產生四塊形狀不規則的余料,即邊皮。邊皮沒有得到支撐的情況下,在重力作用下掉落,從而造成方棒底部的崩邊。

    2、現有的開方機采用垂直開方的加工方式,來降低崩邊問題的產生,具體的通過在底部設置支撐組件來對邊皮進支撐,但是垂直加工的方式不利于自動化的操作,并且開方完成后需要通過機械臂旋轉將方棒水平放置,在翻轉過程中容易出現滑落,損傷方棒的情況;并且,垂直加工對于設備的強度以及可靠性要求較高,現有的設備對晶線檢測誤差較大,廢品率過高,不利于方棒的高效生產。


    技術實現思路

    1、為了解決上述
    技術介紹
    中提到的至少一個問題,本申請提供了一種硅棒開方機,通過在水平加工的開方機兩端固定組件,以及在硅棒的中部設置固定組件用于對邊皮進行固定,大大降低了硅棒加工中底部崩邊的現象,減少了硅料的浪費,提高了生產效率和經濟效益。

    2、本申請實施例提供的具體技術方案如下:

    3、提供一種硅棒開方機,包括:

    4、框架,所述硅棒水平設置在所述框架內;

    5、端部固定爪,兩個所述端部固定爪設置在所述框架內并且沿硅棒的長度方向的相對兩端固定所述硅棒;

    6、切割架,所述切割架設置在所述框架內并且其上分布有“井”字型切割線,所述切割架從所述硅棒的一端移動至另一端以實現硅棒的開方;

    7、抱臂夾爪,所述抱臂夾爪設置在所述框架內并且在所述硅棒的上方可相對與所述硅棒沿豎直方向升降運動以下降至抱住所述硅棒的側壁和上升至脫離所述硅棒的側壁;

    8、控制器,設置在所述框架上,并且被配置為當所述切割架從所述硅棒的一端向另一端移動過程中經過所述抱臂夾爪的下方后,控制所述抱臂夾爪下降至抱住所述硅棒的側壁。

    9、在一個具體的實施例中,還包括伸縮桿,所述伸縮桿的下端連接所述抱臂夾爪并且驅動所述抱臂夾爪在所述硅棒的上方可相對與所述硅棒沿豎直方向升降運動。

    10、在一個具體的實施例中,所述抱臂夾爪包括鉸接于所述伸縮桿下端的第一抱臂和第二抱臂,所述第一抱臂和所述第二抱臂為半圓形并且拼接后為圓形以抱住所述硅棒的側壁。

    11、在一個具體的實施例中,所述端部固定爪包括支撐臺和安裝在所述支撐臺一側的伸縮氣缸,其中所述伸縮氣缸遠離所述支撐臺的一端抵緊所述硅棒的端部。

    12、在一個具體的實施例中,至少一個所述支撐臺沿所述硅棒的長度方向可移動設置。

    13、在一個具體的實施例中,所述伸縮桿上設置有伸縮調節件,所述伸縮調節件的一端與所述伸縮桿側壁鉸接,另一端與所述第一抱臂或者所述第二抱臂鉸接。

    14、在一個具體的實施例中,所述第一抱臂和所述第二抱臂內側壁設置有氣囊,所述伸縮桿上連接有氣管,所述氣管的一端與外部供氣系統連通,另一端與所述氣囊連通。

    15、在一個具體的實施例中,所述氣囊表面設置為凹凸形。

    16、在一個具體的實施例中,所述伸縮氣缸的伸縮方向垂直于所述支撐臺,并且所述伸縮氣缸設置有若干個。

    17、在一個具體的實施例中,所述支撐臺下部設置有升降座。

    18、本申請實施例具有如下有益效果:

    19、1.本申請實施例提供的端部固定爪從硅棒的兩端抵觸并固定硅棒,然后開始對硅棒進行開方,當開方到預設位置后,調節伸縮桿帶動抱臂夾爪向下運動到靠近硅棒的位置,然后第一抱臂和第二抱臂打開并同時包裹固定在硅棒的外周,可以實現對硅棒外側壁的四片開方,同時通過控制器在硅棒的中部設置固定組件用于對邊皮進行固定,大大降低了硅棒加工中底部崩邊的現象,減少了硅料的浪費,提高了生產效率和經濟效益。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種硅棒開方機,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的硅棒開方機,其特征在于,還包括伸縮桿(2),所述伸縮桿(2)的下端連接所述抱臂夾爪(3)并且驅動所述抱臂夾爪(3)在所述硅棒(11)的上方可相對于所述硅棒(11)沿豎直方向升降運動。

    3.根據權利要求2所述的硅棒開方機,其特征在于,所述抱臂夾爪(3)包括鉸接于所述伸縮桿(2)下端的第一抱臂(4)和第二抱臂(5),所述第一抱臂(4)和所述第二抱臂(5)為半圓形并且拼接后為圓形以抱住所述硅棒(11)的側壁。

    4.根據權利要求1~3中任一項所述的硅棒開方機,其特征在于,所述端部固定爪(1)包括支撐臺(101)和安裝在所述支撐臺(101)一側的伸縮氣缸(102),其中所述伸縮氣缸(102)遠離所述支撐臺(101)的一端抵緊所述硅棒(11)的端部。

    5.根據權利要求4所述的硅棒開方機,其特征在于,至少一個所述支撐臺(101)沿所述硅棒(11)的長度方向可移動設置。

    6.根據權利要求3所述的硅棒開方機,其特征在于,所述伸縮桿(2)上設置有伸縮調節件(6),所述伸縮調節件(6)的一端與所述伸縮桿(2)側壁鉸接,另一端與所述第一抱臂(4)或者所述第二抱臂(5)鉸接。

    7.根據權利要求3或者6所述的硅棒開方機,其特征在于,所述第一抱臂(4)和所述第二抱臂(5)內側壁設置有氣囊(7),所述伸縮桿(2)上連接有氣管(8),所述氣管(8)的一端與外部供氣系統連通,另一端與所述氣囊(7)連通。

    8.根據權利要求7所述的硅棒開方機,其特征在于,所述氣囊(7)表面設置為凹凸形。

    9.根據權利要求4所述的硅棒開方機,其特征在于,所述伸縮氣缸(102)的伸縮方向垂直于所述支撐臺(101),并且所述伸縮氣缸(102)設置有若干個。

    10.根據權利要求9所述的硅棒開方機,其特征在于,所述支撐臺(101)下部設置有升降座(10)。

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種硅棒開方機,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的硅棒開方機,其特征在于,還包括伸縮桿(2),所述伸縮桿(2)的下端連接所述抱臂夾爪(3)并且驅動所述抱臂夾爪(3)在所述硅棒(11)的上方可相對于所述硅棒(11)沿豎直方向升降運動。

    3.根據權利要求2所述的硅棒開方機,其特征在于,所述抱臂夾爪(3)包括鉸接于所述伸縮桿(2)下端的第一抱臂(4)和第二抱臂(5),所述第一抱臂(4)和所述第二抱臂(5)為半圓形并且拼接后為圓形以抱住所述硅棒(11)的側壁。

    4.根據權利要求1~3中任一項所述的硅棒開方機,其特征在于,所述端部固定爪(1)包括支撐臺(101)和安裝在所述支撐臺(101)一側的伸縮氣缸(102),其中所述伸縮氣缸(102)遠離所述支撐臺(101)的一端抵緊所述硅棒(11)的端部。

    5.根據權利要求4所述的硅棒開方機,其特征在于,至少一個所述支撐臺(101)沿所述硅...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:李卓越閆廣寧李春輝
    申請(專利權)人:包頭晶澳太陽能科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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