【技術實現步驟摘要】
本技術涉及光刻板夾具，具體為一種自制光刻板的固定夾具。
技術介紹
1、目前微納光學工領域中通常采用激光直寫的方式制作相位型衍射光刻板，由于采用激光直寫的方式制作相位型衍射光刻板的價格昂貴，出于需經常制作各種周期的衍射光柵光刻板來說，采用全息的方式自制相位型光刻板代替激光直寫光刻板非常有必要，因此需要一種能固定自制的圓形光刻板的夾具。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種自制光刻板的固定夾具，以解決上述技術問題。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種自制光刻板的固定夾具，包括基板，基板中部設有孔部，所述基板位于孔部的兩側滑動設有滑座，所述滑座靠近孔部的一端設有光刻板托板以及用于固定光刻板的固定組件，基板上還設有驅動滑座沿孔部徑向滑動的調節組件。
3、優選的，所述基板上設有滑槽，所述滑座通過與滑槽的配合沿孔部徑向滑動設置于基座上，固定組件包括設置于光刻板托板上的定位輥。
4、優選的，所述滑槽的兩側內壁設有防脫槽，所述滑座的兩側設有與防脫槽形成滑動連接的防脫塊。
5、優選的，定位輥對稱設置于光刻板托板的兩側。
6、優選的，固定組件還包括滑動設置于滑座頂端的滑桿、以及螺紋連接于滑桿上的壓緊螺栓。
7、優選的，所述基座靠近孔部的一端頂部設有供滑桿滑動的桿槽，所述桿槽的兩側設有限位槽，所述滑桿的兩側設有與限位槽形成滑動連接的限位塊，所述基座上設有供壓緊螺栓滑動的避讓槽。
8、優選的，調節組件包
9、與現有技術相比，本技術的有益效果為：
10、本技術的固定家具可用于夾持固定不同大小的自制相位型光刻板，保證自制光刻板曝光過程的穩定。
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1.一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：包括基板（1），基板（1）中部設有孔部（2），所述基板（1）位于孔部（2）的兩側滑動設有滑座（3），所述滑座（3）靠近孔部（2）的一端設有光刻板托板（4）以及用于固定光刻板的固定組件，基板（1）上還設有驅動滑座（3）沿孔部（2）徑向滑動的調節組件。
2.根據權利要求1所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：所述基板（1）上設有滑槽（5），所述滑座（3）通過與滑槽（5）的配合沿孔部（2）徑向滑動設置于基座上，固定組件包括設置于光刻板托板（4）上的定位輥（6）。
3.根據權利要求2所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：所述滑槽（5）的兩側內壁設有防脫槽（7），所述滑座（3）的兩側設有與防脫槽（7）形成滑動連接的防脫塊（8）。
4.根據權利要求2所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：定位輥（6）對稱設置于光刻板托板（4）的兩側。
5.根據權利要求2所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：固定組件還包括滑動設置于滑座（3）頂端的滑桿（9）、以及螺紋連接于滑桿（9）上的壓緊螺栓（1
6.根據權利要求5所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：所述基座靠近孔部（2）的一端頂部設有供滑桿（9）滑動的桿槽（11），所述桿槽（11）的兩側設有限位槽（12），所述滑桿（9）的兩側設有與限位槽（12）形成滑動連接的限位塊，所述基座上設有供壓緊螺栓（10）滑動的避讓槽（13）。
7.根據權利要求1所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：調節組件包括調節螺栓（14），所述調節螺栓（14）轉動設置于基座上，調節螺栓（14）一端插入滑座（3）內且與滑座（3）形成螺紋連接。
...【技術特征摘要】
1.一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：包括基板（1），基板（1）中部設有孔部（2），所述基板（1）位于孔部（2）的兩側滑動設有滑座（3），所述滑座（3）靠近孔部（2）的一端設有光刻板托板（4）以及用于固定光刻板的固定組件，基板（1）上還設有驅動滑座（3）沿孔部（2）徑向滑動的調節組件。
2.根據權利要求1所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：所述基板（1）上設有滑槽（5），所述滑座（3）通過與滑槽（5）的配合沿孔部（2）徑向滑動設置于基座上，固定組件包括設置于光刻板托板（4）上的定位輥（6）。
3.根據權利要求2所述的一種自制光刻板的固定夾具，其特征在于：所述滑槽（5）的兩側內壁設有防脫槽（7），所述滑座（3）的兩側設有與防脫槽（7）形成滑動連接的防脫塊（8）。
4.根據權利要求2所述的一種自制光刻板...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳彪，方志輝，李廣偉，
申請(專利權)人：福建睿創光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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